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T E C H N I S C H E S H A N D B U C H iina74d1-h (1408) Originalbetriebsanleitung Katalog-Nr. 550-500A, 550-501A Ab Software-Version V 5.14 UL5000 Helium-Dichtheitsprüfgerät...
Inhaltsverzeichnis Allgemeines Hinweise zum Gebrauch dieses Handbuches 1.1.1 Sicherheitssymbole und deren Bedeutung 1.1.2 Hinweise 1.1.3 Vakuumsymbole 1.1.4 Begriffsdefinitionen Unterstützung vom INFICON Service 1.2.1 Servicezentren Einführung 1.3.1 Verwendungszweck 1.3.2 Technische Daten 1.3.2.1 Physikalische Daten 1.3.2.2 Elektrische Daten 1.3.2.3 Weitere technische Daten 1.3.2.4...
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3.2.1 Hochlauf und Messen 3.2.2 Interne Kalibrierung 3.2.3 Überprüfung Beschreibung und Funktionsweise Einführung Aufbau des UL5000 4.2.1 Vakuumsystem 4.2.2 Bedieneinheit 4.2.2.1 LCD-Anzeige 4.2.2.2 START Taste 4.2.2.3 STOP Taste 4.2.2.4 ZERO Taste 4.2.2.5 MENU Taste 4.2.2.6 Funktionstasten 4.2.2.7 Numerische Eingaben Betriebsarten 4.3.1...
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Wartungssmeldung Auspuff-Filter 6.6.6 Parameter laden / speichern 6.6.6.1 Speichern eines Parametersatzes 6.6.6.2 Laden eines Parametersatzes 6.6.7 Überwachung Info 6.7.1 Wartung oder Service bei INFICON Benutzerberechtigung 6.8.1 Zugang zur CAL-Funktion 6.8.2 Zugriff auf Trigger&Alarm Menü 6.8.3 Geräte-PIN ändern 6.8.4 Menü-PIN ändern Kalibrierung Einführung...
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7.2.1.2 Manuelle interne Kalibrierung 7.2.2 Externe Kalibrierung Kalibrierfaktor-Wertebereich Fehler- und Warnmeldungen Hinweise Liste der Fehler- und Warnmeldungen Wartungsarbeiten Allgemeine Hinweise Wartung oder Service bei INFICON Legende zum Wartungsplan Wartungsplan Wartungsgruppen 9.5.1 1500 Std.-Wartung 9.5.2 4000 Std.-Wartung 9.5.3 8000 Std.-Wartung 9.5.4 16000 Std.-Wartung...
Hinweis: Wir empfehlen Ihnen, dieses Technisches Handbuch sorgfältig zu lesen, um so von Beginn an optimale Arbeitsbedingungen sicherzustellen. Dieses Technisches Handbuch enthält wichtige Informationen zu den Funktion, Installation, Inbetriebnahme und Betrieb des UL5000. Allgemeines Eine Änderung der Konstruktion und der angegebenen Daten behalten wir uns vor.
Der Verstärkungsbereich des Vorverstärkers und die Vakuumbereiche werden auto- matisch ausgewählt. Die automatische Messbereichswahl des UL5000 überstreicht den gesamten Bereich oder den gesamten Leckratenbereich in Abhängigkeit von der ausgewählten Betriebsart. Nicht nur das Leckratensignal, sondern auch der Druck im Prüfling (Einlassdruck P1) und der Vorvakuumdruck (P2) werden zu Steuerungszwecken herangezogen.
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Zero-Zeit nur die Anzeigegrenze angezeigt wird, dann wird der Null- punkt automatisch angepasst. Menü Das Menü erlaubt es dem Bediener den UL5000 entsprechend seinen Wünschen zu programmieren. Das Menü hat eine Struktur, die sich baumartig verzweigt. Werkseitige Einstellung Zustand des UL5000 bei Auslieferung aus dem Werk.
Unterstützung vom INFICON Service Falls Sie ein Gerät an INFICON oder einen autorisierten Repräsentanten von INFICON schicken, geben Sie an, ob das Gerät frei von gesundheitsgefährdenden Schadstoffen ist oder ob es kontaminiert ist. Wenn es kontaminiert ist, geben Sie auch die Art der Gefährdung an. Geräte ohne Erklärung über Kontaminierung muss INFICON an den Absender zurückschicken.
1.2.1 Servicezentren Falls Sie dringend Unterstützung benötigen, wenden Sie sich bitte an den INFICON Service in Ihrem Land oder die Service-Hotline in Köln, Deutschland: Algerien jhj@agramkow.dk Indien asdash@hotmail.com Agramkow Tel.: +45 741 236 36 Dashpute Tel.: +91 22 888 0324...
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Fax: +45 744 336 46 Köln Fax: +49 221 56788-9112 Polen kamola@vakpol.com Taiwan reach.taiwan@inficon.com VAK-POL & GAZ Sp. z Tel.: +48 602 315 212 INFICON Company Limited Tel.: +886.3.5525.828 Pulawy Fax: +48 602 315 212 Chupei City, HsinChu Hsien Fax: +886.3.5525.829 Portugal leakdetection.service@inficon.com Tschechien filip.lisec@inficon.com...
