MICRO-EPSILON capaNCDT 6500 Betriebsanleitung Seite 51

Anhang | Optionales Zubehör
Vakuumdurchführungen
Alle Vakuumdurchführungen sind kompatibel zu den Steckern Typ B, siehe Kap.
Abmessungen in mm, nicht maßstabsgetreu.
SWH.OS.650.CTMSV
UHV/B
capaNCDT6500
34
M10x0,75
max. 17
25
ø13.50h6
25
13,5
6
Schweißnaht
25
ø13.50h6
2
SW11
SW11
4.3
Vakuumdurchführung
Maximale Leckrate 1x10e-7 mbar
· l s-
1
Kompatibel zu Stecker Typ B
Vakuumdurchführung triax
schweißbar
Maximale Leckrate
1x10e-9 mbar · l s-
1
Kompatibel zu Stecker Typ B
Vakuumdurchführung triax mit
CF16
Flansch
Maximale Leckrate 1x10e-9 mbar
· l s-
1
Kompatibel zu Stecker Typ B
Vakuumdurchführung triax
schraubbar
Maximale Leckrate 1x10e-9 mbar
· l s-
1
Kompatibel zu Stecker Typ B
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