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Dickenmessung ........................64 A 6.1 Allgemein ............................64 A 6.2 Sensor-Messbereiche definieren ....................64 A 6.3 Datenformat, Wortlänge ......................... 65 A 6.4 Mathematikfunktion setzen ......................65 A 6.5 Interpretierung der Messwerte ....................... 66 A 6.6 Beispiel ............................66 capaNCDT 6500...
EU-Konformitätserklärung wird gemäß der EU-Richtlinie, Artikel 10, für die zuständige Behörde zur Verfügung gehalten bei MICRO-EPSILON MESSTECHNIK GmbH & Co. KG Königbacher Str. 15 94496 Ortenburg / Deutschland Das Messsystem ist ausgelegt für den Einsatz im Industriebereich und erfüllt die Anfor- derungen. capaNCDT 6500 Seite 5...
Die Demodulatoreinschübe stehen in zwei Systemausführungen zur Verfügung: - DL6530: Signalaufbereitungselektronik mit integriertem Vorverstärker, Abstand zwi- schen Sensor und Controller: 1,4 m bzw. 2,0 m - DL6510: Signalaufbereitungselektronik mit externem Vorverstärker, Abstand zwischen Sensor und Controller: bis 40 m capaNCDT 6500 Seite 7...
11 mm CSH2 2 mm 17 mm CSH02FL 0,2 mm 7 mm CSH05FL 0,5 mm 7 mm CSH1FL 1 mm 11 mm CSH1,2FL 1,2 mm 11 mm CSH2FL 2 mm 17 mm CSH3FL 3 mm 24 mm capaNCDT 6500 Seite 8...
Controller. Es überbrückt Entfernungen von bis zu 40 m zwischen Vorverstärker und Controller. Kürzen oder verlängern Sie diese speziellen Kabel nicht. Modell Kabellänge Min. Biegeradius, dauerflexibel CA10 10 m CA20 20 m 33 mm CA25 25 m CA30 30 m CA40 40 m capaNCDT 6500 Seite 9...
Funktionsprinzip, Technische Daten 2.2.5 Controllergehäuse Das capaNCDT 6500C Mehrkanal-Rack ist für bis zu zwei Kanäle, das capaNCDT 6500 ist für bis zu 8 Kanäle ausgelegt, die alle miteinander synchronisiert sind. Netzteil Displayeinschub Demodulator Abb. 5 Frontansicht DT6530 Netzanschluss Masseanschluss Abb. 6 Rückansicht DT6530...
Demodulation, Linearisierung und Verstärkung des abstandsabhängigen Messsignals sind Aufgaben der Demodulatoreinheit. Die drei Trimmpotentiometer - Linearity (Linearität) - Gain (Verstärkung) - Zero (Nullpunkt) ermöglichen den Grundabgleich eines Messsystems, siehe 5.3, siehe 5.4. Abb. 9 Demodulatoreinschub DL6510 capaNCDT 6500 Seite 11...
TTL, 5 V Luftfeuchtigkeit 5 - 95 % (nicht kondensierend) Schutzart IP 40 (Elektronik und Sensoren) d.M. = des Messbereichs 1) gilt bei konstanter Umgebung (einschließlich Temperatur und Luftfeuchte) 2) Möglich zu weiterem Controller DT6530 bzw. DT6530C capaNCDT 6500 Seite 12...
Prüfen Sie die Lieferung nach dem Auspacken sofort auf Vollständigkeit oder Transportschäden. Bei Schäden oder Unvollständigkeit wenden Sie sich bitte sofort an den Hersteller oder Lieferanten. Lagerung Temperaturbereich Lager: -10 °C ... +75 °C Luftfeuchtigkeit: 5 - 95 % (nicht kondensierend) capaNCDT 6500 Seite 13...
Die Befestigung der Flachsensoren erfolgt über eine Gewindebohrung für M2 (bei Sensoren 0,2 und 0,5 mm) oder über eine Durchgangsbohrung für Schrauben M2. Die Sensoren können von oben oder unten verschraubt werden. Verschraubung von oben Verschraubung von unten capaNCDT 6500 Seite 14...
CS10 M=1:2 M=1:2 M=1:2 ø30h7 ø40h7 ø60h7 ø20h7 ø20h7 ø20h7 Steckerseite Abmessungen in mm x = Kabellänge in m Umfangsklemmung ab 3 mm hinter der Stirnflä- che möglich. Maßzeichnungen wei- terer Sensoren sind auf Anfrage verfügbar. capaNCDT 6500 Seite 15...
