MICRO-EPSILON interferoMETER IMS5400-DS19 Betriebsanleitung Seite 37

Betrieb
Presets
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Preset möglich
Eine Datenausgabe startet erst, wenn die zugehörige Schnittstelle aktiviert wird, siehe
Abstandspeaks werden mit 01Peak01 ... 01Peak14 fortlaufend nummeriert.
1) Controller wertet Dickenpeaks bei Abstandsmessung nicht aus. Der Übersichtlichkeit wegen sind Dickenpeaks mit
Buchstaben gekennzeichnet.
IMS5x00
Abstandsmessung z. B. gegen Keramik, nicht transparente Kunststoffe.
keine Mittelung.
Abstandsmessung z. B. gegen Metall, polierte Oberflächen.
Median über 3 Werte.
Abstandsmessung z. B. gegen PCB, Hybrid-Materialien.
Median über 5 Werte.
Spaltüberwachung zwischen Glas und Wafer.
Drei Peaks werden ausgewertet,
Schicht 1 = BK7, Schicht 2 = Luft,
Schicht 3 = Spiegeloberfläche
Datenausgabe Ethernet:
- 01PEAK01 (Abstand) und
- Differenz aus 01PEAK03 und 01PEAK02 (Spalt)
inkl. Median über 5 Werte.
Spaltüberwachung zwischen Displayglas und
Maske.
Drei Peaks werden ausgewertet,
Schicht 1 = BK7, Schicht 2 = Luft,
Schicht 3 = Spiegeloberfläche
Datenausgabe Ethernet:
- Differenz aus 01PEAK02 und 01PEAK01 (Dicke)
und
- Differenz aus 01PEAK03 und 01PEAK02 (Spalt).
Beide Ausgabewerte inkl. Median über 5 Werte.
Dicke von 1. Schicht
Zwei Peaks werden ausgewertet,
Schicht 1 = BK7, Schicht 2 = Luft,
Datenausgabe Ethernet:
- 01PEAK01 und 01PEAK02 (Abstände)
- Differenz aus 01PEAK02 und 01PEAK01
(Schichtdicke) inkl. Median über 5 Werte.
IMS5x-DS IMS5x-DS/MP
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Spalt
01Peak 01
(Abstand)
01Peak 02
Peak B
1
Peak A
01Peak 03
Dicke
01Peak 01
01Peak 02
Peak B
1
Spalt/Peak A
01Peak 03
Dicke
01Peak 01
01Peak 02
Peak B
1
Peak A
Kap. 7.5.6.
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