INFICON aufnehmen. Senden Sie uns vorher bitte eine ausgefüllte Kopie der Konta- minierungserklärung. Vorsicht Der UL5000 darf nur zum Zweck der Dichtheitsprüfung verwendet werden. Er darf nicht als Pumpsystem benutzt werden (insbesondere nicht zum Abpumpen von aggressiven oder feuchten Gasen).
Hochlaufzeit (nach dem Einschalten) Vorsicht Zum Erreichen des Bereiches mit der minimalen nachweisbaren Leckrate müssen erst einige Bedingungen erfüllt werden: • Der UL5000 muss warm gelaufen sein • Die Umgebungsbedingungen müssen stabil sein (Temperatur, keine Vibrationen/Stöße). • Der Prüfling muss lange genug evakuiert worden sein (so dass sich der Untergrund nicht weiter verringert).
Die Versandverpackung auf etwaige äußere Beschädigungen hin untersuchen. Das gesamte Verpackungsmaterial entfernen. Prüfen, ob die Lieferung des UL5000 vollständig ist (s. Kapitel 1.4.1) und den UL5000 einer sorgfältigen Sichtprüfung unterziehen. Falls eine Beschädigung entdeckt wird, dies unverzüglich dem Spediteur und dem Versicherer mitteilen.
– Technisches Handbuch UL5000 – Ersatzteilliste UL5000 • Haken zur Netzkabelaufwicklung (mit Schrauben) (siehe Nr. 6) • Öffner zum leichteren Öffnen des UL5000 (siehe Nr. 7) • O-Ring mit Filter (zur Verwendung bei Applikationen mit Staub-/Schmutzanfall) • Werkzeugbox (abnehmbar) •...
(max 10 l, 200 bar) passen, ohne die Stabilität des UL5000 zu beeinträchtigen. 1.4.2.4 Antistatikmatte Diese Matte wird auf der Arbeitsfläche des UL5000 plaziert und über den Ring des Einlassflansches fixiert und geerdet. Die Matte verhindert das Auftreten von elektri- schen Entladungen zwischen der Arbeitsfläche und empfindlichen Prüflingen.
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Arbeiten erlaubt. Magnete an der Unterseite ermöglichen das Anbringen an waagrechten bis senkrechten metallischen Oberflächen. Mit der Fernbedienung RC1000 kann das Dichtheitsprüfgerät UL5000 auch über ein Kabel mit einer Länge von bis zu 28 Metern gesteuert werden. Fig. 1-3 RC1000 drahtlose Fernbedienung...
Installation Transport Vorsicht Der UL5000 ist nicht mit Kranösen ausgerüstet und darf daher nicht mit Hilfe von Hebeeinrichtungen transportiert werden. Vorsicht Der UL5000 darf nur an seinem dafür vorgesehenen Griff geschoben werden. Das Gerät nicht am Griff heben. Vorsicht Füße können gequetscht werden.
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Abb. 2-1 Die an dem Chassisboden angezogenen Schrauben sichern das Gerät beim Transport. Beim Arbeiten mit dem UL5000 sind die Schrauben vorher zu lösen. Dafür als erstes die von unten her zugängliche Kontermutter lösen. Abb. 2-2 Danach die Schrauben etwa 10 mm herausdrehen und schließlich die Kontermutter wieder anziehen.
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Abb. 2-3 Zum Transport die Schrauben wieder fest anziehen und diese mit der Kontermutter fixieren. Installation...
Für Betrieb in schlecht belüfteten Räumen ist, je nach Anwendung und verwendeten Gasen, eine Abgasleitung am Abgasanschluss 5 anzuschließen. Es wird empfohlen, in einem Bereich von 10 m um den UL5000 herum alle größeren Heliumquellen auf das Vorhandensein größerer Lecks hin zu untersuchen. Dazu lässt sich die Schnüffelsonde gut einsetzen.
Es dürfen nur Sicherungen vom angegebenen Typ und der angegebenen Nennstromstärke als Ersatz verwendet werden. Warnung Vor dem Anschluss des UL5000 an die Netzspannung muss zuerst geprüft werden, ob die Netzspannungsangabe auf dem UL5000 mit der örtlich verfügbaren Netzspannung übereinstimmt. Das Gerät ist ausschließlich zum Anschluss an Einphasen-Netze mit Installationssicherungen (Sicherungsautomat max.
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Tipp Um zu verhindern, dass die Netzleitung versehentlich abgezogen wird, kann sie mit der beiliegenden Kabelbefestigung fixiert werden. Abb. 2-4. Netzleitungssicherung Abb. 2-5. Netzkabel verwahren Installation...
Kontakt 1 und 3 sind über eine träge 0,8 A Sicherung abgesichert. Die hier zur Verfügung stehende Leistung ist auf 10 W begrenzt. Die Kontakte sind von oben nach unten durchnumeriert. Kontakt Signal +24 V, Dauerspannung, Stromversorgung für das INFICON Nebenstromventil oder die Schnüffelleitung. GND24 (Bezugspotential für die 24 V Spannung) 3, 6 Eingang...
