Anzahl Peaks - MICRO-EPSILON interferoMETER IMS5400-DS19 Betriebsanleitung

Erweiterte Einstellungen
7.2.6

Anzahl Peaks

Anzahl der Peaks des FFT-Signals, die zur Auswertung bei Abstands- oder Dickenmessung verwendet werden. Die Aus-
wahl der Peakanzahl erfolgt im Menü Einstellungen > Messwertaufnahme > Anzahl Peaks.
Diese Funktion ist für folgende Systeme möglich:
- IMS5400-DS19/MP: maximal 13 Schichten bzw. 14 Abstandspeaks
- IMS5400-TH45/MP: maximal 5 Schichten
- IMS5400-TH70/MP: maximal 5 Schichten
- IMS5600-DS19/MP: maximal 13 Schichten bzw. 14 Abstandspeaks
Achten Sie auf die richtige Zählweise der Peaks, siehe
Die Standard-Systeme IMS5400-DSxx, IMS5400-THxx und IMS5600-DSxx werten eine Schicht aus.
i
Wenn für eine Messung keine Abstände bestimmt werden müssen, empfiehlt Micro-Epsilon die Verwendung eines
IMS5400MP-THxx.
Beispiel für eine Schicht aus Glas und Spalt, Messpeak-Sortierung: Erster
IMP-TH
BK7
Peak 3
Spalt
0 20 40
Abb. 44 Messanordnung aus zwei Schichten mit zugehöriger Materialauswahl
Die Materialauswahl für eine Dickenmessung startet mit der dünnsten Schicht (Schicht 1) unabhängig von der physikali-
schen Anordnung im Messobjekt. Die Materialauswahl für eine Abstandsmessung entspricht der tatsächlichen physikali-
schen Anordnung im Messobjekt.
1) Bei einer Abstandsmessung auf transparente Objekte werden neben den Abstandspeaks auch Dickenpeaks ange-
zeigt, der Controller wertet diese aber nicht aus. Der Übersichtlichkeit wegen sind Dickenpeaks mit Buchstaben gekenn-
zeichnet.
IMS5x00
Dicke
Peak 2
Peak 1
Bereich [%] 60 80
Kap. 7.2.5.
IMP-DS
MBA
Peak C
MBE
100 0 20
Abstand
Peak 1
BK7
Peak 2
Spalt
Peak 3
40 Bereich [%] 60
Peak B
1
Peak A
80 100
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