Edwards EXT-Serie Handbücher

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Edwards EXT-Serie Betriebsanleitung

Edwards EXT-Serie Betriebsanleitung (40 Seiten)

Split Flow Compound-Turbomolekularpumpen

Marke: Edwards | Kategorie: Pumpen | Dateigröße: 1 MB

Inhaltsverzeichnis

Konformitätserklärung
2
Einbauerklärung
3
Inhaltsverzeichnis
5
Einführung

7
- Umfang und Definitionen
  7
Technische Daten

9
Installation

19
Betrieb

27
- Starten der Pumpe
  27
- Abschalten der Pumpe
  27
- Sicherheitsverriegelungen und Steuersystem
  28
- EXDC-Controller
  28
- EXC-Controller
  28
Wartung

29
Lagerung und Entsorgung

35
- Lagerung
  35
- Entsorgung
  35
Service, Ersatzteile und Zubehör

37
- Einführung
  37
- Kundendienst
  37
- Ersatzteile
  37
- ISX-Ansaugsiebe
  37
- Ansaugfilter (nur Pumpen mit Zwischenstufe)
  38
- HV-Flansch-Dichtungen
  38
- Zubehör
  38
- Installation
  38
- EXDC-Antriebsmodule
  38
- EXC-Controller
  38
- Verbindungskabel zwischen Pumpe und Controller
  39
- EXT-Wasserkühlblock
  39
- TAV-Belüftungsventil und Belüftungsanschluss-Adapter
  39
- ACX-Luftkühler
  39
- VRX-Belüftungsdrossel
  40
- Optionale Zubehörteile Installieren
  40

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