MICRO-EPSILON interferoMETER IMS5400-DS Betriebsanleitung Seite 13

Funktionsprinzip, Technische Daten
Modell
Messbereich
Messbereichsanfang
Auflösung
1
Messrate
Linearität
2
Temperaturstabilität
Lichtquelle
Laserschutzklasse
Lichtpunktdurchmesser
3
Maximale Verkippung
4
Messobjektmaterial
Versorgungsspannung
Leistungsaufnahme
Signaleingang
Digitale Schnittstelle
Analogausgang
Schaltausgang
Digitalausgang
optisch
Anschluss
elektrisch
Sensor
Montage
Controller
Lagerung
Temperaturbereich
Betrieb
Schock (DIN-EN 60068-2-27)
Vibration (DIN-EN 60068-2-6)
Schutzart (DIN-EN 60529)
Vakuum
Sensor
Material
Controller
Bedien- und Anzeigeelemente
Alle Daten ausgehend von konstanter Raumtemperatur (24 ±2 °C)
1) Messrate 0,5 kHz, gleitende Mittelung über 64 Werte, differentiell gemessen zwischen Vorder- und Rückseite einer dünnen Glasplat-
te in Messbereichsmitte (2 Sigma)
2) Maximale Abweichung zu Referenzsystem über gesamten Messbereich, gemessen auf Vorderfläche ND-Filter
3) In Messbereichsmitte
4) Maximale Verkippung des Sensors, bis zu der auf einem polierten Glas (n = 1,5) in der Messbereichsmitte ein verwertbares Signal
erzielt werden kann, wobei die Genauigkeit zu den Grenzwerten abnimmt
5) Nicht transparente Materialien erfordern optisch dichte Oberfläche bei Wellenlänge 840 nm
IMS5x00
Linearität: typ. 0,1 nm / K (ohne Offsetverschiebung)
temperaturkompensiert, Stabilität < 10 ppm zwischen +15 ... +35 °C
Sync in, Trigger in, 2 x Encoder (A+, A-, B+, B-, Index)
Steckbarer Lichtwellenleiter über E2000-Buchse (Controller) und FC-Buchse (Sensor);
Standardlängen 3 m, 5 m und 10 m; andere Kabellängen auf Anfrage;
Encoderanschluss (15-pol., HD-Sub-Buchse, max. Kabellänge 3 m,
RS422-Anschlussbuchse (9-pol., Sub-D, max. Kabellänge 30 m);
3-pol. Ausgangsklemmleiste (max. Kabellänge 30 m); 11-pol. I/O Klemmleiste (max. Kabellänge 30 m);
RJ45-Buchse für Ethernet (out) / EtherCAT (in/out) (max. Kabellänge 100 m)
Radialklemmung, Montageadapter (siehe Zubehör)
Multifunktionstaste: zwei einstellbare Funktionen sowie Reset auf Werkseinstellung nach 10 s;
Webinterface für Setup: auswählbare Presets, frei wählbare Mittelungen,
6 x Farb-LED für Intensity, Range, SLED, Pilot-Laser, Status und Power;
Pilot-Laser: zuschaltbar zur Sensor-Ausrichtung (Laser LED 635 nm, Laserklasse 1, Leistung < 0,2 mW)
IMS5600-DS
2,1 mm
ca. 19 mm
< 30 pm
stufenlos einstellbar von 100 Hz bis 6 kHz
< ±10 nm
NIR-SLED, Wellenlänge 840 nm
Klasse 1 nach DIN-EN 60825-1: 2015-07
10 µm
±2°
Glas, spiegelnde oder diffuse Oberflächen
24 VDC ±15 %
ca. 10 W (24 V)
Ethernet / EtherCAT / RS422
4 ... 20 mA / 0 ... 10 V (16 bit D/A Wandler)
Fehler1-Out, Fehler2-Out
Sync out
Biegeradius: statisch 30 mm, dynamisch 40 mm
3-pol. Versorgungsklemmleiste;
30 m bei externer Encoderversorgung);
frei stehend, Hutschienenmontage
-20 ... +70 °C
Sensor: +5 ... +70 °C;
Controller: +15 ... +35 °C
15 g / 6 ms in XY-Achse, je 1000 Schocks
2 g / 20 ... 500 Hz in XY-Achse, je 10 Zyklen
IP40 (Controller und Sensor)
optional UHV (Kabel und Sensor)
Edelstahl
Aluminiumgehäuse, passiv gekühlt
Datenreduktion, Setupverwaltung;
5
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