Edwards E2M28 200-240 V Betriebsanleitung

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Inhalt

Inhaltsverzeichnis

Quicklinks

Beschreibung

E2M28, 100/200 V, 50 Hz oder 100-105/200-210 V, 60 Hz, einphasig

E2M28, 115/230 V, 60 Hz, einphasig

E2M28, 200-240 V, 50 Hz oder 230-240 V, 60 Hz, einphasig

E2M28, 380/400 V, 50 Hz oder 230/460 V, 60 Hz, dreiphasig

E2M28, 200 V 50/60 Hz oder 380 V, 60 Hz, dreiphasig

E2M28, 200-240 V, 50 Hz oder 230-240 V, 60 Hz, einphasig (Amphenol)

E2M28, 110/200-240 V, 50 Hz oder 115-120/200-230 V, 60 Hz, einphasig

E2M28-FF, 110/220-240 V, 50 Hz oder 115/200-230 V, 60 Hz, einphasig, (Fomblin) gefüllt

E2M28-FF, 220/240 V, 50 Hz oder 230/240 V, 60 Hz, einphasig

E2M28-FF, 380/400 V, 50 Hz oder 230/460 V, 60 Hz, dreiphasig

E2M28-FF, 200 V, 50/60 Hz oder 380 V, 60 Hz, dreiphasig

E2M30, 100/200 V, 50 Hz oder 100-105/200-210 V, 60 Hz, einphasig

E2M30, 115/230 V, 60 Hz, einphasig

E2M30, 200-240 V, 50 Hz oder 230-240 V, 60 Hz, einphasig

Betriebsanleitung

Drehschieberpumpen E2M28 und E2M30

Übersetzung der ursprünglichen Anleitung

A373-10-882

Issue T

Bestellnummer

A373-15-904

A373-15-981

A373-15-903

A373-33-940

A373-33-934

A373-16-903

A373-17-984

A373-25-984

A373-25-903

A373-43-940

A373-43-934

A374-15-904

A374-15-981

A374-15-903

Inhaltsverzeichnis

Inhaltszusammenfassung für Edwards E2M28 200-240 V

Seite 1 A373-10-882 Issue T Betriebsanleitung Drehschieberpumpen E2M28 und E2M30 Beschreibung Bestellnummer E2M28, 100/200 V, 50 Hz oder 100-105/200-210 V, 60 Hz, einphasig A373-15-904 E2M28, 115/230 V, 60 Hz, einphasig A373-15-981 E2M28, 200-240 V, 50 Hz oder 230-240 V, 60 Hz, einphasig A373-15-903 E2M28, 380/400 V, 50 Hz oder 230/460 V, 60 Hz, dreiphasig A373-33-940...
Seite 2: Konformitätserklärung
Konformitätserklärung Wir, Edwards, Innovation Drive, Burgess Hill, West Sussex, RH15 9TW, GB erklären in alleiniger Verantwortung als Hersteller und Person, die innerhalb der EU zur Zusammenstellung der technischen Unterlagen befugt ist, dass das Produkt bzw. die Produkte, AXXX – YY – ZZZ...
Seite 3: Inhaltsverzeichnis
Dekontaminieren des Öls ....................24 Unbeaufsichtigter Betrieb .....................24 Abschalten der Pumpe ....................25 Wartung ..................27 Sicherheitshinweise ....................27 Wartungsplan ......................28 Ölstand prüfen ......................28 Ölwechsel ........................ 29 © Edwards Limited 2014. Alle Rechte vorbehalten. Seite i Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 4 Einführung ....................... 43 Installation ....................... 43 Betrieb ........................43 Wartung ........................43 Bitte die HS-Formulare im Anhang dieses Handbuchs ausfüllen und Ihrer Rücksendung beilegen. Seite ii © Edwards Limited 2014. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 5 Weiterführende Publikationen Titel der Publikation Nummer der Publikation Sicherheit von Vakuumpumpen und Vakuumsystemen P400-40-882 Schwingungsdämpfer A248-01-880 Ölnebelfilter EMF3, EMF10 und EMF20 A462-26-880 © Edwards Limited 2014. Alle Rechte vorbehalten. Seite iii Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 7: Einführung
Einführung Umfang und Definitionen Diese Betriebsanleitung enthält Informationen zu Installation, Betrieb und Wartung der Edwards- Drehschieberpumpen E2M28 und E2M30. Die Pumpe darf nur gemäß der vorliegenden Betriebsanleitung verwendet werden. Lesen Sie die vorliegende Anleitung vor Aufstellung und Inbetriebnahme der Pumpe aufmerksam durch.
Seite 8: Auswirkungen Der Atex-Richtlinie
