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MICRO-EPSILON interferoMETER IMS5400-DS19 Benutzerhandbuch

MICRO-EPSILON interferoMETER IMS5400-DS19 Benutzerhandbuch

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Inhaltsverzeichnis
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Inhaltszusammenfassung für MICRO-EPSILON interferoMETER IMS5400-DS19

  • Seite 1 Benutzerhandbuch interferoMETER IMS5400-DS19 IMS5400-DS19/MP IMS5600-DS19 IMS5400-TH45 IMS5400-TH45/MP IMS5600-DS19/MP IMS5400-TH70 IMS5400-TH70/MP...
  • Seite 2: Inhaltsverzeichnis

    GmbH & Co. KG Königbacher Str. 15 94496 Ortenburg / Deutschland Weitere Informationen zum Messsystem können Sie in der Tel. +49 (0) 8542 / 168-0 Betriebsanleitung nachlesen. Diese finden Sie Online unter: Fax +49 (0) 8542 / 168-90 e-mail info@micro-epsilon.de www.micro-epsilon.de/download/manuals/ man--interferoMETER-5x00--de.pdf www.micro-epsilon.de...
  • Seite 3: Allgemein

    Allgemein Allgemein Verwendete Zeichen In diesem Dokument werden folgende Bezeichnungen verwendet. Zeigt eine gefährliche Situation an, die zu geringfügigen oder mittelschweren Verletzungen führt, falls diese nicht vermieden wird. Zeigt eine Situation an, die zu Sachschäden führen kann, falls diese nicht vermieden wird. Zeigt eine ausführende Tätigkeit an.
  • Seite 4: Bestimmungsgemäße Verwendung

    Allgemein Bestimmungsgemäße Verwendung - Das Messsystem interferoMETER ist für den Einsatz im Industrie- und Wohnbereich konzipiert. Es wird eingesetzt zur ƒ Weg-, Abstands-, Profil-, Dicken- und Oberflächenmessung, ƒ Qualitätsüberwachung und Dimensionsprüfung. - Das Messsystem darf nur innerhalb der in den technischen Daten angegebenen Werte betrieben werden, siehe Betriebsanleitung Kap.
  • Seite 5: Glossar

    Lasersicherheit Glossar Lasersicherheit Das Messsystem interferoMETER arbeitet mit einem = Messbereich Pilotlaser der Wellenlänge 635 nm (sichtbar / rot) mit ei- MBA = Messbereichsanfang ner max. Leistung von < 0,01 mW und einem Messlaser der Wellenlänge 840 nm mit einer max. Leistung von MBM = Messbereichsmitte (=MBA + 0,5MB) <...
  • Seite 6: Betriebsarten

    Betriebsarten Betriebsarten Systemaufbau, Anschlussmöglichkeiten Verbinden Sie die Komponenten miteinander, bau- Das Messsystem interferoMETER misst hochpräzise en Sie die Sensoren in die Halterungen ein. - Abstände gegen optisch dichte Materialien mit diffu- sen oder spiegelnden Oberflächen 2-Port Switch / - Dicken bei transparenten Schicht-Materialien. EtherCAT- Abzweigung Patchkabel 2x RJ45...
  • Seite 7: Sensorkabel

    Systemaufbau, Anschlussmöglichkeiten Sensorkabel Allgemeine Regeln Vermeiden Sie grundsätzlich: Der Sensor wird mit einem Lichtwellenleiter an den - jegliche Verschmutzung der Stecker, z. B. Staub oder Controller angeschlossen. Fingerabdrücke - Kürzen oder verlängern Sie den Lichtwellenleiter - unnötige Steckvorgänge nicht. - jegliche mechanische Belastung des Lichtwellenleiters - Ziehen oder tragen Sie den Sensor nicht am Lichtwel- (Knicken, Quetschen, Ziehen, Verdrillen, Knoten o.
  • Seite 8: Schraubklemmen

    Systemaufbau, Anschlussmöglichkeiten Schraubklemmen Beschreibung Bemerkungen 0 ... 5 V; 0 ... 10 V; Analog Out ca. 50 Ohm; Spannungsausgang 5,5 V / 10,9 V bei Fehler, außerhalb Messbe- U/I out reich 4 ... 20 mA; R ≤ 500 Ohm Stromausgang 23,7 mA bei Fehler, außerhalb Messbereich Masse Analogausgang Galvanisch verbunden mit Versorgung...
  • Seite 9: Led Am Controller