Ist geschlossen, falls Recorder-Ausgang ungültig ist. Wird nur verwendet, falls Recorder-Ausgang auf „Leckrate“ steht. 2.3.2.3 Digitaleingang (Digital In) Diese Eingänge können benutzt werden, um den UL5000 mit einer programmier- baren Steuerung (SPS) zu betreiben. Kontakt Signal +24V, verbunden mit Kontakt 1 der Buchse „OUT“...
Hinweis: Die Schreiberausgänge sind gegenüber den anderen Anschlüssen elektrisch isoliert. Falls dennoch Brummstörungen auftreten sollten, empfiehlt es sich, den UL5000 und den Schreiber an der gleichen Netzphase zu betreiben. Sollte dies nicht möglich sein, gilt es sicherzustellen, dass die Massen beider Geräte auf dem gleichen Potential liegen.
Diese Fernbedienungsschnittstelle Abb. 2-6/6 ist als serielle Schnittstelle zur Steuerung des UL5000 über eine Fernbedienung ausgeführt. Die Fernbedienung RC1000 kann über ein Anschlusskabel mit RJ45 Stecker oder über den Funktransmitter (ebenfalls mit RJ45 Stecker) angeschlossen werden. Siehe Technisches Handbuch der RC1000 für weitergehende Informationen.
Vakuumanschlüsse 2.4.1 Einlass Der Einlass befindet sich oben auf dem UL5000. Es handelt sich hierbei um einen DN 25 KF Flansch. Warnung Verletzungsgefahr durch saugenden Einlass-Flansch! Ist die Vakuum-Funktion des UL5000 aktiviert, können Körperteile, die den Einlass- Flansch verschließen, angesaugt werden.
Auslieferungszustand Die folgenden Parameter werden wie angegeben gesetzt, wenn man im Menü des UL5000 unter Einstellungen Parameter ladenspeichern den Punkt „Defaultwerte laden“ anwählt: Auto-Skalierung: Skalierung logarithmisch Anzeigebereich: 4 Dekaden Zeitachse: 32 Sekunden LCD invers: Untergrundanzeige in Stand-By: Automatische Kalibrieraufforderung:...
UL5000 einzuschalten ist, wie man Messungen durchführen kann und wie eine interne Kalibrierung abläuft. Hinweis: Falls sich bei der Erstinbetriebnahme der UL5000 nicht so verhält wie erwartet oder sich seltsam verhält, kann das Dichtheitsprüfgerät jederzeit über seinen Netzschalter ausgeschaltet werden.
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Der Startvorgang dauert ca. 4 Minuten und dessen Ende wird von einem kurzen Signalton angezeigt. Nun befindet sich der UL5000 im Standby-Modus (Bereit- schaft). Abb. 3-1: Ansicht des UL5000 Pos. Beschreibung Pos. Beschreibung Bedieneinheit (Kap. 4.2.2) Einlass (Kap. 2.4.1) Prüfen, dass der Einlass Abb.
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Sekunden lang betätigen. Die STOP Taste Abb. 3-2/13 betätigen, und der UL5000 geht in den Bereitschaftsmodus (Standby). Betätigt man die STOP Taste für einige Sekunden, dann wird der Einlass des UL5000 belüftet. Zur Beendigung des Hochlaufes bitte mit Schritt #16 fortfahren. Zur Kalibrierung bitte mit Schritt #9 fortfahren.
3.2.2 Interne Kalibrierung Nun mit der internen Kalibrierung fortfahren (siehe Kapitel 7.2.1). Zum Erzielen besserer quantitativer Messergebnisse am besten warten (15 … 20 Minuten), bis sich das Gerät aufgewärmt hat. • Die CAL (6.5) Taste (Taste Nr. 5 Abb. 3-2/8) betätigen, um das Kalibriermenü aufzurufen.
Einführung Der UL5000 ist ein Helium-Dichtheitsprüfgerät für Vakuumanwendungen, d.h. der Prüfling wird bei der Prüfung evakuiert. Das Vakuum wird mit Hilfe des im UL5000 integrierten Pumpsystems erzeugt. Ferner kann das Vakuum auch durch parallel zum Dichtheitsprüfgerät geschaltete Pumpen erzeugt werden.
Die in das Massenspektrometer gelangenden Gasmoleküle werden von der Ionenquelle ionisiert. Diese positiv geladenen Teilchen werden auf einer Kreisbahn in das Magnetfeld hinein beschleunigt. Der Radius dieser Kreisbahn hängt vom Verhältnis zwischen Masse und elektrischer Ladung der Ionen ab. Nur Heliumionen sind in der Lage, diesen Filter zu passieren, um so den Ionenfänger zu erreichen, wo der Fluss der Ionen als elektrischer Strom erfasst wird.
START Taste Die Betätigung der START Taste Abb. 4-2/6 aktiviert den UL5000 so, dass er mit den Messungen beginnt. Wird im Messmodus die START Taste nochmals betätigt, wird die maximale Leckratenanzeige (Haltefunktion) aktiviert. Es wird dann die maximale Leckrate angezeigt, die seit „START“ aufgetreten ist.
