Anschluss Eines Anderen Ventils An Das Vakuumsystem - Edwards Next730D Betriebsanleitung

Bei Lieferung der Pumpe ist der Controller mit der werkseitigen Belüftungsoption 1 auf 0
eingestellt und der Ventiltyp 1 ist auf 0 gesetzt, wie dargestellt in
Belüftungsventiloptionen
anderen Belüftungsoptionen konfiguriert werden, sofern Befehle über die serielle
Schnittstelle, einen Edwards TIC Turbo Instrument Controller, einen TIC Turbo Controller
oder die Edwards nST2 PC-Software und die serielle USB-Schnittstelle gesendet werden
können.
Bei im Ruhezustand geöffneten Ventilen erregt („schließt") der Controller das TAV-
Magnetventil nur, wenn er einen Start-Befehl empfängt. Vorausgesetzt, dass sich das
Ventil im „offenen" Belüftungsstatus befindet. Wenn das Vakuumsystem sehr groß ist,
lassen Sie die Vorvakuumpumpe den Druck im System auf einen annehmbaren Wert
senken, bevor die nEXT-Pumpe anläuft. Senden Sie in diesem Fall einen Befehl über die
serielle Schnittstelle, um das Belüftungsventil zu schließen, bevor Sie einen Start-Befehl
senden – dies wird als verzögerter Anlauf bezeichnet.
Wenn der Ventiltyp auf im Ruhezustand geschlossen gesetzt ist und die
Belüftungsoption 14 oder 15 verwendet wird, sorgt der Controller dafür, dass das TAV-
Magnetventil nur „geöffnet" wird, wenn ein Stopp-Befehl eingeht. Daher muss kein
verzögerter Startbefehl gesendet werden.
Wenn die nEXT-Pumpe mit einem Edwards TIC Turbo Instrument Controller oder TIC
Turbo Controller gesteuert wird, kann das TAV-Magnetventil vom TIC aus gesteuert
werden. Weitere Informationen hierzu sind den Betriebsanleitungen der TICs zu
entnehmen.

7.2.4 Anschluss eines anderen Ventils an das Vakuumsystem

Wenn Sie ein anderes Belüftungsventil verwenden, achten Sie darauf, dass das
Vakuumsystem mit einer geeigneten Belüftungsdrossel ausgerüstet ist, um die
Druckanstiegsgeschwindigkeit zu begrenzen.
Siehe Tabelle: Durchmesser der Öffnung der Belüftungsdrossel bei Belüftung der
Vakuumsystemkammer
keine geeignete Belüftungsdrossel angebracht ist, öffnen Sie das Belüftungsventil erst,
nachdem die Drehzahl der Pumpe auf 50 % der maximalen Drehzahl gesunken ist.
Volumen des Vakuumsystems (Liter)
B8J200882_D
300812671_001_C3
B8J200882_D - Betrieb
und Tabelle: Ventiltypen. Der Controller kann für eine der
zu Informationen über die Größen der Belüftungsdrossel. Wenn
< 20
< 10
< 5
< 2
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Tabelle:
Öffnungsdurchmesser (mm)
< 1,0
< 0,7
< 0,5
< 0,35
09/2021 - ©Edwards Limited