Inhaltsverzeichnis
Werbung
Abbildung 9 Typisches Pumpsystem mit einer nEXT-Pumpe
12
11
15
1. Vakuumsystem
1. Vakuumsystem
3. Ansaugsieb
3. Ansaugsieb
5. Vorvakuumventil
5. Vorvakuumventil
7. Faltenbälge
7. Faltenbälge
9. Vorvakuumpumpe
9. Vorvakuumpumpe
11. Belüftungsventil
11. Belüftungsventil
13. Radialer Luftkühler
13. Radialer Luftkühler
15. Geregelte Spülgasversorgung
15. Geregelte Spülgasversorgung
*
für Drehschieberpumpe
§
für Scroll-Pumpe
5.2 Anschluss an das Vakuumsystem
VORSICHT: SCHNEID- UND QUETSCHGEFAHR
An Flanschöffnungen besteht Schneid- und Quetschgefahr.
Die Vakuumpumpe nicht mit offenen Flanschen in Betrieb nehmen. Greifen Sie nicht
in die Pumpe hinein.
Bei Installation der Vakuumpumpe erst die Ein- und Auslässe mechanisch verbinden
und dann erst die elektrischen Anschlüsse herstellen.
VORSICHT: VAKUUM
Verletzungsgefahr an Händen und Fingern durch Hineinziehen in das Vakuumsystem.
Die Vakuumpumpe nicht mit offenen Flanschen in Betrieb nehmen.
B8J200882_A - Installation
1
3
4
14
13
16
*§
*§
2
6
7
5
2. Hochvakuum-Messröhre
2. Hochvakuum-Messröhre
4. nEXT-Pumpe
4. nEXT-Pumpe
6. Vakuum-Messröhre
6. Vakuum-Messröhre
8. Adsorptionsfalle
8. Adsorptionsfalle
10. Ölnebelfilter
10. Ölnebelfilter
12. Alternative Position für Belüftungsventil
12. Alternative Position für Belüftungsventil
14. PRX-Spülgas-Drosselventil
14. PRX-Spülgas-Drosselventil
16. WCX-Wasserkühler und Anschlüsse
16. WCX-Wasserkühler und Anschlüsse
Page 46
8
9
10
*
*
*
*
§
§
/Schalldämpfer
/Schalldämpfer
Werbung
Inhaltsverzeichnis
