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3.
INBETRIEBNAHME DES
INSTRUMENTS
pegel (Kontrast
(Contrast)) und
dic T1chtige Bildschirmhelligkeit
(Helligkeit
(Brightness)).
•
Wenn der Vakuum
zustand als OK gemeldet wird, klicken Sie das
Feld
Strahl
(Beam) an, um
es auszuvergrößem. Klicken
Sie
das
Tastenfeld Ein (Beam
ON)
an
und bewegen Sie den Regl er
Heizstrom
(Fil.
Current)
langsam nach
rechts.
Bringen Sie den Signalpegel
auf
dem
Schirm auf einen
Maximalwen.
Dies
ist
leichter
zu beuneilen, wenn Sie
das
Videoskop
(Videoscope)
einschalten
und
den
Fokus
so
einstellen,
daß
das
Signal
sc
härfer
wird.
•
Wenn der Signalpegel
bei weitcrcr
Rechtsverschiebun
g des
Reglers wieder abfallt,
ist
die
Zentrierung
der Beleuchtung
ni
cht
richtig.
•
Lassen
Sie den Regler in der
Stellung, bei der
der
Signalabfall auftrat und klicken
Sie den
zweidimensionalen
Regl er
Strahlkippung
(Gun Tilt)
an.
Stellen
Sie die
Strahlkippung
so ein,
daß der
Signalpegel
maximal
wird.
•
Nun zurück
zum Regl
er
Heizstrom
(Fil.
Current).
Schieben Sie
ihn langsam
weiter nach rechts um festzustellen,
ob
das
Signal
noc
h weiter ansteigL
Wieder-
holen Sie die letzten
beiden
Vorgänge,
bis
sich
die Beleuchtung
nicht mehr
weiter
steigern
läßt.
•
Es
ist
wichtig,
daß
Sie
den Regler
am
höchsten
Punkt
des
Signalpegels stehen
las-
sen
und nicht früher
(U mersäuigung)
oder weiter oben (Übersättigung).
Sie
kön-
nen diesen
Punkt
am
besten
finden,
indem
Sie
den
Regler
erst etwas über das
Maximum hinwegschieben und dann
wieder
bis
kurz
vor das Maximum
zu rück-
schieben. Zuletzt
selZen
Sie
ihn
dann
auf das Maximum. Das Videoskop ist dabei
sehr
nützlich,
da sich
das
Beleuchtungsmaximum damit
besser beurteilen
läßt.
•
Der Kontrastregler
sollte
dabei nur verstellt
werden,
um
eine
zu
starke
Beleuch-
tung
zu
korrigieren, nac hdem
man
die Strahlkippung korrigien
hat.
•
Wenn
Sie
sich davon überzeugt
haben, daß
die
Säuigung
richtig
ist
und
6as Bild
sich
als
stabil
erweist, klicken Sic
Fil.
Lim.
an. Das Feld wird dann
grün und
die
Säuigungsbedingungen werden
abgespeichen.
•
Die
Wene der Hochspannung
und
Vorspannung
müssen ungefähr
der folge nden
Liste
ent<prechen.
Bei
grljßercn
Abweichungen ist
möglicherweise die
mechani-
sche
Positionierung der
Kathode
im Wehnelt-Zylinder ni cht richti
g
und
muß
nachgestellt
werden.
kV
Vorspannung
•
Ab jetzt brauchen Sie
bis
zum
nächstcn
Kalhodenwechsel
nur
das Tastenfeld
Ein
(Beam
ON)
anzuklicken, um
die
richti
ge
Sättigung
der Kathode
einzustellen
.
3.4.2. Autosättigung (AutoSaturation)
Wenn
cliese
Zusatzausslattung vorhanden
ist,
können
Sie
den
vorigen
Absc
hniu
über
die
Sättigungseinstellung
von
Hand
überspringen. Nach
dem
Einschalten
fühn
das
System
ei ne
vollautomatische
Einstellung
des
Kathodensäuigungszustandes aus,
nac
hdem
Sie
den
Strahl
durch Anklicken von Ein (Beam
ON)
ei
ngeschaltet haben
(siehe
auch Abschnitt
2.4.3).
Phil
ips
XL-Rasterelektronenm
ikroskop
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