    LED am Controller LED am Controller Power on Grün Versorgungsspannung vorhanden Kein Fehler Status Ist die EtherCAT-Schnittstelle aktiv, dann Bedeutung der LED nach den EtherCAT-Richtlinien. Signal in Sättigung Bei einem Synchronisa- tionsfehler blinken die LED‘s Gelb Signal zu gering Intensity und Range mit ihrer Grün Signal in Ordnung aktuellen Farbe.
  • Seite 10: Taste Multifunction

    LED am Controller Taste Multifunction Die Taste Multifunction am Controller ist mehrfach belegt. Damit lässt sich z. B. die Lichtquelle des Sensors be- dienen. Ab Werk ist die Taste mit der Funktion Pilotlaser on/off belegt. Masterwert setzen / Startet bzw. beendet das Mastern der gewählten Signale rücksetzen Pilotlaser Ein-/Ausschalten des Pilotlasers...
  • Seite 11: Inbetriebnahme

    Im Webbrowser ist nun der Startbildschirm der Control- Arbeitsbereich ler-Software zu sehen. Die IP-Adresse der Controller, die an einem PC/Netzwerk angeschlossen sind, können Sie mit dem Programm sensorTOOL.exe abfragen. Dieses Programm finden Sie Arbeitsabstand Dickensensor online unter https://www.micro-epsilon.de/download/ software/sensorTOOL.exe. IMS5x00 Seite 11...
  • Seite 12: Messobjekt Platzieren, Abstandsmessung

    Inbetriebnahme Messobjekt platzieren, Abstandsmessung Sie können auch mit Hilfe des FFT-Signals den Sensor positionieren. Das interferometrische Messprinzip liefert Der Pilotlaser mit rotem Licht unterstützt Sie während vor und nach dem eigentlichen Messbereich Messwerte. der Inbetriebnahme, den Sensor auf das Ziel auszurich- Einen falschen Messbereichsabstand können Sie an ten.
  • Seite 13: Messobjekt Platzieren, Dickenmessung

    Inbetriebnahme Messobjekt platzieren, Dickenmessung Der Pilotlaser mit rotem Licht unterstützt Sie während Die LED Range an der Frontseite des Controllers zeigt der Inbetriebnahme, den Sensor auf das Ziel auszurich- die Position des Messobjektes zum Sensor an. ten. Kein Messobjekt vorhanden oder Den Pilotlaser können Sie im Menü...
  • Seite 14: Messpeak Sortierung

    Inbetriebnahme Messpeak Sortierung Die Auswahl des/der Peaks entscheidet darüber, welcher Bereich im Signal für die Abstands- bzw. Dickenmessung genutzt wird. Wechseln Sie in die Materialauswahl, Menü Einstellungen > Messwertaufnahme. Wechseln Sie als Diagrammtyp FFT. Wählen Sie zwischen Erster Peak oder Höchster Peak. Controller IMC5400, IMC5600 Dicke Abstand...
  • Seite 15 Inbetriebnahme Controller IMC5400/MP , IMC5600/MP Dicke Abstand Jeder Peak steht für einen Dickenwert. Die Peaks werden Jeder erkannte Peak steht für einen Abstandswert. Die Peaks beginnend bei Messbereichsanfang (für die dünnste Schicht) werden beginnend bei Messbereichsanfang (kleinen Abstand Richtung Messbereichsende (für die dickste Schicht) gezählt. zwischen Sensor und Messobjekt) in Richtung Messbereichs- Auch kombinierte Dicken benachbarter Schichten werden ende (großer Abstand zwischen Sensor und Messobjekt)
  • Seite 16 Inbetriebnahme Bereich [%] Bereich [%] Ab dem höchsten Peak wird ausgewertet, z. B. 3 von 4 Peaks Die Anzahl der Peaks des FFT-Signals, die zur Auswertung bei Abstands- oder Dickenmessung verwendet werden, sind separat zu bestimmen, siehe Kap. Anzahl Peaks. Bei einem Messobjekt, das aus mehreren transparenten Schichten besteht, ist eine Materialzuweisung pro Schicht erforderlich, siehe Kap.
  • Seite 17: Anzahl Peaks