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Abb. 4-3 Fallender Untergrund Fällt das Messsignal unter den gespeicherten Untergrundwert wird dieser automa- tisch dem Untergrundsignal gleichgesetzt. Sobald das Signal wieder steigt, bleibt der gespeicherte Untergrundwert konstant. Signalanstiege werden klar als Leck ange- zeigt. Abb. 4-4 Untergrundunterdrückung rückgängig machen Um das Messsignal sehen zu können, muss die ZERO-Taste ca.
4.2.2.5 MENU Taste Das Menü erscheint auf dem LC-Display nach Drücken von Abb. 4-2/12 in jeder Betriebsart. Wird das Menü während der aktuellen Sitzung geöffnet, wird der Bediener zu der letzten Anzeige geführt, bevor das Menü verlassen wurde. Die nochmalige Betätigung der MENU Taste führt dann zurück zu der Anzeige des vorherigen Betriebsmodus, und es wird die vorherige Anzeigedarstellung angezeigt.
Beispiel: Um die Triggerschwelle von 5.0 x 10 mbar l/s auf 3 x 10 mbar l/s zu ändern, die Taste 2/3 (Taste Nr. 3) Abb. 4-5 betätigen. Abb. 4-5: Numerische Eingabe des 6.4.1 Im Untermenü 3 (Taste Nr. 4) Abb. 4-6 drücken.
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Da die Scrollpumpe den Prüfling weiterhin evakuiert, fällt der Einlassdruck p weiter. Unter 2 mbar schaltet der UL5000 in den FINE Modus, d.h. die Ventile V1a und V4a öffnet sich und das Ventil V1b schließt sich. Der Gasfluss gelangt nun in einer Zwischenebene in die Turbopumpe.
Nun evakuiert der untere Teil der Turbopumpe weiterhin den Prüfling, und nachdem der Druck p auf unter 0,4 mbar gefallen ist, schaltet der UL5000 in den ULTRA Modus, d.h. V1a und V4a schließen und V4b öffnet. Der Gaseinlass in die Turbo- pumpe erfolgt nun weiter oben.
Betrieb des UL5000 Der UL5000 wird durch Betätigen des Netzschalters (siehe Kapitel 3.2.1) einge- schaltet. Nach etwa 2,5 Minuten ist der Hochlauf beendet; Gerät befindet sich im Bereitschaftsmodus (Standby) und ist somit messbereit. Den zu prüfenden Prüfling am Einlassflansch anschließen und die START Taste betätigen.
5.3.1 Spülvorgang Jedes Mal, wenn der UL5000 in den Standby-Modus schaltet, wird automatisch ein Spülvorgang für 20 Sekunden ausgelöst. Während dieses Spülvorganges wird die Scrollpumpe über den Purgeanschluss (Fig. Abb. 2-4/11) gespült. Im Standby-Modus kann dieser Spülvorgang zusätzlich von Hand ausgelöst werden (Taste 7).
Gefahr S TOP Das Gehör kann durch das Alarm-Signal geschädigt werden. Der Alarm-Pegel des UL5000 kann 85dB(A) überschreiten. Nur kurzzeitig den Alarm-Signalen aussetzen oder Gehörschutz verwenden. Auf der linken Seite werden zwei Lautsprechersymbole dargestellt, kombiniert mit den Zeichen + und -. Durch die Betätigung der entsprechenden Tasten (Taste Nr. 2 und Nr.
Wenn HYDRO•S eingeschaltet ist, erscheint in der Statuszeile „HYDRO•S“, wenn HYDRO•S ausgeschaltet ist, wird in der Statuszeile „VAC“ angezeigt (siehe auch Kapitel 6.6.1.4). Hinweis: Im Modus liegt die untere Nachweisgrenze bei 1 x 10 mbar l/s HYDRO•S Betrieb des UL5000...
(s. Kapitel 6.4) Kalibrierung des UL5000 Kalibrierung (s. Kapitel 6.5) Einstellung interner Geräteparameter. Einstellungen (s. Kapitel 6.6) Informationen über den UL5000 (elektrische Info Daten und Vakuumdaten) und Servicemenü. (s. Kapitel 6.7) Zugriffsbeschränkungen. Benutzerberechtigung (s. Kapitel 6.8) Auf der nächsten Seite befindet sich eine Gesamtübersicht zu allen Menüs.
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Interne Daten anzeigen Vakuumschema Fehlerliste anzeigen s. Stichwort Info (Siehe 6,7) Kalibrier-Historie Kalibrier-Faktoren s. Stichwort Wartung oder Service bei INFICON s. Stichwort Zugang zur CAL-Funktion s. Stichwort Benutzerberechtigung s. Stichwort Geräte-PIN ändern (Siehe 6.8) s. Stichwort Menü-PIN ändern Beschreibung der Menüs...
Anzeige • Hauptmenü > Anzeige In diesem Menü Abb. 6-2 sind alle Funktionen, welche die Art und Weise beeinflussen, wie Daten dargestellt werden, zusammengefasst. Abb. 6-2: Das Menü Taste Nr. Name Beschreibung Zurück Rückkehr zum Hauptmenü. Einstellungen für Balkenanzeige und Trend Skale linear/logarithmisch (s.
