MICRO-EPSILON interferoMETER IMS5400-DS19 Betriebsanleitung Seite 55

Erweiterte Einstellungen
Dicke
1 Schicht 2, BK7
Peak 3
Schicht 1, PC
Dicke
Schicht 1, BK7
Peak 3
Schicht 2, PC
IMS5x00
Controller IMC5400MP , IMC5600MP
Wechseln Sie in die Materialauswahl,
Menü Einstellungen > Messwert-
aufnahme.
Ordnen Sie, entsprechend dem ver-
wendeten Messobjekt, die Materialien
den einzeln Schichten zu.
Die Dickensysteme IMS5400-THxx
und IMS5400-THxx/MP geben die
Schichtdicke(n) direkt aus.
Peak 2
Die Abstandssysteme IMS5x00-DSxx
Peak 1
und IMS5x00-DSxx/MP berechen die
Schichtdicke(n) aus den Abstandswerten.
Die Materialauswahl für eine Dickenmes-
sung startet mit der dünnsten Schicht
(Schicht 1) unabhängig von der physikali-
schen Anordnung im Messobjekt.
Die Materialauswahl für eine Abstandsmes-
sung entspricht der tatsächlichen physikali-
schen Anordnung im Messobjekt.
Controller IMC5400MP , IMC5600MP
Im Vergleich zum obigen Beispiel hat die
Dicke der unteren Schicht (blau) zugenom-
men und ist größer als die obere Schicht.
Peak 1
Für diesen Fall ist die Materialauswahl
anzupassen.
Im FFT-Signal wechseln Peak 1 und Peak 2
Peak 2
die Plätze, siehe
1) Die Controller IMS5400-TH45/MP und
IMS5400-TH70/MP werten auch kombinier-
te Dicken der verschiedenen Schichten
aus. Für Peak 3 ist entsprechend eine
Materialauswahl für Schicht 3 (= Schicht 1
+ Schicht 2) zu treffen.
Kap. 6.8, siehe Kap. 7.2.5.
Abstand
MBA
Peak 1
Schicht 1, BK7
Peak 2
Schicht 2, PC
Peak 3
MBE
Abstand
Peak A 1
Peak B
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