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Fourier-Optik Kit
Kapitel 6: Aufgaben und Beispiele
Aufgabe 28: Heben Sie am gleichen Buchstaben wie in der vorhergehenden Aufgabe nun
die Kanten hervor.
Durchführung: Um die Kanten einer Struktur hervorzuheben, muss ein Großteil der
niedrigen Beugungsordnungen blockiert werden. Die Größe des Musters in der Fourier-
Ebene wird allerdings je nach Justierung unterschiedlich sein. Deshalb müssen Sie
mehrere Punkte auf der Maske testen, um den mit der passenden Größe zu finden.
Verwenden Sie also nacheinander verschiedene Punkte der EDU-TGC1 Schnittmaske
und positionieren Sie sie in der Mitte des Musters in der Fourier-Ebene. Das Ergebnis ist
in Abbildung 85 zu sehen.
Abbildung 85: Kanten hervorheben
Seite 95
Rev A, 19.September 2018
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