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ø7,5 ø11,5 ø ø CSH2-CAmx ca. 9,4 ø20g6 ø19,5 ø Steckerseite Abmessungen in mm x = Kabellänge in m Umfangsklemmung ab 3 mm hinter der Stirnflä- che möglich. Maßzeichnungen wei- terer Sensoren sind auf Anfrage verfügbar. capaNCDT 6500 Seite 16...
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Abmessungen in mm CSE1,5/M12 10 Nm max. Ziehen Sie die Montage- mutter fest. Überschreiten CSE2/M16 20 Nm max. Sie nicht die jeweiligen CSE3/M24 70 Nm max. Aktive Messfläche Drehmomente. Sensor Maßzeichnungen wei- terer Sensoren sind auf Anfrage verfügbar. capaNCDT 6500 Seite 17...
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CSH1FL-CRmx ca. 9,4 CSH05FL-CRmx CSH1,2FL-CRmx ø3 ø3 ø2,2 ø2,2 CSH2FL-CRmx CSH3FL-CRmx 15,5 ca. 9,4 ca. 9,4 ø3 ø3 ø2,2 ø2,2 CSG0,50-CAm2,0 und CSG1,00-CAm2,0 Sensorstrukturen Dicke 0,9 -0,05 Sensorstrukturen 3,85 Abmessungen in mm, nicht maßstabsgetreu CSG0,50-CAm2,0 CSG1,00-CAm2,0 capaNCDT 6500 Seite 18...
CCmxC/90 1,4/2,8 oder 4,2 m 2,1 mm 0,05 - 0,8 mm 7 mm 15 mm • CCmxB 1,4/2,8 oder 4,2 m 2,1 mm 1 ... 10 mm • CCmxB/90 1,4/2,8 oder 4,2 m 2,1 mm 1 ... 10 mm capaNCDT 6500 Seite 19...
Maß 73. Entfernen Sie die vier Gehäuseschrauben. Befestigen Sie die beiden Montagewinkel am Vorverstärker mit den im Lieferumfang enthaltenen Schrauben. 2,5 x 45° 61,4 84,6 Ø4,2 78,8 Abb. 14 Montagewinkel für Vorverstärker Abmessungen in mm, nicht maßstabsgetreu capaNCDT 6500 Seite 20...
= Kabellänge 5 ... 25 m (Standard 5 m) Controller Text Text Text Modell 6530C (maximal 2 Kanäle) 214 6530 (maximal 8 Kanäle) Abmessungen in mm, nicht maßstabsgetreu. R5,2 58,6 25,3 Abb. 15 Befestigungswinkel Abb. 16 Montage des Befestigungswinkels capaNCDT 6500 Seite 21...
Messobjekt bei Synchronisierung von zwei capaNCDT-Geräten nicht geerdet werden. Die untenstehende Prinzipskizze zeigt zwei synchronisierte capaNCDT-Sensoren, die gegen eine Walze messen. Da die Sensoren über die einzigartige Synchronisiertechnik von MICRO-EPSILON verbunden sind, ist eine Erdung des Messobjekts in den meisten Fällen überflüssig. Sensor Controller sync.
Verwenden Sie ein geschirmtes Kabel. Verbinden Sie das Schirmgeflecht mit dem Steckergehäuse. Verwenden Sie für das Triggersignal ein separates, geschirmtes Kabel. Maximale Kabellänge beträgt 3 m. Empfohlener Leiterquerschnitt: 0,14 mm² EMV-Richtlinien, siehe 1.3, werden nur unter diesen Randbedingungen eingehalten. capaNCDT 6500 Seite 23...
Installation und Montage 4.10 Synchronisation Mehrere Messsysteme der Serie capaNCDT 6500 können gleichzeitig als Mehrkanalsys- tem betrieben werden. Durch die Synchronisation der Messsysteme wird ein gegenseiti- ges Beeinflussen der Sensoren vermieden. Stecken Sie das Synchronisationskabel SC6000-x (Zubehör) in die Buchse SYNC OUT (Synchronisation Ausgang) an Controller 1.