Es darf keine Luft ins System eindringen.  Das System muss dicht sein.  Für weitere Informationen wenden Sie sich bitte an Edwards: Auf der Adressseite am Ende dieses Handbuchs  finden Sie Details zur nächstgelegenen Edwards-Vertretung. Seite 2 © Edwards Limited 2014. Alle Rechte vorbehalten.
Seite 9: Die Pumpe E2M28/E2M30
(Amphenol-)Pumpe E2M28 mit der Artikelnummer A373-17-984. An dieser Pumpe sind die Elemente 7 und 9 vertauscht; Element 7 ist eine IEC60320 16-20 A-Buchse. © Edwards Limited 2014. Alle Rechte vorbehalten. Seite 3 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 10: Beschreibung
Gasballast-Steuerung besteht aus einem Ventil, das mit mehreren Umdrehungen geöffnet und geschlossen und zwischen maximaler Öffnung und vollständigem Verschluss beliebig eingestellt werden kann. Seite 4 © Edwards Limited 2014. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 11: Technische Daten
7 x 10 Torr 1 x 10 mit vollem Gasballast (Partialdruck) 2 x 10 mbar 1,5 x 10 Torr 2 x 10 © Edwards Limited 2014. Alle Rechte vorbehalten. Seite 5 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 12: Mechanische Daten
Tülle mit 15 mm Außendurchmesser (die Tülle kann von der 3/4-Zoll-BSP- Gewindebohrung abgenommen werden) Daten zur Schmierung Hinweis: Materialsicherheitsdatenblätter von Edwards für die in den nachfolgenden Abschnitten empfohlenen Öle sind auf Anfrage erhältlich. Tabelle 4 - Daten zur Schmierung Pumpen mit Ölen auf Kohlenwasserstoffbasis: Empfohlenes Öl...
Seite 13: Elektrische Daten
A373-16-903, A374-15-903 230-240 A373-15-981, A374-15-981 A373-15-904, A374-15-904 100-105 200-210 A373-17-984, A373-25-984 115-120 200-240 200-230 Motornennleistung (kontinuierlich) 50-Hz-Betrieb 0,75 kW 60-Hz-Betrieb 0,90 kW © Edwards Limited 2014. Alle Rechte vorbehalten. Seite 7 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 14 Motor Pumpen-Teilenummer Abmessung (mm) Einphasige Motoren A373-15-903, A373-16-903, A374-15-903 A373-15-981, A374-15-981 A373-15-904, A374-15-904 A373-17-984, A373-25-984 Dreiphasige Motoren A373-33-940, A373-33-934, A373-43-940, A373-43-934 Seite 8 © Edwards Limited 2014. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 15: Installation
Stellen Sie sicher, dass die Pumpe E2M28/E2M30 für die vorgesehene Anwendung geeignet ist. Wenn Sie nicht  sicher sind, ob die Pumpe für die Anwendung geeignet ist, lesen Sie die Richtlinien über Vakuumpumpen und die Sicherheit von Vakuumsystemen von Edwards (siehe auch „Weiterführende Publikationen“ am Ende des Inhaltsverzeichnisses der vorliegenden Betriebsanleitung). Systemaufbau Folgende Punkte sind bei der Konzeption des Pumpsystems zu berücksichtigen:...
Seite 16: Auspacken Und Kontrollieren
Entlüftung gewährleistet ist, damit die Umgebungstemperatur um die Pumpe nicht über 40 °C steigt. Zwischen der Pumpe und den Wänden des Gehäuses muss ein Abstand von mindestens 25 mm bestehen. Seite 10 © Edwards Limited 2014. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 17: Befüllung Der Pumpe Mit Öl
Sie elektrische Steuergeräte, die manuell zurückgesetzt werden müssen. Stellen Sie sicher, dass die Versorgungsspannung der Spannung auf dem Typenschild des Motors entspricht. Edwards empfiehlt den Anschluss der Stromversorgung über einen Starter oder Leistungsschalter mit einem thermischen Überstromschutz, der an die auf dem Typenschild des Motors angegebenen Volllast-Stromwerte angepasst werden kann.
Seite 18: Einphasige Standardmotoren
