MICRO-EPSILON interferoMETER IMS5400-DS19 Betriebsanleitung Seite 50

Erweiterte Einstellungen
Jeder Peak steht für einen Dickenwert. Die Peaks wer-
den beginnend bei Messbereichsanfang (für die dünnste
Schicht) Richtung Messbereichsende (für die dickste
Schicht) gezählt. Auch kombinierte Dicken benachbarter
Schichten werden ausgewertet.
Die Materialauswahl für eine Dickenmessung startet mit
der dünnsten Schicht (Schicht 1) unabhängig von der
physikalischen Anordnung im Messobjekt, siehe
7.2.7.
Peak 5
Peak 3
0 20
Abb. 42 Ab dem ersten Peak wird ausgewertet, z. B. 3 von 4 Peaks
0 20
Abb. 43 Ab dem höchsten Peak wird ausgewertet, z. B. 3 von 4 Peaks
Die Anzahl der Peaks des FFT-Signals, die zur Auswertung bei Abstands- oder Dickenmessung verwendet werden, sind
separat zu bestimmen, siehe
Bei einem Messobjekt, das aus mehreren transparenten Schichten besteht, ist eine Materialzuweisung pro Schicht erfor-
derlich, siehe Kap. 7.2.7.
Bei einer Abstandsmessung ist eine Berechnung der Schichtdicke über die Signalverarbeitung möglich, siehe
1) Bei einer Abstandsmessung auf transparente Objekte werden neben den Abstandspeaks auch Dickenpeaks ange-
zeigt, der Controller wertet diese aber nicht aus. Der Übersichtlichkeit wegen sind Dickenpeaks mit Buchstaben gekenn-
zeichnet.
i
Diese Funktion wird genutzt, wenn ein Material vor oder zwischen den Nutzpeaks noch kleinere Störpeaks aufweist,
die durch dünne Schichten auf dem Messobjekt verursacht werden. Diese Funktion ist mit Bedacht einzusetzen
und wendet sich ausschließlich an Produktspezialisten.
IMS5x00
Controller IMC5400/MP , IMC5600/MP
Dicke
Peak 4
Schicht 3
Peak 1
Schicht 1
Peak 2
Schicht 2
Peak 6
40 60
Bereich [%]
40 60
Bereich [%]
Kap. 7.2.6.
Jeder erkannte Peak steht für einen Abstandswert. Die
Peaks werden beginnend bei Messbereichsanfang
(kleinen Abstand zwischen Sensor und Messobjekt) in
Richtung Messbereichsende (großer Abstand zwischen
Sensor und Messobjekt) gezählt.
Kap.
80 0
80 0
Abstand
Peak 1
Peak A
Schicht 1
Peak 2
Schicht 2
Peak 3
Peak B
Schicht 3
Peak 4
1
20 40
Bereich [%]
20 40
Bereich [%]
1
60 80
60 80
Kap. 7.3.
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