Wcx-Wasserkühler; Prx-Spülgas-Drosselventil; Vrx-Belüftungsdrossel; Schwingungsdämpfer - Edwards Ext556H Betriebsanleitung

7.4.9 WCX-Wasserkühler
Wenn Sie Ihre Pumpe mit Wasserkühlung betreiben wollen, müssen Sie die Wasserkühlungsplatte bestellen:
Wasserkühler
WCX555
7.4.10 Schwingungsdämpfer
In Anwendungen, bei denen die geringen von der Turbomolekularpumpe erzeugten Schwingungen ein Problem sind,
kann ein Schwingungsdämpfer montiert werden. Der Schwingungsdämpfer besteht aus zwei Spezialflanschen, die
durch einen Wellschlauch getrennt sind und außen eine schwingungsdämpfende Gummimanschette haben. Welcher
Schwingungsdämpfer benötigt wird, hängt von der Größe des Pumpen-Hochvakuumflansches ab.
Größe des HV-Flanschs
DN160ISO-K
DN160CF-K
7.4.11 PRX-Spülgas-Drosselventil
Ein modifizierter DN10KF-Zentrierring ist zur Filterung des Spülgases und zur Begrenzung seines Durchsatzes auf den
empfohlenen Wert von 25 sccm erhältlich. Das Drosselventil eignet sich für alle mit einem Spülanschluss
ausgestatteten EXT-Pumpen.
Spülgas-Drosselventil
PRX10
7.4.12 VRX-Belüftungsdrossel
Verwenden Sie eine VRX-Belüftungsdrossel mit fester Bohrung, um den Durchsatz von Belüftungsgas in die EXT-Pumpe
zu begrenzen. Weitere Informationen zur Auswahl der korrekten VRX-Belüftungsdrossel finden Sie in
Belüftungsdrossel
VRX10
VRX20
VRX30
VRX50
VRX70
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Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Tabelle 18 – WCX-Wasserkühler
Bestellnummer
B580-67-003
Tabelle 19 – Schwingungsdämpfer
Bestellnummer
B580-49-000
B581-10-000
Tabelle 20 – PRX-Spülgas-Drosselventil
Flanschgröße
NW10
Tabelle 21 – VRX-Belüftungsdrossel
Bohrungsdurchmesser (mm)
0,1
0,2
0,3
0,5
0,7
B777-50-882 Issue C
Bestellnummer
B580-65-001
Abschnitt
Bestellnummer
B580-66-021
B580-66-022
B580-66-023
B580-66-024
B580-66-025
3.4.
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