Steht der Schalter in Position Ethernet, so ist unabhängig von der Softwareeinstellung immer die Ethernetschnittstelle aktiv. Steht der Schalter in Position ECAT/Auto, so ist die Schnittstelle aktiv, die Softwareseitig eingestellt ist. Eine Änderung der Schnittstelle tritt erst nach Neustart des Controllers in Kraft. capaNCDT 6500 Seite 25...
Mathematikfunktion = 0,5 x Kanal 1 + 0,5 x Kanal 2), um einen Überlauf zu verhindern. 4-20 mA Out3 +/- 5 V 0-10 V 4-20 mA Out2 +/- 5 V 0-10 V 4-20 mA Out1 +/- 5 V 0-10 V Abb. 25 DO6510 mit Analogausgangsbuchsen und Drehschalter zur Spannungs- und Stromauswahl capaNCDT 6500 Seite 26...
STATUS Controllerstörung orange Controller in Ordnung Die Potis sind werkseitig alle auf Rechtsanschlag (maximale Pegel) eingestellt. Trimmer Gain: Erhöhung der Kennliniensteigung bei Drehung nach rechts. Gain Trimmer Lin: Erhöhung der quadratischen Komponente bei Drehung nach rechts. capaNCDT 6500 Seite 27...
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Die Grenzfrequenz des analogen Ausgangssignals kann mit einem Drehschalter auf der Platine, siehe Abb. 27, eingestellt werden. Es sind drei Stellungen möglich: Grenzfrequenz fg0 = 8,5 kHz Grenzfrequenz fg1 = 1 kHz Grenzfrequenz fg2 = 20 Hz capaNCDT 6500 Seite 28...
In dem dort beschriebenen Schritt 1 wird, abweichend dazu, von folgender Einstellung ausgegangen: - Potentiometer “Zero“ (Nullpunkt): rechter Anschlag - Potentiometer “Lin“ (Linearität): rechter Anschlag - Potentiometer “Gain“ (Verstärkung): linker Anschlag Führen Sie die gesamte Kalibrierung bis Schritt 4 durch. Werkseitige Messbereichsverdopplung möglich durch internen Abgleich. capaNCDT 6500 Seite 29...
Vergleichsnormal vorgegeben werden. Besonders gut geeignet ist eine spezielle Mikrometerkalibriervorrichtung mit nichtdrehender Mikrometerspindel (zum Beispiel MC25 von MICRO-EPSILON). Distanzscheiben sind nicht geeignet. Folgende Größen haben Einfluss auf die Kalibrierung und müssen auch später im Betrieb beachtet werden, da bei jeder Änderung eines Parameters eine Neukalibrierung zweckmäßig ist.
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Hinweis für Digitale Schnittstelle Nullpunktverschiebung, Möglichkeit der digitalen Linearisierung durch Software möglich. Einzelheiten, siehe Werden die Messwerte digital ausgelesen, so stimmen nach einer Verschiebung des Nullpunkts mit dem Zero-Poti die analogen und digitalen Messwerte nicht mehr zusam- men. capaNCDT 6500 Seite 31...
Controller miteinander synchronisiert werden. Verbinden Sie dazu alle Sync_Out Ausgänge mit den entsprechen- den Sync_In Eingängen des nachfolgenden Controllers. Verwenden Sie für die zusammenge- hörigen Signale verdrillte Leitungen (Twisted-Pair). Abb. 31 Verdrahtung für die Synchronisation zweier Controller capaNCDT 6500 Seite 32...
Besonders hohe Auflösungen erreichen Sie, wenn Sie die Messwerte in digitaler Form über die Ethernetschnittstelle auslesen. Verwenden Sie dazu das Webinterface, die Runtimeversion oder ein eigenes Programm. Micro-Epsilon unterstützt Sie mit dem Treiber MEDAQLib, der alle Befehle für das capaN- CDT 6500 enthält. Die aktuelle Treiberroutine inklusive Dokumentation finden Sie unter: www.micro-epsilon.de/download...
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UPnP-Dienst aktiviert ist, z. B. standardmäßig bei Windows 7, so wird der Controller auch automatisch im Explorer unter den Netzwerkgeräten gelistet und kann von hier aus angesprochen werden, z. B. wenn Sie die IP Adresse vergessen haben. capaNCDT 6500 Seite 34...
