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Funktionsprinzip, Technische Daten
3.3
Begriffsdefinition
MBA
Messbereichsanfang. Minimaler Abstand zwischen Sensorstirnfläche und
Messobjekt
MBM
Messbereichsmitte (=Messbereichsanfang + 0,5*Messbereich)
MBE
Messbereichsende (=Messbereichsanfang + Messbereich)
Maximaler Abstand zwischen Sensorstirnfläche und Messobjekt
MB
Messbereich
Sensor
Abb. 2 Abstandssensor, Messbereich und Ausgangssignal am Controller
Dickensensor
Abb. 3 Dickensensor mit Arbeitsabstand und Arbeitsbereich
3.4
Betriebsarten
Das Messsystem interferoMETER misst hochpräzise
- Abstände gegen optisch dichte Materialien mit diffusen oder spiegelnden Oberflächen
- Dicken bei transparenten Schicht-Materialien.
Die Auswahl der Betriebsart Abstands- oder Dickenmessung erfolgt durch die Wahl des Sensors. Das Ergebnis einer
Messung ist entsprechend ein Abstands- oder Dickenwert.
Abstandsmessung
Messbereich
Abb. 4 Messbereiche bei Abstands- und Dickenmessung
Die mögliche Auflösung liegt dabei im Nanometerbereich.
Für einen Schnelleinstieg empfiehlt sich die Verwendung von gespeicherten Konfigurationen (Presets) für verschiedene
Messobjektoberflächen und Anwendungen,
siehe Kap. 6.7.
1) Messbereich bei n=1,5; bei Luftspaltmessung zwischen zwei Glasplatten (n~1) beträgt der Messbereich
0,05 ... 2,1 mm. Das Messobjekt muss sich innerhalb des Arbeitsabstandes befinden.
3.5
Sensoren
Der Controller kann mit bis zu 20 unterschiedlichen Sensoren betrieben werden. Die dazu erforderlichen Kalibriertabellen
werden im Controller hinterlegt.
IMS5x00
100 %
50
0
MBA
MBM
Messobjekt
MBA
Messbereich (MB)
Arbeitsbereich
Arbeitsabstand
Dickenmessung
2,1 mm
35 µm ... 1,4 mm
Weg
MBE
1
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