6.2.2 Anzeigebereich automatisch/manuell • Hauptmenü > Anzeige > Anzeigebereich automatisch/manuell Die obere Grenze des Leckraten-Anzeigebereiches kann manuell oder automatisch festgelegt werden. Diese Einstellungen gelten für die Balkenanzeige (Balken unter den Ziffern im Messmodus und für die Y-Achse im Trend Modus). Durch die hier definierte obere Grenze wird automatisch die untere Grenze, basierend auf der Anzahl der definierten Dekaden, festgelegt (s.
ändern: Schalten Sie den UL5000 aus und starten Sie wieder neu. Während der Hochlaufphase Taste Nr. 3 oder Nr. 7 so lange betätigen, bis sich das Display wieder gut ablesen lässt. Diese Einstellung wird nur dauerhaft EPROM abgespeichert, wenn die Einstellung im Kontrastmenü...
Bei Betätigung der START Taste wird dieser aktuell gemessene interne Untergrund von allen weiteren Messungen automatisch abgezogen. Dadurch wird sichergestellt, dass nur die Netto-Leckrate des Prüflings gemessen wird. Wenn wieder in den Standby/Belüfteten Modus gewechselt wird, dann wird ein neuer Untergrund frühestens nach 25 Sekunden übernommen.
Betriebsart • Hauptmenü > Betriebsart Das Menü Betriebsart Abb. 6-3 erlaubt durch ein Untermenü die Auswahl der unterschiedlichen Betriebsarten. Abb. 6-3: Das Menü Taste Nr. Name Beschreibung Abbrechen Rückkehr zum Hauptmenü ohne Änderung. Der normale Vakuum Modus wird benutzt. Vakuum Modus mit der Möglichkeit HYDRO•S zu nutzen.
4.2.2.7 für die Beschreibung der Eingabe. Trigger 1 und Trigger 2 sind programmierbare Schaltschwellen. Wenn diese Schwellen überschritten werden, reagieren bestimmte Ausgänge des UL5000, insbesondere wenn Trigger 1 überschritten wird. Display In der Statuszeile des Displays werden die Symbole für Trigger 1 und Trigger 2 inver- tiert dargestellt, sobald die eingestellten Leckraten überschritten werden (d.h.
6.4.2 Trigger level 2 • Hauptmenü > Trigger und Alarme > Trigger level 2 Der Wert für die Triggerschwelle 2 kann hier eingegeben werden. Siehe Kapitel 4.2.2.7 für die Beschreibung der Eingabe. Wird die Triggerschwelle 2 überschritten, dann schaltet das entsprechende Relais. Dies wird auch auf dem Display angezeigt.
Taste Nr. 2: Pfeil auf Die Auswahlzeilen nach oben durchlaufen, um eine Druckeinheit auszu- wählen. Taste Nr. 3: Pfeil ab Die Auswahlzeilen nach unten durchlaufen, um eine Druckeinheit auszu- wählen. Taste Nr. 6: Pfeil auf Die Auswahlzeilen nach oben durchlaufen, um eine Leckrateneinheit auszu- wählen.
6.4.6 Audioalarm Typ • Hauptmenü > Trigger und Alarme > Audioalarm Typ Der Trigger für den Audioalarm kann ein- oder ausgeschaltet werden. Taste Nr. 2: Pinpoint (s. Kapitel 6.4.6.1) Taste Nr. 3: Leckrate Proportional Die Tonhöhe ist proportional zum Leckratensignal (s.
6.4.6.3 Sollwert Das akustische Signal ist aus, solange die Leckrate kleiner als der Wert für die Trig- gerschwelle 1 ist. Über der Triggerschwelle 1 ändert sich die Tonhöhe proportional zur Leckrate Abb. 6-6. Abb. 6-6: Sollwert 6.4.6.4 Triggeralarm Sobald die Leckrate den Wert für Triggerschwelle 1 überschreitet, wird ein Mehrfre- quenzsignal erzeugt.
Zero & Untergrund s. Kapitel 6.6.2 Umschaltung zwischen Helium und Wasserstoff. Masse s. Kapitel 6.6.3 Schnittstellen s. Kapitel 6.6.4 Diverses s. Kapitel 6.6.5 Parameter laden/speichern s. Kapitel 6.6.6 Schutzfunktionen des UL5000 können hier Überwachung gewählt werden. s. Kapitel 6.6.6 Beschreibung der Menüs...
6.6.1 Vakuumeinstellungen • Hauptmenü > Einstellungen > Vakuumeinstellungen Dieses Menü erlaubt die Anzeige und Änderung der Einstellungen für das Vakuumsystem. Taste Nr. 2: Automatisches Spülen s. Kapitel 6.6.1.1 Taste Nr. 3: Verzögerung der Belüftung s. Kapitel 6.6.1.2 Taste Nr. 4: Booster-TMP Modus s.
In dieser Betriebsart bleibt der UL5000 nach Unterschreiten von 0,4 mbar am Einlassflansch im ULTRA Bereich (s. Kapitel 4.3.1). Bei Anzeigen des Drucks am Einlassflansch > 0,4 mbar schaltet der UL5000 direkt in die Betriebsart Eva- kuieren. Taste Nr. 3:...