Korrekturgerade berechnet, so dass der linearisierte Messwert dem Soll-Messwert entspricht. Für die Korrektur des Messbereichanfangs wird nur der Messwert bei 10 % vom Messbe- reich verwendet. Die Korrekturgerade für die 2-Punkt-Linearisierung verwendet Stützpunkte bei 10 % und 90 % vom Messbereich. capaNCDT 6500 Seite 35...
Zwischen Kanalnummern steht immer ein Komma, zwischen Kanalnummer und einem zum Kanal gehörendem Parameter ein Doppelpunkt. Mehrere aufeinander folgende verschiedene Parameter (bei Befehl STS und VER) sind durch Semikolon getrennt. Befehle müssen mit <CR> oder <CRLF> enden. capaNCDT 6500 Seite 36...
5.5. Unabhängig vom eingestellten Triggermode kann auch über einen Softwarebefehl, siehe 6.4.3, ein einzelner Messwert pro Kanal abgefragt werden. Ist der Triggermodus ausgeschaltet, so sendet das capaNCDT 6500 die Messwerte un- unterbrochen mit der eingestellten Datenrate. Befehl $TRGn<CR> Antwort $TRGnOK<CRLF>...
Über die wählbare Anzahl N aufeinanderfolgender Messwerte wird der arithmetische Mittelwert M gebildet und ausgegeben. Verfahren Es werden Messwerte gesammelt und daraus der Mittelwert berechnet. Diese Methode führt zu einer Reduzierung der anfallenden Datenmenge, weil nur nach jedem N-ten Messwert ein Mittelwert ausgegeben wird. capaNCDT 6500 Seite 38...
(0 = Kanal nicht übertragen, 1 = Kanal übertragen) Befehl zum Beispiel $CHT1,1,0,0,1,0,0,0<CR> Antwort $CHT1,1,0,0,1,0,0,0OK<CRLF>(Bsp.: Kanal 1,2 und 5 werden übertragen) Abfrage Kanäle übertragen Befehl $CHT?<CR> Antwort $CHT?1,1,0,0,1,0,0,0 OK<CRLF> Angehängte Nullen können zur Vereinfachung weggelassen werden. Zum Beispiel kann $CHT1,0,0,1,0,0,0,0 durch $CHT1,0,0,1 ersetzt werden. capaNCDT 6500 Seite 39...
6 = Linearisierungspunkt bei 60 % vom Messbereich 7 = Linearisierungspunkt bei 70 % vom Messbereich 8 = Linearisierungspunkt bei 80 % vom Messbereich 9 = Linearisierungspunkt bei 90 % vom Messbereich 10 = Linearisierungspunkt bei 100 % vom Messbereich capaNCDT 6500 Seite 40...
2 = nur die zu übertragenden Kanäle werden aktualisiert 0 = keine Kanäle werden aktualisiert b (Displaywerte): 0 = Nicht linearisierte Messwerte werden angezeigt (Standardeinstellung) 1 = Linearisierte Messwerte werden angezeigt Abfrage Displayeinstellungen Befehl $DIS?<CR> Antwort $DIS?a,bOK<CRLF> capaNCDT 6500 Seite 41...
Wird eine Mathematikfunktion auf einen Kanal gesetzt, so ändert sich dessen Kanal- status auf 2. Das Ergebnis der Mathematikfunktion wird nur über die Ethernetschnittstelle ausge- geben, es wird nicht am Display des DD6530 angezeigt und auch nicht als analo- ges Signal ausgegeben. capaNCDT 6500 Seite 42...
Ethernetschnittstelle aktiviert. Die neue Schnittstelle ist erst nach einem Neustart des Controllers aktiv. Befehl $IFCm<CRLF> Bsp: $IFC1<CRLF> Antwort $IFCmOK<CRLF> Index m = 0: Ethernet m = 1: EtherCAT Abfrage Befehl $IFC? Antwort $IFC?mOK<CRLF> capaNCDT 6500 Seite 43...
Passwort = Passwort des Gerätes. Im Auslieferungszustand ist kein Passwort vergeben. Das Feld kann somit leer bleiben. 6.4.26 Logout für Webinterface (LGO = Logout) Ändert die Benutzerebene für das Webinterface auf Bediener. Befehl $LGO<CR> Antwort $LGOOK<CRLF> capaNCDT 6500 Seite 44...
