MICRO-EPSILON interferoMETER IMS5400-DS Betriebsanleitung Seite 14

Funktionsprinzip, Technische Daten
Modell
Arbeitsabstand
Messbereich (Dicke)
Auflösung
2
Messrate
Linearität
3
Sensor
Temperaturstabi-
lität
Controller
Lichtquelle
Laserschutzklasse
Lichtpunktdurchmesser
4
Maximale Verkippung
5
Versorgungsspannung
Leistungsaufnahme
Signaleingang
Digitale Schnittstelle
Analogausgang
Schaltausgang
Digitalausgang
optisch
Anschluss
elektrisch
Sensor
Montage
Controller
Lagerung
Temperaturbereich
Betrieb
Schock (DIN-EN 60068-2-29)
Vibration (DIN-EN 60068-2-6)
Schutzart (DIN-EN60529)
Vakuum
Sensor
Material
Controller
Bedien- und Anzeigeelemente
Alle Daten ausgehend von konstanter Raumtemperatur (24 ±2 °C)
1) Messbereich bei n=1,5; Bei Luftspaltmessung zwischen zwei Glasplatten (n~1) beträgt der Messbereich 0,05 ... 2,1 mm.
Das Messobjekt muss sich innerhalb des Arbeitsabstandes befinden.
2) Messrate 0,5 kHz, gleitende Mittelung über 64 Werte, gemessen auf ein ca. 1 mm dickes BK7-Planglas (2 Sigma)
3) Maximale Dickenabweichung bei Messung auf ein ca. 1 mm dickes BK7-Planglas (n=1,5) beim Durchfahren des Messbereichs
4) Bei Arbeitsabstand = 45 mm
5) Maximale Verkippung des Sensors, bis zu der auf ein ca. 0,6 mm dickes BK7-Planglas in der Messbereichsmitte ein verwertbares
Signal erzielt werden kann, wobei die Genauigkeit zu den Grenzwerten abnimmt
IMS5x00
Linearität gültig für den gesamten Temperaturbereich
temperaturkompensiert, Stabilität < 10 ppm zwischen +15 ... +35 °C
Sync in, Trigger in, 2 x Encoder (A+, A-, B+, B-, Index)
Steckbarer Lichtwellenleiter über E2000-Buchse (Controller) und FC-Buchse (Sensor);
Standardlängen 3 m, 5 m und 10 m; andere Kabellängen auf Anfrage;
Encoderanschluss (15-pol., HD-Sub-Buchse, max. Kabellänge 3 m,
RS422-Anschlussbuchse (9-pol., Sub-D, max. Kabellänge 30 m);
3-pol. Ausgangsklemmleiste (max. Kabellänge 30 m); 11-pol. I/O Klemmleiste (max. Kabellänge 30 m);
RJ45-Buchse für Ethernet (out) / EtherCAT (in/out) (max. Kabellänge 100 m)
Radialklemmung, Montageadapter (siehe Zubehör)
Multifunktionstaste: zwei einstellbare Funktionen sowie Reset auf Werkseinstellung nach 10 s;
Webinterface für Setup: auswählbare Presets, frei wählbare Mittelungen,
6 x Farb-LED für Intensity, Range, SLED, Pilot-Laser, Status und Power;
Pilot-Laser: zuschaltbar zur Sensor-Ausrichtung (Laser LED 635 nm, Laserklasse 1, Leistung < 0,2 mW)
IMS5400-TH
45 mm ±3,5 mm
0,035 ... 1,4 mm
< 1 nm
stufenlos einstellbar von 100 Hz bis 6 kHz
< ±100 nm
NIR-SLED, Wellenlänge 840 nm
Klasse 1 nach DIN-EN 60825-1: 2015-07
10 µm
±2°
24 VDC ±15 %
ca. 10 W (24 V)
Ethernet / EtherCAT / RS422
4 ... 20 mA / 0 ... 10 V (16 bit D/A Wandler)
Fehler1-Out, Fehler2-Out
Sync out
Biegeradius: statisch 30 mm, dynamisch 40 mm
3-pol. Versorgungsklemmleiste;
30 m bei externer Encoderversorgung);
frei stehend, Hutschienenmontage
-20 ... +70 °C
Sensor: +5 ... +70 °C;
Controller: +15 ... +35 °C
15 g / 6 ms in XY-Achse, je 1000 Schocks
2 g / 20 ... 500 Hz in XY-Achse, je 10 Zyklen
IP40 (Controller und Sensor)
optional UHV (Kabel und Sensor)
Edelstahl
Aluminiumgehäuse, passiv gekühlt
Datenreduktion, Setupverwaltung;
1
Seite 14