Die Pumpe Antwortet Im Multidrop-Modus Nicht; Die Grüne Normal-Led Leuchtet Nicht Auf Oder Die Pumpe Dreht Sich Nicht; Der Endvakuumdruck Kann Nicht Erreicht Werden - Edwards Next 730D Betriebsanleitung

Beseitigung Falls keine Antwort erfolgt, führen Sie die unter „keine serielle Datenübertragung‟
Keine serielle Datenübertragung
andernfalls die unter „Die Pumpe dreht sich nicht, nachdem ein paralleler Start-Befehl
geliefert wurde‟
gesendet wurde
Fehler

Die Pumpe antwortet im Multidrop-Modus nicht

Ursache Der Multidrop-Modus ist deaktiviert.
Beseitigung Vergewissern Sie sich, dass die Pumpe eine Multidrop-Adresse hat und dass Befehle
über das Multidrop-‑Protokoll gesendet werden.
Fehler Die grüne Normal-LED leuchtet nicht auf oder die Pumpe dreht sich nicht mit
maximaler Drehzahl oder die Pumpe hat einen Defekt während des Betriebs
Ursache Der Einlassdruck ist zu hoch.
Beseitigung Verringern Sie die Pumplast, oder überprüfen Sie, ob ein großes Leck im System ist.
Ursache Die Pumpe läuft zu heiß.
• Verstärken Sie die Kühlung der Pumpe. Wechseln Sie von Luftkühlung zu Wasserkühlung (siehe zu
Beseitigung
Angaben zum maximalen Einlassdruck und den Kühlanforderungen).
• Erhöhen Sie den Kühlwasserdurchfluss und/oder senken Sie die Wassertemperatur.
• Überprüfen Sie, ob die externen Wärmequellen (z. B. Heizelemente zum Ausheizen des Systems)
nicht zu stark sind.
Ursache Der Rotor dreht sich nicht frei.
Beseitigung Möglicherweise sind die Pumpenlager beschädigt. Wenden Sie sich an Ihren
Lieferanten oder an Edwards.
Fehler

Der Endvakuumdruck kann nicht erreicht werden

Ursache Der Druck wird durch Wasserdampf begrenzt.
Beseitigung Heizen Sie das System aus und pumpen Sie danach.
Ursache Die Vakuum-Messröhren sind verunreinigt.
Beseitigung Reinigen oder wechseln Sie die Vakuum-Messröhren.
Ursache Das Saugvermögen ist zu gering aufgrund eines zu geringen Leitwerts zwischen der
Pumpe und der Messröhre oder
einer zu großen Kammer.
Beseitigung Erhöhen Sie den Leitwert oder verringern Sie das Volumen.
Ursache Der Einlassdruck liegt bei > 0,5 mbar (50 Pa).
Beseitigung Wenn der Druck am Zwischenstufen-Einlass zu hoch ist, erhöht sich der Einlassdruck
am Einlass der Turbomolekularpumpe; stellen Sie sicher, dass der Druck am
Zwischenstufen-Einlass < 0,5 mbar (50 Pa) liegt.
Ursache
Der Vorvakuumdruck ist > 10 mbar (1 × 10
Beseitigung Möglicherweise ist der Vorvakuumdruck zu hoch. Überprüfen Sie die Vorvakuumleitung
auf Lecks. Wenn der Durchsatz hoch ist, benötigen Sie eventuell eine größere
Vorvakuumpumpe.
B8J200882_A - Fehlersuche
auf seite 97 angegebenen Prüfungen durch. Führen Sie
Die Pumpe dreht sich nicht, nachdem ein serieller Start-Befehl
auf seite 95 angegebenen Prüfungen durch.
Page 96
3
Pa).