Hinweis: Diese Einstellung ist nur gültig, wenn der Masse-Modus auf „ He“ eingestellt ist (s. Kapitel 6.3). Taste Nr. 7: Freigegeben Wenn HYDRO•S automatisch aktiviert ist, schaltet der UL5000 HYDRO•S bei folgenden Bedingungen ein und aus: HYDRO•S wird eingeschaltet, wenn •...
6.6.1.6 Maschinenfaktor • Hauptmenü > Einstellungen > Vakuumeinstellungen > Maschinenfaktor Der Maschinenfaktor berücksicht die Tatsache, dass ein externes Pumpsystem parallel verwendet wird. Auf der Basis einer internen Kalibrierung wären in einem solchen Fall alle gemessenen Leckraten zu klein. Die gemessenen Leckraten werden mit dem Maschinenfaktor multipliziert und die Ergebnisse angezeigt.
6.6.2 Zero & Untergrund • Hauptmenü > Einstellungen > Zero & Untergrund Die Art der Untergrundunterdrückung im Inneren des UL5000 und die Funktion der Zero-Taste können gewählt werden. Taste Nr. 3: Untergrundunterdrückung s. Kapitel 6.6.2.1 Taste Nr. 4: Einlassbereichuntergrund berechnen s.
• Der UL5000 läuft mind. 20 Minuten seit er eingeschaltet wurde Eine Bedingung, die vor dem Durchführen der Berechnung noch nicht erfüllt ist, wird auf der Anzeige hervorgehoben. Wenn alle Bedingungen erfüllt sind, erscheint “OK” auf der Anzeige und die Berechnung kann durch Drücken der Taste Nr. 8 gestartet werden.
Masse • Hauptmenü > Einstellungen > Masse Hier kann die Masse des jeweils verwendeten Prüfgases eingegeben werden. Dazu muss sich der UL5000 im Standby-Modus befinden. Taste Nr. 2: H (2 amu) Wasserstoff mit einer Masse von 2 amu wird gemessen.
Die START, STOP und ZERO Tasten am Gerät sind deak- tiviert. Taste Nr. 5: Lokal & SPS Der UL5000 wird sowohl über die START, STOP und ZERO Tasten am Bedi- enpult als auch über die Digitaleingänge gesteuert. Taste Nr. 6: Lokal & RS232 Der UL5000 wird sowohl über die START, STOP und ZERO Tasten am Bedi-...
6.6.4.2 Schreiberausgang • Hauptmenü > Einstellungen > Schnittstellen > Schreiberausgang In diesem Untermenü lassen sich die vom Schreiber aufzuzeichnenden Signale an beide Schreiberausgänge einstellen. Taste Nr. 1: Abbrechen Zum vorherigen Menü zurückkehren, ohne die aktuellen Werte zu ändern. Taste Nr. 2: Pfeil auf Schreibervorgang 1 oder 2 auswählen Taste Nr.
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LR lin Die Ausgangsspannungen sind linear skaliert. Die Ausgangsspannung beträgt 0- 10 V in einstellbaren Schritten von 0,5 bis 10 Volt pro Dekade. Zur Einstellung der Skalierung s. Kapitel 6.6.4.4 LR log Die Ausgangsspannungen sind logarithmisch skaliert. Die Ausgangsspannung beträgt 1 … 10 V in einstellbaren Schritten von 0,5 V pro Dekade. LR in channel 1 Fig.
Erlaubt bei Anschluss eines PCs die Steuerung und das Auslesen von Messwerten über das Softwarepaket Leak Ware (Betrieb der Leak Ware siehe dazugehörige Gebrauchsanweisung). Hinweis: Die Kalibrierfunktion der Leak Ware ist nicht zum Betrieb mit dem UL5000 geeignet. Bitte in der Betriebsart „Single Part Measurement“ die Funktion „STORE DATE“...
Taste Nr. 2: Pfeil auf Dekade des oberen Grenzwertes einstellen Taste Nr. 3: Pfeil ab Skalierung des vorher eingestellten Bereichs in Schritten von 0,5, 1, 2, 2,5, 5, 10 Volt/ Dekade. Der Gesamtbereich 10 V umfasst (nur für „LRlog“). Taste Nr. 6: Pfeil auf Dekade des oberen Grenzwertes einstellen Taste Nr.
6.6.5.1 Datum/Uhrzeit • Hauptmenü > Einstellungen > Diverses > Datum/Uhrzeit In den zwei nachfolgenden Seiten können die Einstellungen für Datum und Zeit geändert werden. Siehe Kapitel 4.2.2.7 für die Beschreibung der Eingabe. 6.6.5.2 Sprache • Hauptmenü > Einstellungen > Diverses > Sprache Die bevorzugte Sprache kann über die Tasten 3 und 7 ausgewählt werden.