    Achten Sie auf die richtige Zählweise der Peaks, siehe Kap. Messpeak Sortierung. Die Standard-Systeme IMS5400-DSxx, IMS5400-THxx und IMS5600-DSxx werten eine Schicht aus. Wenn für eine Messung keine Abstände bestimmt werden müssen, empfiehlt Micro-Epsilon die Verwendung eines IMS5400MP-THxx. Die Materialauswahl für eine Dickenmessung startet mit der dünnsten Schicht (Schicht 1) unabhängig von der phy- sikalischen Anordnung im Messobjekt.
  • Seite 18 Inbetriebnahme Beispiel für eine Schicht aus Glas und Spalt, Messpeak-Sortierung: Erster, zugehörige Materialauswahl Dicke Abstand IMP-TH IMP-DS Peak 1 Peak 2 Peak B Peak 3 Peak C Peak 2 Peak 1 Peak A Spalt Spalt Peak 3 Bereich [%] Bereich [%] 1) Bei einer Abstandsmessung auf transparente Objekte werden neben den Abstandspeaks...
  • Seite 19 Inbetriebnahme Beispiel für laminiertes Glas aus drei Schichten, Messpeak-Sortierung: Erster, zugehörige Materialauswahl Dicke Abstand IMP-DS IMP-TH Peak 1 Peak D Peak 4 Peak 5 Peak E Peak F Peak 2 Peak 6 Peak A Peak 1 Peak 3 Peak B Peak 2 Peak 3 Peak C...
  • Seite 20 Inbetriebnahme Beispiel für zwei Schichten gleicher Dicke; Messpeak-Sortierung: Erster, zugehörige Materialauswahl Abstand IMP-DS Dicke IMP-TH Peak 1 Peak A Peak 1 Peak B Peak 2 Peak 2 Peak A Peak 1 Peak 3 Bereich [%] Bereich [%] Peak 1 ist doppelt vorhanden, weil die zwei Eine Dickenbestimmung aus den Abstän- gleich dicken Schichten in einem Peak abgebil- den ist auch mit den Rechenfunktionen...
  • Seite 21: Materialauswahl

    Inbetriebnahme Materialauswahl Für eine exakte Abstands- bzw. Dickenmessung ist im Controller eine Brechzahlkorrektur erforderlich. Zwischen Sensorstirnfläche und Messobjekt (Material Infront) darf sich ausschließlich Luft befinden, andere Medien wie z. B. Wasser oder Alkohol sind nicht möglich. Dicke Controller IMC5400, IMC5600 Abstand Wechseln Sie in die Materialauswahl, Menü...
  • Seite 22 Inbetriebnahme Für eine Berechnung der Abstände und Dicken ist auch die Oberfläche des nachfolgenden Materials erforderlich. Klicken Sie auf das Symbol, um einen bestehenden Eintrag zu ändern. Klicken Sie auf das Symbol, um ein weiteres Material zu ergänzen. Klicken Sie auf das Symbol, um ein weiteres oder geändertes Material zu speichern. Klicken Sie auf das Symbol, um den Vorgang ohne Speichern abzubrechen.
  • Seite 23 Inbetriebnahme Dicke Controller IMC5400MP , IMC5600MP Abstand Wechseln Sie in die Materialauswahl, Menü Einstellungen > Messwert- aufnahme. Ordnen Sie, entsprechend dem ver- wendeten Messobjekt, die Materialien den einzeln Schichten zu. Die Dickensysteme IMS5400-THxx und IMS5400-THxx/MP geben die Peak 1 Schichtdicke(n) direkt aus. Peak 2 Peak A Schicht 2, BK7...
  • Seite 24 Inbetriebnahme Dicke Controller IMC5400MP , IMC5600MP Abstand Im Vergleich zum obigen Beispiel hat die Dicke der unteren Schicht (blau) zugenom- men und ist größer als die obere Schicht. Für diesen Fall ist die Materialauswahl Peak 1 Schicht 1, BK7 anzupassen. Peak 3 Im FFT-Signal wechseln Peak 1 und Peak Schicht 2, PC...
  • Seite 25: Auswahl Messkonfiguration

