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F.A.Q. – Häufig gestellte Fragen
Wieso sind die Messungen nicht reproduzierbar?
– Messungen sind weniger reproduzierbar, wenn T-Guard meldet "Untergrund mäßig"
oder "Untergrund schlecht". Abhilfe: Verringern Sie Ihren Untergrund, indem Sie Ihre
Heliumversorgung auf Lecks prüfen. Wenn möglich, platzieren Sie die
Heliumversorgung weit weg von T-Guard. Evakuieren Sie Ihr Prüfobjekt nach der
Messung, um das Helium zu entsorgen. Bringen Sie Außenluft in den Messraum. Der
Trägergasmodus funktioniert nur, wenn Sie stabile 5 ppm Helium in der Luft haben.
– Messungen sind weniger reproduzierbar, wenn die Messkammer undicht ist. Da die
Kammer keinen Druckunterschied zur Umgebung aufweist, muss die Abdichtung nur
einfachen Anforderungen genügen und nicht so aufwändig wie in der
Vakuumtechnik üblich gestaltet sein. Ein Kalibrierfaktor von 0,7 bis 1,3 weist darauf
hin, dass das Kammervolumen bei der Akkumulations-Messung korrekt eingegeben
wurde. Wenn der Kalibrierfaktor stärker von 1 abweicht, wurde entweder das
Kammer-Volumen, die He-Konzentration, die Triggerschwelle oder die Leckrate des
Kalibrierlecks falsch eingegeben.
– Messungen sind weniger reproduzierbar wenn die Triggerschwelle viel größer als die
gemessene Leckrate ist. Die Triggerschwelle sollte gleich der zu messenden Leckrate
sein.
– Messungen sind weniger reproduzierbar wenn die Messzeit zu sehr verringert wurde.
Dies hat denselben Effekt wie eine zu hohe Triggerschwelle.
– Messungen sind weniger reproduzierbar wenn die Kammerlüfter zu schwach sind.
Die Lüfter sollten das Kammervolumen zweimal pro Sekunde umwälzen.
– Messungen sind weniger reproduzierbar wenn das Gerät nur grob misst
(Trägergasfluss-Messung). Ab einer Triggerschwelle von 6,7 × 10
des Trägergasflusses misst das Gerät nur grob. Der Hinweis "nur grob" wird im Display
angezeigt, wenn man die Triggerschwelle ändert. Abhilfe: Vermeiden Sie eine Nur-
Grob-Messung, indem Sie verdünntes Helium nutzen und dies einstellen oder indem
Sie eine größere Messkammer benutzen.
– Messungen sind weniger reproduzierbar, wenn Sie nicht die Messschläuche von
INFICON nutzen. Schläuche mit größerem Innendurchmesser als 1 mm dürfen nicht
benutzt werden, da die im Schlauch vorhandene Luftmenge nicht rechtzeitig
ausgetauscht werden kann.
– Messungen sind weniger reproduzierbar, wenn die Vakuumleitungen nicht komplett
in die Kupplungen eingeführt wurden. Drücken Sie die Vakuumleitungen tief genug
in die Kupplung hinein.
Wieso wird die gemessene Leckrate immer kleiner, wenn ich zwischen den Messungen
die Messkammer nicht spüle?
– Überprüfen Sie die Messkammer auf Undichtigkeiten. Helium kann dort
verlorengehen. Dies führt mit der Zeit zu kleineren Leckraten. Abhilfe: Dichten Sie die
Messkammer ab. Nutzen Sie Gummidichtungen für den Kammerdeckel.
Warum kann das Gerät nicht kalibriert werden?
– Geben Sie das korrekte Kammervolumen ein und setzen Sie die Triggerschwelle und
die Testleckrate auf die genutzte Leckrate. Geben Sie im Falle von verdünntem
Helium dies auch im Gerät ein!
– Überprüfen Sie alle Antworten auf die erste Frage: "Wieso sind die Messungen nicht
reproduzierbar?"
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mbar l/s pro sccm
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