- Falscher Parameter nach Befehl: (ECHO) + $WRONG PARAMETER<CRLF> - Timeout (ca. 15 s nach letzter Eingabe) (ECHO) + $TIMEOUT<CRLF> - Kein Kanal 1: $ERROR NO CH1<CRLF> - Zu hohe Datenrate: $ERROR DATARATE TO HIGH<CRLF> - Falsches Passwort: $WRONG PASSWORD<CRLF> capaNCDT 6500 Seite 45...
Ihrem PC. Um einen Controller mit der Seriennummer „01234567“ zu errei- chen, tippen Sie in die Adresszeile des Webbrowsers „DT6530_01234567“ ein. Im Webbrowser erscheinen nun interaktive Webseiten zur Einstellung von Controller und Peripherie. Das Programm sensorTOOL finden Sie online unter https://www.micro-epsilon.de/download/software/sensorTool. exe. capaNCDT 6500 Seite 46...
Prozess-Daten-Objekte PDO: Ein PDO-Telegramm dient zur echtzeitfähigen Übertragung von Messwerten. Hier werden keine einzelnen Objekte adressiert, sondern direkt die Inhalte der zuvor ausgewählten Daten gesendet. Die Abstandswerte werden als 32 Bit signed Integer-Werte übertragen. capaNCDT 6500 Seite 47...
Bei einem Defekt des Controllers, des Sensors, des Vorverstärkers oder des Sensor- und Vorverstärkerkabels senden Sie die betreffenden Teile zur Reparatur oder zum Aus- tausch an MICRO-EPSILON MESSTECHNIK GmbH & Co. KG Königbacher Str. 15 94496 Ortenburg / Deutschland capaNCDT 6500 Seite 48...
Die Haftung für Sachmängel beträgt 12 Monate ab Lieferung. Innerhalb dieser Zeit werden fehlerhafte Teile, ausgenommen Verschleißteile, kostenlos instand gesetzt oder ausgetauscht, wenn das Gerät kostenfrei an MICRO-EPSILON eingeschickt wird. Nicht unter die Haftung für Sachmängel fallen solche Schäden, die durch unsachgemä- ße Behandlung oder Gewalteinwirkung entstanden oder auf Reparaturen oder Verände-...
Anhang | Optionales Zubehör Anhang Optionales Zubehör MC2,5 Mikrometer-Kalibriervorrichtung, Einstellbereich 0 - 2,5 mm, Ablesung 0,1 µm, für Sensoren S 601- 0,05 bis CS 2 MC25D Digitale Mikrometer-Kalibriervorrich- tung, Einstellbereich 0 - 25 mm, verstellbarer Nullpunkt, für alle Sensoren SC6000-x Synchronisationskabel, Kabellänge x = 0,3 oder 1 m DO6510...
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Anhang | Optionales Zubehör Vakuumdurchführungen Alle Vakuumdurchführungen sind kompatibel zu den Steckern Typ B, siehe Kap. Abmessungen in mm, nicht maßstabsgetreu. SWH.OS.650.CTMSV Vakuumdurchführung Maximale Leckrate 1x10e-7 mbar M10x0,75 · l s- Kompatibel zu Stecker Typ B max. 17 Vakuumdurchführung triax schweißbar Maximale Leckrate 1x10e-9 mbar ·...
Anhang | Serviceleistungen Serviceleistungen Funktions- und Linearitätsprüfung, inklusive 11-Punkte-Protokoll mit grafischer Darstellung und Nachkalibrierung. Werkseinstellung - Datenrate = 100 Sa/s - Filter = Aus - Linearisierung = Aus - Kanäle übertragen = Alle - Triggerbetrieb = Aus - Display = Alle Kanäle, nicht linearisierte Messwerte - Mathematikfunktionen = Aus Einfluss von Verkippung des kapazitiven Sensors CS10...
Anhang | Einfluss von Verkippung des kapazitiven Sensors 50 % 45 % 40 % 35 % 30 % 3 mm z konstant 25 % 4 mm 20 % 6 mm 15 % 10 % Bewegung 8 mm y >8 mm in x-Richtung Target-Verschiebung senkrecht zu Sensorachse [mm] Abb.
Anhang | EtherCAT-Dokumentation EtherCAT-Dokumentation EtherCAT® ist aus Sicht des Ethernet ein einzelner großer Ethernet-Teilnehmer, der Ethernet-Telegramme sendet und empfängt. Ein solches EtherCAT-System besteht aus einem EtherCAT-Master und bis zu 65535 EtherCAT-Slaves. Master und Slaves kommunizieren über eine standardmäßige Ethernet-Verkabelung. In jedem Slave kommt eine On-the-fly-Verarbeitungshardware zum Einsatz. Die einge- henden Ethernetframes werden von der Hardware direkt verarbeitet.