1. Siehe Abbildung 7. Entfernen Sie die drei Schrauben, die die Abdeckung des Anschlusskastens (1) halten, und entfernen Sie die Abdeckung. Seite 12 © Edwards Limited 2014. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 19: Stromversorgungsanschluss: Einphasige Motoren 220-240 V 50 Hz Und 230-240 V 60 Hz
Einhaltung der CSA-Standards dürfen nur CSA-zertifizierte Anschlüsse verwendet werden. Abbildung 3 - Stromversorgungsanschluss: einphasige Motoren 220-240 V 50 Hz und 230-240 V 60 Hz © Edwards Limited 2014. Alle Rechte vorbehalten. Seite 13 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 20: Stromversorgungsanschluss: Einphasige Motoren 100 V 50 Hz, 100-105 V 60 Hz Und 115 V 60 Hz
Abbildung 4 - Stromversorgungsanschluss: einphasige Motoren 100 V 50 Hz, 100-105 V 60 Hz und 115 V 60 Hz Farbcodierung der Kabel: Braun Violett Grau Weiß ODER Orange Seite 14 © Edwards Limited 2014. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 21: Stromversorgungsanschluss, Einphasige Motoren: 200 V 50 Hz, 200-210 V 60 Hz Und 230 V 60 Hz
Abbildung 5 - Stromversorgungsanschluss, einphasige Motoren: 200 V 50 Hz, 200-210 V 60 Hz und 230 V 60 Hz Farbcodierung der Kabel: Braun Violett Grau Weiß ODER Orange © Edwards Limited 2014. Alle Rechte vorbehalten. Seite 15 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 22: Stromversorgungsanschluss, Einphasige Motoren Mit Amphenol-Anschluss
Abbildung 6 - Stromversorgungsanschluss, einphasige Motoren mit Amphenol-Anschluss: 220-240 V 50 Hz und 230-240 V 60 Hz Pincodes: 1. Stromführend 2. Neutral 3. Nicht verwendet Erdleiter (Masse) Seite 16 © Edwards Limited 2014. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 23: Elektroinstallation: Dreiphasige Motoren
Stellen Sie sicher, dass der Motor für die elektrische Versorgungsspannung und Frequenz Ihrer Stromversorgung korrekt konfiguriert ist. Wenn dies nicht der Fall ist, kann der Motor beschädigt werden. © Edwards Limited 2014. Alle Rechte vorbehalten. Seite 17 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 24: Überprüfung Der Drehrichtung
Wenn Sie den automatischen Start der Pumpe nicht wünschen, verwenden Sie elektrische Steuergeräte, die manuell zurückgesetzt werden müssen. Edwards empfiehlt den Anschluss der Stromversorgung über einen Starter oder Leistungsschalter mit einem thermischen Überstromschutz, der an die auf dem Typenschild des Motors angegebenen Volllast-Stromwerte angepasst werden kann.
Seite 25: Anschluss Des Pumpeneinlasses
Belastung der Leitungsverbindungen zu verhindern. Wenn Sie Faltenbälge verwenden, stellen Sie sicher, dass diese für einen maximalen Nenndruck ausgelegt sind, der größer als der höchste Druck ist, der im System erzeugt werden kann. Edwards empfiehlt die Verwendung der Faltenbälge von Edwards.
Seite 26: Gasballast-Einlassanschluss
Führen Sie nach der Installation der Pumpe einen Lecktest durch, um das Entweichen von Substanzen aus dem System und das Eindringen von Luft ins System zu verhindern. Seite 20 © Edwards Limited 2014. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 27: Betrieb
Bringen Sie eine Inertgasspülung in den Gasballast-Anschluss der Pumpe ein, um die Kondensation  zündfähiger Dämpfe im Pumpenmechanismus sowie in der Abgasleitung zu verhindern. © Edwards Limited 2014. Alle Rechte vorbehalten. Seite 21 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 28: Gasspülungen
Wert sinken, muss die Zufuhr des zündfähigen Gas- oder Dampfstroms zur Pumpe gestoppt werden. Hinweis: Edwards empfiehlt hierzu das Handbuch „Vacuum Pump and Vacuum System Safety“ (Sicherheit von Vakuumpumpen und Vakuumsystemen) (Publikationsnummer P400-40-882), das bei Edwards oder beim Lieferanten erhältlich ist.
