Technische Daten Ims5600 - MICRO-EPSILON interferoMETER IMS5400-DS19 Betriebsanleitung

Funktionsprinzip, Technische Daten
3.8

Technische Daten IMS5600

Modell
Abstand
Messbereich
Dicke
Messbereichsanfang
1
Auflösung
Messrate
2
Linearität
Temperaturstabilität
Mehrschichtmessung
Lichtquelle
3
Lichtpunktdurchmesser
4
Messwinkel
Messobjektmaterial
Versorgungsspannung
Signaleingang
Digitale Schnittstelle
Analogausgang
Schaltausgang
Digitalausgang
optisch
Anschluss
elektrisch
Sensor
Montage
Controller
Lagerung
Temperaturbereich
Betrieb
Schock (DIN EN 60068-2-27)
Vibration (DIN EN 60068-2-6)
Sensor
Schutzart
(DIN EN 60529)
Controller
Vakuum
Material
Bedien- und Anzeigeelemente
Alle Daten ausgehend von konstanter Raumtemperatur (24 ±2 °C)
1) Messrate 0,5 kHz, gleitende Mittelung über 64 Werte, differentiell gemessen zwischen Vorder- und Rückseite einer dünnen Glasplat-
te in Messbereichsmitte (2 Sigma)
2) Maximale Abweichung zu Referenzsystem über gesamten Messbereich, gemessen auf Vorderfläche ND-Filter
3) In Messbereichsmitte
4) Maximale Verkippung des Sensors, bis zu der auf einem polierten Glas (n = 1,5) in der Messbereichsmitte ein verwertbares Signal
erzielt werden kann, wobei die Genauigkeit zu den Grenzwerten abnimmt
5) Nicht transparente Materialien erfordern optisch dichte Oberfläche bei Wellenlänge 840 nm
6) Optionale Anbindung über Schnittstellenmodul (siehe Zubehör)
IMS5x00
IMS5600-DS19
-
< ±10 nm
Linearität: typ. 0,1 nm / K (ohne Offsetverschiebung)
temperaturkompensiert, Stabilität < 10 ppm zwischen +15 ... +35 °C
-
NIR-SLED, Wellenlänge 840 nm; Klasse 1 nach DIN-EN 60825-1: 2015-07
Pilotlaser: Laser-LED, Wellenlänge 635 nm; Klasse 1, Leistung (< 0,2 mW)
Sync in, Trigger in, 2 x Encoder (A+, A-, B+, B-, Index)
Ethernet / EtherCAT / RS422 / PROFINET
Steckbarer Lichtwellenleiter über E2000-Buchse (Controller) und FC-Buchse (Sensor);
Standardlängen 3 m, 5 m und 10 m; andere Kabellängen auf Anfrage;
Encoderanschluss (15-pol., HD-Sub-Buchse, max. Kabellänge 3 m,
RS422-Anschlussbuchse (9-pol., Sub-D, max. Kabellänge 30 m);
3-pol. Ausgangsklemmleiste (max. Kabellänge 30 m); 11-pol. I/O Klemmleiste (max. Kabellänge 30 m);
RJ45-Buchse für Ethernet (out) / EtherCAT (in/out) (max. Kabellänge 100 m)
Radialklemmung, Montageadapter (siehe Zubehör)
Edelstahl (Sensor); Aluminiumgehäuse, passiv gekühlt (Controller)
Multifunktionstaste: zwei einstellbare Funktionen sowie Reset auf Werkseinstellung nach 10 s;
Webinterface für Setup: auswählbare Presets, frei wählbare Mittelungen,
6 x Farb-LED für Intensity, Range, SLED, Pilot-Laser, Status und Power;
2,1 mm
ca. 19 mm
< 30 pm
stufenlos einstellbar von 100 Hz bis 6 kHz
10 µm
±2°
Glas, spiegelnde oder diffuse Oberflächen
24 VDC ±15 %, ca. 10 W (24 V)
4 ... 20 mA / 0 ... 10 V (16 bit D/A Wandler)
Fehler1-Out, Fehler2-Out
Sync out
Biegeradius: statisch 30 mm, dynamisch 40 mm
3-pol. Versorgungsklemmleiste;
30 m bei externer Encoderversorgung);
frei stehend, Hutschienenmontage
-20 ... +70 °C
Sensor: +5 ... +70 °C;
Controller: +15 ... +35 °C
15 g / 6 ms in XY-Achse, je 1000 Schocks
2 g / 20 ... 500 Hz in XY-Achse, je 10 Zyklen
IP65, IP40 (Option /VAC)
IP40
optional UHV (Kabel und Sensor)
Datenreduktion, Setupverwaltung;
Pilot-Laser: zuschaltbar zur Sensor-Ausrichtung
IMS5600-DS19/MP
0,010 ... 1,3 mm
< ±10 nm für den ersten Abstand
< ±100 nm für jeden weiteren Abstand
bis zu 13 Schichten
5
6 6
/ EtherNet/IP
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