Inhaltsverzeichnis
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B753–03–882 Ausgabe F
1. Vakuumsystem
2. Hochvakuummessgerät
3. Schwingungsdämpfer
4. Ansaugsieb
5. EXT-Pumpe
6. Vorvakuumventil
7. Vorvakuum-Messgerät
8. Faltenbälge
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Abbildung 6 — Typisches Pumpsystem mit einer EXT255H
9. Adsorptionsfalle
10. Vorpumpe
11. Ölnebelfilter
12. Kühlwasser-Anschlüsse
13. EXC-Controller
14. Luftkühler
15. Belüftungsanschluss-
Adapter
Edwards und das Edwards-Logo sind Marken von Edwards Limited.
16. Drosselelement PRX10
17. Geregelte Spülgas-
Zuleitung
18. Belüftungsventil
19. Alternative Position für
Belüftungsventil
© Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten.
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