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B756-01-882 Issue K
Betreiben Sie die EXT Split Flow-Pumpe nicht mit einem Vorvakuumdruck unter 5 x 10
Niedrigere Vorvakuum-Druckwerte erhöhen die Verdampfungsrate des Schmieröls und verkürzen dadurch die
Lebensdauer der Lager.
3.3.5
Zwischenstufen-Anschluss (nur Hi-Pumpenvarianten)
Schließen Sie den Zwischenstufen-Anschluss mit geeigneten Vakuumrohren und Anschlusselementen ans
Vakuumsystem oder an den Auslassflansch einer anderen Turbomolekularpumpe an. Lassen Sie den Ansaugfilter im
Zwischenstufen-Anschluss, außer wenn Sie sicher sind, dass keine Schmutzpartikel in den Zwischenstufen-Anschluss
gelangen können.
3.4
Belüftungsoptionen, Belüftungsventilanschluss und -steuerung
Um das Vakuumsystem rein zu halten, empfiehlt Edwards, bei jedem Abschalten der Pumpe die Pumpe selbst (oder
das Vakuumsystem) zu belüften, wenn sich die Drehzahl der EXT Split Flow-Pumpe zwischen der vollen Drehzahl und
50 % der vollen Drehzahl bewegt. Bei und über 50 % der vollen Drehzahl dreht sich der Rotor schnell genug, um
jegliches Rückströmen von Ölen auf Kohlenwasserstoffbasis aus der Vorvakuumpumpe zu unterdrücken. Die Belüftung
kann mit einer der folgenden Methoden durchgeführt werden:
Verwenden Sie statt des manuellen Belüftungsventils ein als Zubehör lieferbares Magnetventil TAV5 oder TAV6
(siehe
Abschnitt
7).
Verwenden Sie ein Magnetventil (TAV5 oder TAV6), das an einen geeigneten Flansch des Vakuumsystems
angeschlossen wird.
Verwenden Sie alternativ ein anderes an das Vakuumsystem angeschlossenes Ventil. Wenden Sie sich für
weitere Einzelheiten an Edwards.
Wenn die Pumpe jedoch manuell belüftet wird, während sie mit voller Drehzahl läuft und der Druck zu schnell
ansteigt, kann dies die Lebensdauer der Pumpe verkürzen. Wenn das mit der Pumpe gelieferte manuelle
Belüftungsventil verwendet wird, empfiehlt Edwards, die Belüftung zu begrenzen oder das Belüftungsventil erst dann
zu öffnen, wenn die Drehzahl der EXT Split Flow-Pumpe auf 50 % der vollen Drehzahl zurückgegangen ist.
Nicht von der Vorvakuumleitung aus belüften, da dies zu Verunreinigungen führen kann. Wählen Sie bei Entlüftung
ins Vakuumsystem einen Punkt oberhalb der Pumpe, um zu verhindern, dass Öl aus der Vorvakuumleitung
zurückströmt.
Das TAV5- oder TAV6-Belüftungsventil kann über einen EXC-Controller oder ein anderes Verfahren gesteuert werden.
Tabelle 6
gibt Hinweise zur richtigen Bohrungsgröße des Belüftungsventils für unterschiedliche Vakuumsystem-
Volumina, damit der Druckanstieg beim Belüften innerhalb der in
Volumen des Vakuumsystems (I)
Seite 18
VORSICHT
Tabelle 6 - Bohrungsdurchmesser der Belüftungsdrossel
(mit Atmosphärendruck am Einlass des Belüftungsventils)
< 20
< 10
< 5
< 2
Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
-4
Abschnitt 2.3
dargestellten Grenzen gehalten wird.
Bohrungsdurchmesser (mm)
< 1,0
< 0,7
< 0,5
< 0,35
© Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten.
-2
mbar (5 x 10
Pa).
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