Inhaltsverzeichnis
Werbung
50
2. MIKROSKOPFUNKTIOl\TEN
(Beam
ON)
bedient
wird.
Bei
dem Prozeß
wird
die Hochspannung
(bei einer
HV-
Anode) auf30 kV bzw.
(bei
einer LV-Anode) auf 15 kV
eingestellt.
Dann wird die
Kathodenheizung eingeSChaltet
und
der
entstehende
Emissionsstrom gemessen
.
Wenn die Sättigung erreicht ist (dies dauert
ca.
I Minute), wird der Heizstrom
nicht
mehr geändert
und
auf den Sättigungswert eingestellt. Hierbei ist anzumer-
ken, daß die Funktion keinerlei Detektor oder Videosignal benutzt "nd damit vom
Präparat unabhängig ist. Während des Sättigungsverfahrens kann die Routine je-
derzeit unterbrochen werden, indem man das Tastenfeld
Abbr_ (cancel)
betätigt.
Wenn die Autosättigungsroutine ordnungsgemäß abgelaufen ist, ist
es
ratsam, die
Justierung zu prüfen (Tastenfeld
Strahljust_
(Align
Gun))
und dann die aktuelle
Einstellung des Heizstromgrenzwertes abzuspeichem
(FiL
Lim
_
betätigen).
Phillps XL-Rasterelektronenmikroskop
Werbung
Inhaltsverzeichnis
