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Die Pumpe An Das Vakuumsystem Anschließen; Ansaugsieb; Mechanische Befestigung; Ordnungsgemäßer Einbau Des Ansaugsiebs - Edwards EXT255H/ISO100 Betriebsanleitung

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B753–03–882 Ausgabe F
3.3
Die Pumpe an das Vakuumsystem anschließen
Schließen Sie die Pumpe an Ihr Vakuumsystem an, bevor Sie den EXC-Controller anschließen. Dann
ist sichergestellt, dass die Pumpe nicht unbeabsichtigt anlaufen und Verletzungen verursachen
kann.
3.3.1

Ansaugsieb

Nehmen Sie das Ansaugsieb nur dann heraus, wenn Sie sicher sind, dass keine Verunreinigungen in die Pumpe fallen
können. Um Verletzungen durch die Rotorschieber auszuschließen, nehmen Sie das Ansaugsieb erst dann heraus,
wenn die Pumpe wirklich an das Vakuumsystem angeschlossen werden soll. Bei herausgenommenem Ansaugsieb
erhöht sich das Saugvermögen der Pumpe um etwa 10 %.
Ziehen Sie das Ansaugsieb mit einem Drahthaken vorsichtig aus dem Hochvakuumflansch. In
wie das Ansaugsieb wieder einzubauen ist. Beim Einbauen muss das Edwards-Logo oben liegen. Vergewissern Sie sich,
dass die Auswölbungen im Rand des Siebs in die Rille des Pumpenflanschs kommen. Wenn erforderlich, biegen Sie die
Nasen des Siebs vorsichtig nach außen, damit das Sieb möglichst gut sitzt.
3.3.2

Mechanische Befestigung

Betreiben Sie die EXT-Pumpe nicht, ohne sie vorher sicher zu befestigen. Wenn die Pumpe
blockiert, kann die Rotorenergie zu ruckartigen Bewegungen der Pumpe und damit zu Schäden und
Verletzungen führen.
Für die sichere Befestigung der EXT-Pumpe gibt es zwei Möglichkeiten. Im Idealfall sollte der Einlassflansch der EXT-
Pumpe an einem stabilen und festen Vakuumsystem befestigt werden (siehe
der Bauweise des Vakuumsystems nicht möglich ist, muss die EXT-Pumpe auf einer stabilen Unterlage montiert
werden (siehe
Abschnitt
3.3.3).
Seite 18
WARNUNG
Abbildung 8 — Ordnungsgemäßer Einbau des Ansaugsiebs
1. EXT-Hochvakuumflansch
2. Ansaugsieb
WARNUNG
Edwards und das Edwards-Logo sind Marken von Edwards Limited.
Abschnitt
3.3.4). Wenn dies aufgrund
© Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten.
Abbildung 8
sehen Sie,

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Diese Anleitung auch für:

Ext255h/100cfExt255hi/iso100Ext255hvi

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