Technische Daten Ims5400-Th - MICRO-EPSILON interferoMETER IMS5400-DS19 Betriebsanleitung

Funktionsprinzip, Technische Daten
3.7

Technische Daten IMS5400-TH

Modell
Arbeitsabstand
Messbereich (Dicke)
2
Auflösung
Messrate
3
Linearität
Temperaturstabilität
Controller
Mehrschichtmessung
Lichtquelle
4
Lichtpunktdurchmesser
5
Messwinkel
Versorgungsspannung
Signaleingang
Digitale Schnittstelle
Analogausgang
Schaltausgang
Digitalausgang
Anschluss
elektrisch
Montage
Controller
Lagerung
Temperaturbereich
Schock (DIN EN 60068-2-29)
Vibration (DIN EN 60068-2-6)
Schutzart
(DIN EN60529)
Controller
Vakuum
Material
Bedien- und Anzeigeelemente
Alle Daten ausgehend von konstanter Raumtemperatur (24 ±2 °C)
1) Messbereich bei n=1,5; Bei Luftspaltmessung zwischen zwei Glasplatten (n~1) beträgt der Messbereich 0,05 ... 2,1 mm. Das
Messobjekt muss sich innerhalb des Arbeitsabstandes befinden.
2) Messrate 0,5 kHz, gleitende Mittelung über 64 Werte, gemessen auf ein ca. 1 mm dickes BK7-Planglas (2 Sigma)
3) Maximale Dickenabweichung bei Messung auf ein ca. 1 mm dickes BK7-Planglas (n=1,5) beim Durchfahren des Messbereichs
4) Bei einem Arbeitsabstand von 45 mm (TH-45) bzw. 70 mm (TH-70)
5) Maximale Verkippung des Sensors, bis zu der auf ein ca. 0,6 mm dickes BK7-Planglas in der Messbereichsmitte ein verwertbares
Signal erzielt werden kann, wobei die Genauigkeit zu den Grenzwerten abnimmt
6) Optionale Anbindung über Schnittstellenmodul (siehe Zubehör)
IMS5x00
IMS5400-TH45
45 mm ±3,5 mm
< ±100 nm
Sensor
temperaturkompensiert, Stabilität < 10 ppm zwischen +15 ... +35 °C
1 Schicht
NIR-SLED, Wellenlänge 840 nm, Klasse 1 nach DIN EN 60825-1: 2015-07
Pilotlaser: Laser-LED, Wellenlänge 635 nm; Klasse 1, Leistung (< 0,2 mW)
10 µm
±2°
Steckbarer Lichtwellenleiter über E2000-Buchse (Controller) und FC-Buchse (Sensor);
optisch Standardlängen 3 m, 5 m und 10 m; andere Kabellängen auf Anfrage;
3-polige Versorgungsklemmleiste; Encoderanschluss (15-polig, HD-Sub-Buchse,
max. Kabellänge 3 m, 30 m bei externer Encoderversorgung);
RS422-Anschlussbuchse (9-polig, Sub-D, max. Kabellänge 30 m);
RJ45-Buchse für Ethernet (out) / EtherCAT (in/out) (max. Kabellänge 100 m)
Sensor
Betrieb
Sensor
IP40 (Option VAC)
Edelstahl (Sensor), Aluminiumgehäuse, passiv gekühlt (Controller)
Multifunktionstaste: zwei einstellbare Funktionen sowie Reset auf Werkseinstellung nach 10 s;
Webinterface für Setup: auswählbare Presets, frei wählbare Mittelungen, Datenreduktion,
6 x Farb-LED für Intensity, Range, SLED, Pilot-Laser, Status und Power;
IMS5400-TH45/MP
45 mm ±3,5 mm
0,035 ... 1,4 mm
< 1 nm
stufenlos einstellbar von 100 Hz bis 6 kHz
< ±100 nm
Linearität gültig für den gesamten Temperaturbereich
bis zu 5 Schichten
10 µm
±2°
24 VDC ±15 %, ca. 10 W (24 V)
Sync in, Trigger in, 2 x Encoder (A+, A-, B+, B-, Index)
Ethernet / EtherCAT / RS422 / PROFINET
4 ... 20 mA / 0 ... 10 V (16 bit D/A Wandler)
Fehler1-Out, Fehler2-Out
Sync out
Biegeradius: statisch 30 mm, dynamisch 40 mm
3-polige Ausgangsklemmleiste (max. Kabellänge 30 m);
11-polige I/O Klemmleiste (max. Kabellänge 30 m);
Radialklemmung, Montageadapter (siehe Zubehör)
frei stehend, Hutschienenmontage
-20 ... +70 °C
Sensor: +5 ... +70 °C;
Controller: +15 ... +35 °C
15 g / 6 ms in XY-Achse, je 1000 Schocks
2 g / 20 ... 500 Hz in XY-Achse, je 10 Zyklen
optional UHV (Kabel und Sensor)
Setupverwaltung;
Pilot-Laser: zuschaltbar zur Sensor-Ausrichtung
IMS5400-TH70
70 mm ±2,1 mm
1
< ±200 nm
1 Schicht
5 µm
±4°
6
/ EtherNet/IP
IP65
IP40
IMS5400-TH70/MP
70 mm ±2,1 mm
< ±200 nm
bis zu 5 Schichten
5 µm
±4°
6
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