Begriffsdefinition; Betriebsarten; Abstandsmessung; Messbereich - MICRO-EPSILON interferoMETER IMS5400-DS19 Betriebsanleitung

Funktionsprinzip, Technische Daten
3.3

Begriffsdefinition

MBA Messbereichsanfang. Minimaler Abstand zwischen Sensorstirnfläche und
Messobjekt
MBM Messbereichsmitte (=Messbereichsanfang + 0,5*Messbereich)
MBE Messbereichsende (=Messbereichsanfang + Messbereich)
Maximaler Abstand zwischen Sensorstirnfläche und Messobjekt
MB

Messbereich

Sensor
Abb. 2 Abstandssensor IMP-DS, Messbereich und Ausgangssignal am Controller
Abb. 3 Dickensensor IMP-THxx mit Arbeitsabstand und Arbeitsbereich
3.4

Betriebsarten

Das Messsystem interferoMETER misst hochpräzise
- Abstände gegen optisch dichte Materialien mit diffusen oder spiegelnden Oberflächen
- Dicken bei transparenten Schicht-Materialien.
Die Auswahl der Betriebsart Abstands- oder Dickenmessung erfolgt durch die Wahl des Sensors. Das Ergebnis einer
Messung ist entsprechend ein Abstands- oder Dickenwert.

Abstandsmessung

Messbereich
Abb. 4 Messbereiche bei Abstands- und Dickenmessung
Die mögliche Auflösung liegt dabei im Nanometerbereich.
Für einen Schnelleinstieg empfiehlt sich die Verwendung von gespeicherten Konfigurationen (Presets) für verschiedene
Messobjektoberflächen und Anwendungen, siehe
1) Messbereich bei n=1,5; bei Luftspaltmessung zwischen zwei Glasplatten (n~1) beträgt der Messbereich
0,05 ... 2,1 mm. Das Messobjekt muss sich innerhalb des Arbeitsabstandes befinden.
3.5

Sensoren

Der Controller kann mit bis zu 20 unterschiedlichen Sensoren betrieben werden. Die dazu erforderlichen Kalibriertabellen
werden im Controller hinterlegt.
IMS5x00
100 %
50
0
MBA
MBA
Arbeitsabstand
Dickensensor
Dickenmessung
2,1 mm
35 µm ... 1,4 mm
MBM MBE
Messobjekt
Messbereich (MB)
Arbeitsbereich
1
Kap. 6.7.
Weg
Seite 13