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B753–03–882 Ausgabe F
Wir empfehlen den Einsatz einer Edwards RV-Vorvakuumpumpe. Auch diese Vorvakuumpumpe kann über den EXC-
Controller (EXC120 oder EXC300) gesteuert werden. In Tabelle 1 sehen Sie, für welche Leistung die Vorvakuumpumpe
mindestens ausgelegt sein muss. Möglicherweise benötigen Sie eine stärkere Vorvakuumpumpe, wenn Sie die Pumpe
mit hohen Einlass-Druckbelastungen oder hohen Durchsätzen betreiben, oder wenn Sie die Pumpe mit einem
Durchfluss von über 25 sccm Spülgas (0,42 mbar l s
Membran-Vorvakuumpumpen geeignet. Beim Betrieb mit einer Membran-Vorvakuumpumpe ist allerdings zu
beachten, wie der hohe Vorvakuumdruck sich auf die Förderleistung der Pumpe und die Kühlanforderungen auswirkt
(siehe
Tabelle 1
und
Abschnitt
Betreiben Sie die EXT-Pumpe nicht mit einem Vorvakuumdruck unter 5 x 10
Vorvakuum-Druckbelastungen erhöhen die Schmierölverdunstung und beeinträchtigen entsprechend die Lebensdauer
der Lager.
3.3.6
Zwischenstufen-Anschluss (nur EXT255Hi/EXT255HVi)
Die EXT255HVi wird mit Zwischenstufen-Anschlussdichtung, die EXT255Hi mit kombiniertem Einlassfilter und
Zwischenstufen-Anschlussdichtung geliefert; belassen Sie den Einlassfilter im Zwischenstufen-Anschluss, wenn nicht
ausgeschlossen werden kann, dass Verunreinigungen in den Zwischenstufen-Anschluss gesaugt werden könnten.
Verbinden Sie den Zwischenstufen-Anschluss mit geeigneten Leitungen und Anschlüssen mit Ihrem Vakuumsystem
bzw. mit dem Auslassflansch einer anderen Turbomolekularpumpe (wenn Sie die EXT255Hi oder EXT255HVi als
Vorvakuumpumpe für eine weitere Turbomolekularpumpe verwenden).
3.4
Belüftungsventil — Anschluss und Steuerung
Beachten Sie bei der Auslegung Ihres Systems und beim Einbau eines Belüftungsventils die Hinweise in den
Abschnitten
1.3
und 2.3. Sie haben folgende Möglichkeiten, die EXT-Pumpe und Ihr Vakuumsystem zu belüften:
Sie können Pumpe und Vakuumsystem über das manuelle Belüftungsventil belüften. Wichtig ist, dass das
manuelle Belüftungsventil nicht zu schnell geöffnet wird.
Sie können anstelle des manuellen Belüftungsventils die als Zubehör angebotenen, elektrisch betätigten
Belüftungsventile TAV5 oder TAV6 verwenden (siehe
Sie können die elektrisch betätigten Belüftungsventile TAV5 und TAV6 an einem beliebigen Flansch Ihres
Vakuumsystems zum Belüften verwenden.
Sie können das System über ein anderes Ventil belüften, das an Ihr Vakuumsystem angeschlossen ist.
Wenn Sie das manuelle Belüftungsventil verwenden, öffnen Sie das Ventil erst dann, wenn die Drehzahl der EXT-
Pumpe unter 50 % der maximalen Drehzahl gefallen ist.
Belüften Sie das System nicht über die Vorvakuumleitung. Belüften Sie oberhalb der Pumpe, um sicherzustellen, dass
kein Öl aus der Vorvakuumleitung zurückströmen kann.
Wenn Sie Ihr System über ein TAV5 oder TAV6 belüften, empfehlen wir die Steuerung des Ventils über den EXC-
Controller.
In
Tabelle 3
sind die Öffnungsdurchmesser der Belüftungsventile zusammengestellt, mit denen die Durchflusswerte
für die jeweiligen Systemvolumina innerhalb der in
Volumen Vakuumsystem (l)
Seite 20
-1
3.7).
Abschnitt 2.3
Tabelle 3 — Öffnungsdurchmesser des Belüftungsbegrenzers
(bei Atmosphärendruck am Einlass des Belüftungsventils)
<20
<10
<5
<2
Edwards und das Edwards-Logo sind Marken von Edwards Limited.
-1
, 42 Pa l s
) spülen. Die EXT255H ist auch für den Einsatz mit
-4
mbar (5 x 10
Abschnitt
7).
genannten Grenzen gehalten werden.
Öffnungsdurchmesser (mm)
© Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten.
-2
Pa). Niedrigere
<1,0
<0,7
<0,5
<0,35
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