MICRO-EPSILON interferoMETER IMS5400-DS19 Betriebsanleitung Seite 53

Erweiterte Einstellungen
Beispiel für zwei Schichten gleicher Dicke; Messpeak-Sortierung: Erster
IMP-TH
PC
Peak 2
PC
0 20
Peak 1 ist doppelt vorhanden, weil die zwei gleich dicken
Schichten in einem Peak abgebildet werden.
Schicht 2 ist die Materialauswahl für die Kombinations-
2
schicht von Peak 2.
Abb. 46 Messanordnung aus zwei Schichten mit gleicher Dicke und zugehöriger Materialauswahl
i
Eine Dickenbestimmung aus den Abständen ist auch mit den Rechenfunktionen Dicke und Berechnung möglich,
siehe Kap. 7.3.
1) Bei einer Abstandsmessung auf transparente Objekte werden neben den Abstandspeaks auch Dickenpeaks ange-
zeigt, der Controller wertet diese aber nicht aus. Der Übersichtlichkeit wegen sind Dickenpeaks mit Buchstaben gekenn-
zeichnet.
2) Die Controller IMS5400-TH45/MP und IMS5400-TH70/MP werten auch kombinierte Dicken der verschiedenen Schich-
ten aus.
IMS5x00
Dicke
Peak 1
Peak 1
40 Bereich [%] 60 80
MBA
Peak B
MBE
100 0 20
Abstand
IMP-DS
Peak 1
PC
Peak 2
PC
Peak 3
40 Bereich [%] 60
1
Peak A
Peak A
80 100
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