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5.2.2
Messaufbau Trägergas-Messung
22
5 Installation
Wählen Sie für den Messaufbau eine möglichst heliumfreie Umgebung. Für verlässliche
Messungen mit dem T-Guard muss der Heliumgehalt in der Luft kleiner als 10 ppm sein.
Von Natur aus sind 5 ppm (0,0005%) Helium in der Luft enthalten.
Abb. 10: Messaufbau für Trägergas-Messungen
a
Messkammer
b
Prüfobjekt
c
Lüfter
d
Messleitung
e
Vorpumpe
a Messkammer
Das Nettovolumen, also das Messkammer-Volumen minus Volumen des Prüfobjekts muss
im Bereich zwischen 0,01 und 10000 Litern liegen. Die Messkammer sollte nicht größer als
nötig sein, aber das Prüfobjekt darf die Wände nicht berühren. Bis auf den Außenluftein-
lass muss die Messkammer dicht sein.
b Prüfobjekt
das Prüfobjekt sollte nicht auf seine möglicherweise undichten Stellen platziert werden.
c Lüfter
Die Messkammer muss wenigstens einen Lüfter enthalten, der Luft auf das Prüfobjekt
bläst. Hat das Prüfobjekt ein Leck, wird das austretende Helium durch die Lüfter gleichmä-
ßig in der Messkammer verteilt. Es spielt dadurch für das Messergebnis keine Rolle, ob das
Leck in der Nähe der Messleitung liegt.
Der Gasdurchfluss des Lüfters sollte mindestens ein Messkammervolumen pro Sekunde
betragen.
d Messleitung
Messleitung und Referenzleitung müssen die gleiche Länge haben.
e Vorpumpe
Als Vorpumpe können Sie alle Vakuumpumpen mit einem Gasdurchfluss von mehr als
200 sccm bei einem Basisdruck von unter 50 mbar verwenden. INFICON bietet eine pas-
sende Pumpe als Zubehör an,
f
Referenzleitung
g
Außenluft-Einlass
h
Trägergaspumpe
i
Massefluss-Regler (optional)
siehe "4.3.4 Vorpumpe", Seite
15.
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