    Inbetriebnahme Auswahl Messkonfiguration Davon ausgehend sind eigene Einstellungen (Setups) möglich. Beim Speichern eines geänderten Presets Im Controller sind gängige Messkonfigurationen (Preset) blendet das Webinterface einen Dialog für die Vergabe für verschiedene Messobjektoberflächen gespeichert. eines Setupnamens ein. Damit können Presets nicht Diese erlauben einen schnellen Start in die individuelle irrtümlich überschrieben werden.
  • Seite 26: Signalqualität

    Inbetriebnahme Signalqualität Mit der Funktion Signalqualität können Sie die Messrate und die jeweilige Mittelung beeinflussen. Die Mittelung mit der Funktion Median wird durch das Preset vorgegeben. Die nachfolgende gleitende Mittelung wird durch die Funktion Signalqualität vorgegeben. Mittelung Beschreibung Statisch Im Bereich Signalqualität kann zwischen drei Gleitend mit 128 Werten vorgegebenen Grundeinstellungen (Statisch, Messrate 0,2 kHz...
  • Seite 27: Fft-Signal Kontrollieren

    Inbetriebnahme FFT-Signal kontrollieren Gehen Sie in das Menü Mess- wertanzeige. Blenden Sie die FFT-Signaldarstellung mit FFT ein. Das Signal im Grafikfenster zeigt den Abstand zwischen Sensor und Messobjekt oder die Dicke des Messobjektes an. Links 0 % (Abstand klein) und rechts 100 % (Abstand groß).
  • Seite 28: Abstands- Und Dickenmessung Mit Anzeige Auf Der Webseite

    Abstands- und Dickenmessung mit Anzeige auf der Webseite Abstands- und Dickenmessung mit Anzeige auf der Webseite Richten Sie den Sensor senkrecht auf das zu messende Objekt aus. Rücken Sie den Sensor (oder das Messobjekt) von fern anschließend so lange immer weiter heran, bis der dem verwendeten Sensor entsprechende Messbereichsanfang etwa erreicht ist.
  • Seite 29 Abstands- und Dickenmessung mit Anzeige auf der Webseite Die LED visualisiert den Zustand der Messwertüber- Für die Skalierung der Messwertachse (Y-Achse) der Grafik ist Auto (= Autoskalierung) oder Manual tragung. - grün: Messwertübertragung läuft. (= manuelle Einstellung) möglich. - gelb: wartet im Triggerzustand auf Daten In den Textboxen über der Grafik werden die aktu- - grau: Messwertübertragung angehalten ellen Werte für Abstand, Belichtungszeit, aktuelle...
  • Seite 30: Datenausgabe, Auswahl Schnittstelle

    Datenausgabe, Auswahl Schnittstelle Datenausgabe, Auswahl Schnittstelle Der Controller unterstützt - drei digitale Schnittstellen, die parallel zur Datenausgabe genutzt werden können, ƒ Ethernet: ermöglicht eine schnelle nicht echtzeitfähige Datenübertragung (paketbasierter Datentransfer). Es können Messwert- sowie FFT-Daten übertragen werden. Für eine Messwert-Erfassung ohne unmittelbare Prozess-Steuerung, für eine nachfolgende Analyse.
  • Seite 31: Vergabe Ip-Adresse

    Haftungsausschluss Alle Komponenten des Gerätes wurden im Werk auf die Funktionsfähigkeit hin überprüft und getestet. Sollten jedoch trotz sorgfältiger Qualitätskontrolle Fehler auftreten, so sind diese umgehend an MICRO-EPSILON oder den Händler zu melden. MICRO-EPSILON übernimmt keinerlei Haftung für Schäden, Verluste oder Kosten, die z. B. durch - Nichtbeachtung dieser Anleitung / dieses Handbuches, - Nicht bestimmungsgemäße Verwendung oder durch unsachgemäße Behandlung (insbesondere durch unsachge-...
  • Seite 32: Service, Reparatur

    Bei Störungen, deren Ursachen nicht eindeutig erkennbar sind, senden Sie bitte immer das gesamte Messsystem an unten stehende Adresse. MICRO-EPSILON MESSTECHNIK GmbH & Co. KG Königbacher Str. 15 · 94496 Ortenburg / Deutschland Tel. +49 (0) 8542 / 168-0 · Fax +49 (0) 8542 / 168-90 X9690389-B012102MSC info@micro-epsilon.de ·...

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