Seite 29: Starten Der Pumpe
Leistung nicht erreicht, stellen Sie sicher, dass der Grund dafür nicht der Systementwurf ist, bevor Sie sich an Ihren Händler oder an Edwards wenden. Insbesondere gilt, dass der Dampfdruck aller im Vakuumsystem verwendeten Materialien (einschließlich Pumpenöl, siehe unten) deutlich unter dem angegebenen Endvakuum der Pumpe liegen muss.
Seite 30: Pumpen Kondensierbarer Dämpfe
Die Pumpe ist für den unbeaufsichtigten Betrieb unter den in Abschnitt 2.1 angegebenen normalen Betriebsbedingungen konzipiert. Edwards empfiehlt jedoch, die Pumpe in Abständen von höchstens 14 Tagen regelmäßig zu überprüfen. Prüfen Sie die Pumpe häufiger, wenn Sie große Gasvolumina pumpen oder wenn die Pumpe mit offener Gasballaststeuerung betrieben wird.
Seite 31: Abschalten Der Pumpe
Druckanstieg im System führt. Verwenden Sie ein Gasballast-Steuerventil, um dies zu verhindern (siehe Abschnitt 7.5.15). Edwards empfiehlt wie nachfolgend beschrieben, das Öl zu dekontaminieren, bevor die Pumpe ausgeschaltet wird. Dies verhindert Pumpenschäden durch Ölverunreinigungen. 1. Siehe Abschnitt 4.6 zur Dekontaminierung des Öls, falls erforderlich.
Seite 33: Wartung
Zwecke genutzt wurde, wenn sie Fehlfunktionen aufwies oder Feuer ausgesetzt war. Die Datenblätter von Edwards zur Materialsicherheit für die in der Pumpe verwendeten fluorierten Materialien sind auf Anfrage erhältlich. Fordern Sie diese ggf. bei Ihrem Lieferanten bzw. bei Edwards an.
Seite 34: Wartungsplan
Wartungsintervalle erforderlich machen. Unter diesen Umständen empfiehlt Edwards den jährlichen Austausch der Pumpendichtungen. Passen Sie den Wartungsplan bei Bedarf Ihren Erfahrungswerten entsprechend an. Verwenden Sie bei der Wartung der Pumpe Ersatzteile und Wartungs-Kits von Edwards; diese enthalten alle Komponenten, die erforderlich sind, um die Wartungsarbeiten erfolgreich durchzuführen. Die Teilenummern der Ersatzteile und Sätze finden Sie in...
Seite 35: Ölwechsel
8. Warten Sie einige Minuten, bis das Öl in die Pumpe gelangt ist. Fügen Sie bei Bedarf mehr Öl hinzu. Setzen Sie die Öleinfüllschraube wieder ein. © Edwards Limited 2014. Alle Rechte vorbehalten. Seite 29 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 36: Inspektion Und Reinigung Des Einlassfilters
3. Setzen Sie den Einlassfilter (4), den Sprengring (3), den O-Ring (2) und den Einlassadapter (1) wieder auf. Abbildung 8 - Entfernen/Austausch des Einlassfilters 1. Einlassadapter 2. O-Ring 3. Sprengring 4. Einlassfilter Seite 30 © Edwards Limited 2014. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 37: Reinigen Des Gasballastfilters
Reinigen und Überholen der Pumpe Reinigen und überholen Sie die Pumpe wie in den dem Reinigungs- und Überholungs-Kit beiliegenden Anweisungen beschrieben (siehe Abschnitt 7.3). © Edwards Limited 2014. Alle Rechte vorbehalten. Seite 31 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 38: Austausch Des Laufkondensators Und Testen Des Motors
Als Hilfestellung bei der allgemeinen Fehlersuche wurde in den folgenden Abschnitten eine Liste der Störungen und ihrer möglichen Ursachen zusammengestellt. Wenn Sie einen Fehler anhand dieses Leitfadens nicht beheben können, wenden Sie sich an Ihren Lieferanten oder ein Kundendienstzentrum von Edwards in Ihrer Nähe. 5.11.2 Die Pumpe startet nicht.
Seite 39: Die Pumpe Erreicht Die Angegebene Leistung Nicht (Das Endvakuum Wird Nicht Erreicht)
Die Pumpe ist mit dem falschen Typ Öl befüllt.  Das Öl ist verunreinigt.  Das Prozessgas ist zu heiß oder der Durchsatz ist zu hoch.  © Edwards Limited 2014. Alle Rechte vorbehalten. Seite 33 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 40: Das Vakuum Bleibt Nicht Erhalten, Nachdem Die Pumpe Ausgeschaltet Wurde