Master zum Slave (Ausgänge) zu übertragen; dies wird im capaNCDT 6500 nicht verwendet. Die PDO Abbildung (Mapping) definiert, welche Anwendungsobjekte (Mess- daten) in einem PDO übertragen werden. Das capaNCDT 6500 besitzt ein Tx PDO für die Messdaten. Als Prozessdaten stehen folgende Messwerte zur Verfügung: - Counter Messwertzähler (32 Bit)
Anhang | EtherCAT-Dokumentation A 5.1.8 Servicedaten SDO-Service Servicedatenobjekte (SDO’s) werden hauptsächlich für die Übertragung von nicht zeitkri- tischen Daten, zum Beispiel Parameterwerten, verwendet. EtherCAT spezifiziert sowohl SDO-Dienste als auch SDO-Informationsdienste: SDO-Dienste ermöglichen den Lese-/ Schreibzugriff auf Einträge im CoE-Objektverzeichnis des Geräts. SDO-Informations- dienste ermöglichen das Lesen des Objektverzeichnisses selbst und den Zugriff auf die Eigenschaften der Objekte.
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Anhang | EtherCAT-Dokumentation Objekt 2020h: Channel Information 2020 RECORD Channel 1 Info Subindizes Anzahl Einträge Unsigned8 Name DL6500 Visible String ro Serial No xxxxxxxx Unsigned32 Status Active Enum Range Unsigned32 Unit µm Enum Dataformat zero value Signed32 Dataformat end value 16777215 Signed32 Linearization...
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Anhang | EtherCAT-Dokumentation Auf der Online-Seite sollte der aktuelle Status mindestens auf PREOP, SAFEOP oder OP stehen. Beispiel des kompletten Objektverzeichnisses (Änderungen vorbehalten). capaNCDT6500 Seite 62...
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Anhang | EtherCAT-Dokumentation Auf der Prozessdaten Seite können die PDO Zuordnungen aus dem Gerät gelesen werden. Im Status SAFEOP und OP werden die ausgewählten Messwerte als Prozessdaten übertragen. capaNCDT6500 Seite 63...
Anhang | Dickenmessung Dickenmessung A 6.1 Allgemein Dieses Kapitel beschreibt eine Dickenmessung mit zwei gegenüberliegend montierten Sensoren. Das Display am Controller zeigt die Abstandswerte der einzelnen Sensoren an. Der Abstand beider Sensoren zueinander geht als Basis in die Dickenberechnung mit ein. Die nun folgende Beschreibung setzt voraus, - dass die Sensoren angeschlossen sind, - die Versorgungsspannung am Controller eingeschaltet ist,...
Anhang | Dickenmessung Befindet sich auf dem Ausgabekanal kein Einschub, wird der individuell eingestellte Wert beim Systemneustart wieder mit 10.000 überschrieben. Soll die Wortlänge des Datenka- nals optimal ausgenutzt und daher ein kleinerer Messbereich eingestellt werden, muss diese Einstellung nach dem Neustart neu gesetzt werden. Die Messbereiche werden im Controller automatisch miteinander verrechnet, so dass das Ergebnis unabhängig vom Messbereich des Ausgabekanals richtig ausgegeben wird.
Anhang | Dickenmessung Formel für die Dickenberechnung: Datenkanal = Offset + Messkanal 1 + Messkanal 2 Das Ergebnis der Mathematikfunktion wird nur über die Ethernetschnittstelle ausge- geben. Es wird nicht am Display des DD6530 angezeigt. Die Ausgabe als analoges Signal ist über die optional erhältliche Analogausgangskarte DO6510 möglich, siehe 5.2.3 oder EtherCAT und eine entsprechende Ausgangsklemme.
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Anhang | Dickenmessung Sensor 1 Sensor 1 Sensor 1 Sensor 1 2 mm 0,8 mm 1,2 mm 2 mm 2 mm 1,2 mm 2 mm 0,8 mm Sensor 2 Sensor 2 Sensor 2 Sensor 2 Offset 5.200 µm 4.000 µm 4.000 µm 4.000 µm Messbereich...
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