Den Gepumpten Gasen Ausgesetzte Materialien; Spülgas-Spezifikation; Wasserkühlung; Abbildung 7: Maximal Zulässige Druckanstiegsgeschwindigkeit Beim Belüften: Druck Über - Edwards Next730D Betriebsanleitung

Abbildung 7 Maximal zulässige Druckanstiegsgeschwindigkeit beim Belüften: Druck über der Zeit
1000
100
10
1
0

4.5 Den gepumpten Gasen ausgesetzte Materialien

Die folgenden Materialien und Komponententypen sind den gepumpten Gasen
ausgesetzt:
▪ Stahl- und Aluminiumlegierungen
▪ Fluorelastomer und O-‑Ringe
▪ Kohlenwasserstoffbasiertes Schmiermittel
▪ CFP
▪ Magnete aus seltenen Erden
▪ Siliziumnitrid
▪ PTFE
4.6 Spülgas‐Spezifikation
Tabelle 8 Spülgas-Spezifikation
Spülgas‐Spezifikation
Spülgas
Maximaler Taupunkt bei Atmosphären-
druck
Maximale Partikelgröße
Maximale Ölkonzentration
Zulässiger Spülgasdurchsatz (sofern erfor-
derlich)
Empfohlener Spülgasdurchsatz
Maximal zulässiger Spülgasversorgungs-
druck
4.7 Wasserkühlung
B8J200882_D
300812671_001_C3
B8J200882_D - Technische Daten
50 100 150
Seite 33
300 s
200 250
Referenzwerte
Trockene Luft, Stickstoff, Argon oder ande-
re Inertgase
-22 °C
1 µm
0,1 ppm
20 bis 50 sccm (0,33 bis 0,84 mbar l s
oder 33 bis 84 Pa l s
25 sccm (0,42 mbar l s
1 bar (Überdruck); 14,5 psig, 2 × 10
09/2021 - ©Edwards Limited
-1
-1
)
-1 -1
, 42 Pa l s )
5
Pa