Die Dichtung der Schmierbüchse ist abgenutzt.  Es gibt ein Ölleck vom Gasballast-Steuerventil.  Es gibt ein Ölleck von der Ablassschraube.  Seite 34 © Edwards Limited 2014. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 41: Lagerung Und Entsorgung
Sicherheits- und Umweltbestimmungen. Seien Sie besonders vorsichtig bei Bauteilen und Altöl, die mit gefährlichen Prozessstoffen verunreinigt sind. Verbrennen Sie Fluorelastomerdichtungen und O-Ringe nicht. © Edwards Limited 2014. Alle Rechte vorbehalten. Seite 35 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 43: Service, Ersatzteile Und Zubehör
Anlagen und Geräte, an denen Service-, Reparatur- oder Instandsetzungsarbeiten durchgeführt wurden, gehen mit voller Gewährleistung an den Kunden zurück. Die Servicezentren vor Ort können auch Ingenieure von Edwards als Vor-Ort-Support für Wartung, Service oder Reparatur von Anlagen bereitstellen. Weitere Informationen über Serviceoptionen erhalten Sie beim Kundendienstzentrum in Ihrer Nähe oder bei einer Vertretung von Edwards.
Seite 44: Kondensator-Auswahltabelle
A37325903 A07110028 A50591813 A37325984 A07110039 A50591814 E2M30 A37415903 A07110028 A50591813 A37415904 A07110033 A50591800 A37415981 A07110032 A50591800 A37435903 A07110028 A50591813 N04091000 A07110028 A50591813 Seite 38 © Edwards Limited 2014. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 45: Zubehör
Verwenden Sie eine Ansaug-Kondensatfalle beim Pumpen begrenzter Mengen von Wasserdampf mit hoher Pumpendrehzahl bei niedrigem Dampfdruck. 7.5.5 Chemische Ansaugfalle Die chemische Ansaugfalle schützt die Pumpe vor chemisch aktiven Gasen. © Edwards Limited 2014. Alle Rechte vorbehalten. Seite 39 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 46 3. Ansaug-Kondensatfalle 4. Chemische Ansaugfalle 5. Gasballastventil 6. Banjo-Ellbogen-Bausatz 7. Elektromagnetisches Leitungsventil 8. Adsorptionsfalle 9. Auslass-Ölnebelfilter 10. Adapter DN25KF 11. Schwingungsdämpfer 12. Ölablass-Verlängerung Seite 40 © Edwards Limited 2014. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 47: Auslass-Ölnebelfilter
Dies ist ein Übergangsstück DN25KF zu 28 mm, geliefert mit Anschlussteilen. Befestigen Sie diesen Adapter zum Anschluss des 28-mm-Kunststoff- oder Gummirohrs am DN25KF-Pumpeneinlass. 7.5.12 Faltenbälge Benutzen Sie Faltenbälge zum Anschluss des Pumpeneinlasses am Vakuumsystem. Edwards empfiehlt bei Nutzung von Schwingungsdämpfern die Verwendung von Bälgen. 7.5.13 Auspuff-Adapter Dies ist ein 3/4-Zoll-BSP-zu-DN25KF-Adapter.
Seite 49: Für Pfpe Ausgelegte Em-Pumpen
Bei der Spezifikation einer für PFPE ausgelegten EM-Pumpe wird die Pumpe so geliefert, dass sie für die Verwendung mit mechanischen PFPE-Pumpenölen von Edwards, wie etwa Fomblin 06/6 oder Krytox 1506, geeignet ist. Für PFPE ausgelegte EM-Pumpen eignen sich zum Verpumpen hoher Sauerstoffkonzentrationen.
Seite 50 Wenn Sie eine für PFPE ausgelegte EM-Pumpe mit Fomblin-Öl befüllen, überprüfen Sie sie regelmäßig auf  Öllecks, insbesondere im Bereich der Wellendichtungen. Falls Sie ein Ölleck entdecken, wenden Sie sich zur Beratung an Ihren Lieferanten oder Edwards.  Seite 44 ©...

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Edwards E2M28 200-240 V Betriebsanleitung

Einführung

Technische Daten

Installation

Betrieb

Wartung

6 Lagerung und Entsorgung

7 Service, Ersatzteile und Zubehör

8 Für PFPE Ausgelegte EM-Pumpen

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