Erhöhung des Wartungsintervalls in 500 h (Std.) Schritten. Obergrenze 4000 h. 6.6.5.6 Wartungssmeldung Auspuff-Filter Der Auspuff-Filter muss regelmäßig gewartet werden, um die ordnungsgemäße Funktion des UL5000 sicherzustellen. Wird diese Meldung aktiviert, erinnert der UL5000 den Bediener an die fällige Wartung. Taste Nr. 3: Aus Taste Nr. 5: Hilfstext Taste Nr.
6.6.6 Parameter laden / speichern • Hauptmenü > Einstellungen > Parameter laden / speichern Ermöglicht die Speicherung und das Laden individueller Einstellungen oder das Rücksetzen auf die Werkseinstellungen. Taste Nr. 2: Speichern unter „PARA SET 1“ s. Kapitel 6.6.6.1 Taste Nr. 3: Speichern unter „PARA SET 2“ s.
Die Aufforderung zur Kalibrierung erfolgt. Wenn die Aufforderung zur Kalibrierung eingeschaltet ist, erfolgt eine entsprechende Meldung 30 Minuten nach dem Einschalten oder wenn sich die Temperatur im UL5000 seit der letzten Kalibrierung um mehr als 5 °C (9 °F) verändert hat. Partikelschutz •...
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Taste Nr. 2, 6: Umschaltschwelle EVAC-GROSS .15-3 mbar (Defaultwert 15 mbar) Taste Nr. 3, 7: Umschaltschwelle GROSS-FINE 2-0,5 mbar (Defaultwert 2 mbar). Bei Ändern dieser Werte wird die Umschaltschwelle für FINE-ULTRA auto- matisch 0,4 - 0,1 mbar nachgezogen. Taste Nr. 4: Einstellungen für ARGON Nochmaliges Drücken der Taste Defaultwerte für Luft.
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Taste Nr. 2: Herabsetzen der Evakuierungszeit bis p1 < 100 mbar, minimaler Wert 1s. Innerhalb der hier eingestellten Zeitdauer muss der Einlassdruck am Testflansch 100 mbar unterschritten haben. Die Dauer kann zwischen 1 Sekunde und 9 Minuten frei eingestellt bzw. auf unendlich gestellt werden. Die Werkseinstellung ist 30 Sekunden.
Informationen zu den gemessenen internen Daten werden auf 4 Seiten ange- zeigt. Taste Nr. 4: Vakuumschema Das Vakuumschema des UL5000 wird angezeigt. Aus diesem Diagramm ist unter anderem ersichtlich, welche Ventile zur Zeit geöffnet bzw. geschlossen sind. Taste Nr. 5: Schnittstellen Eine Übersicht der Schnittstellen wird angezeigt.
Weitere Informationen zum Service-Menü erhalten Sie in der Service-Menü- Anleitung (iipa74d1-b). Benutzerberechtigung • Hauptmenü > Benutzerberechtigung Über dieses Menü kann der Zugriff auf gewisse Funktionen des UL5000 beschränkt werden. Abb. 6-3: Das Menü Taste Nr. 2: Zugang zur CAL-Funktion, siehe Kapitel 6.8.1...
• Hauptmenü > Benutzerberechtigung > Geräte-PIN ändern Der Zugriff auf den UL5000 kann durch die Eingabe oder Änderung der Geräte PIN beschränkt werden. Ist die Geräte PIN nicht 0000, fragt der UL5000 diese PIN sofort nach dem Einschalten ab. Ohne die Eingabe der Geräte PIN ist der UL5000 nicht nutzbar.
Während des Kalibriervorganges wird das Massenspektrometer auf ein maximales Heliumsignal abgestimmt, und dieses Signal wird dann auf die bekannte Leckrate des internen oder externen Testlecks bezogen. Obwohl der UL5000 sehr stabil ist, wird dennoch von Zeit zu Zeit eine Kalibrierung empfohlen, um sicherzustellen, dass Änderungen in der Umgebungstemperatur, Verunreinigungen oder andere Einflüsse...
Gerät für die weitere Benutzung bereit. 7.2.1.2 Manuelle interne Kalibrierung Bei der Auswahl der manuellen internen Kalibrierung wird angenommen, dass der UL5000 an einen Prüfling angeschlossen ist (sollte dies nicht der Fall sein, dann bitte die automatische interne Kalibrierung, Kapitel 7.2.1.1 ,wählen).
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Nach Auswahl der externen Kalibrierung (Kapitel 7.2.2 , Taste Nr. 8) werden folgende Meldungen angezeigt, und die jeweils beschriebenen Aktionen sind durchzuführen: • Sicherstellen, dass das Testleck angeschlossen und offen ist. • Die Leckrate am Testleck ablesen und mit der angezeigten Leckrate vergleichen.
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• Keine Aktion erforderlich. Abb. 7-4: Externe Kalibrierung, Schritt 4 • Keine Aktion erforderlich. Abb. 7-5: Externe Kalibrierung, Schritt 5 • Das externe Testleck schließen und mit OK (Taste Nr. 8) bestätigen. Abb. 7-6: Externe Kalibrierung, Schritt 6 Kalibrierung...
