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B753–03–882 Ausgabe F
7.3.3
Zwischenstufen-Anschlussdichtung (nur EXT255HVi)
Im Lieferumfang der EXT255HVi ist ein O-Ring aus Fluorelastomer für den Zwischenstufen-Anschluss enthalten. Die
Ersatz-Zwischenstufen-Anschlussdichtung erhalten Sie unter der nachstehend genannten Teilenummer.
Abmessung Zwischenstufen-Anschluss
DN40KF
7.3.4
WCX-Wasserkühler
Die EXT-Pumpen können mit einem Wasserkühler ausgerüstet werden. Beachten Sie hierzu die Hinweise in
Abschnitt 3
zur Eignung der Wasserkühlung für Ihre spezielle Anwendung. Pumpen mit CF-Flansch werden mit einem
Wasserkühler geliefert.
Wasserkühler
WCX500
7.3.5
Hochvakuumflansch-Dichtungen
Die EXT-Pumpen werden mit einer Hochvakuumflansch-Dichtung geliefert. Die Dichtungen sind unter den folgenden
Bestellnummern zu beziehen:
Hochvakuumflansch Einlassdichtung
DN100ISO-K
ISO100 O-Ring mit Zentrier- und Außenring,
Fluorelastomer
DN100CF
Kupfer-Kompressionsdichtung (5 Stück)
7.4
Zubehör
7.4.1
Installation
In den folgenden Abschnitten wird das für die EXT-Turbomolekularpumpen lieferbare Zubehör beschrieben. In
Abbildung 9
sehen Sie, wie das Zubehör an den EXT-Pumpen montiert bzw. in die Pumpen eingebaut wird.
7.4.2
EXC-Controller
Die Edwards EXC-Controller dienen zur Steuerung von Pumpsystemen mit einer EXT255H, einer EXT255Hi oder einer
EXT255HVi. Die EXC-Controller sind unter folgenden Bestellnummern lieferbar:
Controller
EXC100E
EXC100L
EXC120
EXC300
Seite 38
Spannung
90—264 V a.c.
90—264 V a.c.
90—264 V a.c.
90—132/180—264 V a.c.
Edwards und das Edwards-Logo sind Marken von Edwards Limited.
Bestellnummer
C105-16-395
Bestellnummer
B580-61-001
Bestellnummer
Bestellnummer
D396-20-000
D396-22-000
D396-16-000
D396-14-000
© Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten.
B271-58-171
C082-00-008
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Fehlerbehebung