Kleine Schwankungen sind akzeptabel. Wenn dies der Fall ist, OK (Taste Nr. 8) betätigen. Abb. 7-7: Externe Kalibrierung, Schritt 7 • Der UL5000 zeigt den alten und den neu berechneten Kalibrierfaktor an. Abb. 7-8: Externe Kalibrierung, Schritt 8 Kalibrierfaktor-Wertebereich Um fehlerhafte Kalibrierungen zu vermeiden, wird der Kalibrierfaktor am Ende der Kalibrier-Routine auf Plausibilität kontrolliert:...
Bediener an etwas erinnern möchte (z. B. dass eine Kalibrierung erforderlich ist oder dass der Zeitraum zur nächsten Wartung verstrichen ist). Der UL5000 zeigt eine Meldung auf dem LC Display an und verbleibt im Standby- Modus oder im Messmodus.
Liste der Fehler- und Warnmeldungen Auf den nachstehenden Seiten wird eine Liste aller Fehlermeldungen und Warnungsmeldungen aufgeführt. Warnungsmeldungen beginnen mit dem Buch- staben W gefolgt von einer Nummer. Fehlermeldungen (Errors) beginnen mit dem Buchstaben E gefolgt von einer Nummer Angezeigte Meldung Beschreibung und mögliche Fehlerursachenbehebung W15 Leckrate zu hoch! Es wurde Die Überwachungsfunktion „Verseuchungsschutz“...
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MSV ist defekt. W45 Emission der Kathode 1 kann Signal MSIBE auf der MSV Platine ist nicht aktiv. Die Emission für Kathode nicht eingeschaltet werden. 1 kann nicht eingeschaltet werden. Der UL5000 schaltet auf Kathode 2. Neue Ionenquelle bestellen. Fehler- und Warnmeldungen...
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W46 Emission der Kathode 2 kann Signal MSIBE auf der MSV Platine ist nicht aktiv. Die Emission für Kathode nicht eingeschaltet werden. 2 kann nicht eingeschaltet werden. Der UL5000 schaltet auf Kathode 1. Neue Ionenquelle bestellen. E47 Emission kann auf beiden Signal MSIBE auf der MSV Platine ist nicht aktiv.
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"Frequenzwandler ist defekt", hoch! "Booster-Turbopumpe ist defekt", E73 Emission aus (p2 zu hoch) PV >> 0,2 oder 3 mbar wegen Lufteinbruch, d.h. der UL5000 wird versuchen, wieder in den Messmodus zu gelangen. W76 Maximale Evakuierungszeit • Prüfling hat ein Grobleck.
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Angezeigte Meldung Beschreibung und mögliche Fehlerursachenbehebung W81 Kalibrierfaktor zu klein Der berechnete Kalibrierfaktor liegt außerhalb des zulässigen Bereiches (<0,1). Der alte Faktor wird beibehalten. Mögliche Ursachen: • Die für die Kalibrierung erforderlichen Bedingungen wurden nicht eingehalten. • Die Leckrate für das interne Testleck, die eingegeben wurde, ist viel zu klein.
Wartungsarbeiten Allgemeine Hinweise Wartungsarbeiten der Servicestufe II und III am UL5000 dürfen nur von Personen ausgeführt werden, die von der INFICON GmbH Köln dazu autorisiert wurden. Beachten Sie hierzu die entsprechenden Servicestufen: • Servicestufe I Kunde • Servicestufe II Kunde mit technischer Ausbil- dung •...
Umweltschutzvorschriften. Wartung oder Service bei INFICON Falls Sie ein Gerät an INFICON zur Reparatur oder Wartung schicken, geben Sie an, ob das Gerät frei von gesundheitsgefährdenden Schadstoffen, oder kontaminiert ist. Wenn es kontaminiert ist, geben Sie auch die Art der Gefährdung an. Dazu müssen Sie ein von uns vorbereitetes Formular, Abb.
Legende zum Wartungsplan • Servicestufe I Kunde • Servicestufe II Kunde mit technischer Ausbildung autorisierter INFICON • Servicestufe III Servicetechniker Wartungsarbeiten durchführen nach Betriebsstunden oder • Zeitdauer • X keine zeitliche Begrenzung, nur Betriebsstunden • von Umgebung und Einsatz abhängig •...
Wartungsgruppen Der Wartungsplan für den UL5000 lässt sich zur einfacheren Übersicht in vier Wartungsgruppen untergliedern. • 1500 Std.-Wartung • 4000 Std.-Wartung • 8000 Std.-Wartung • 16000 Std.-Wartung 9.5.1 1500 Std.-Wartung Die 1500 Std.-Wartung kann durch einen Bediener oder kundeneigenes Wartungs- personal durchgeführt werden.
9.5.2 4000 Std.-Wartung Die 4000 Std. -Wartung sollte von einem INFICON Servicetechniker oder einer anderen von INFICON autorisierten Person mindestens einmal jährlich durchgeführt werden. Der Betriebsmittelbehälter der Turbopumpe und das Öl der Vorpumpe müssen unabhängig vom Erreichen einer Betriebsdauer von 4000 Std. mindestens einmal jährlich gewechselt werden.
Betriebsdauer von 8000 Std., jedoch mindestens alle 2 Jahre ausgetauscht werden. Für das Scrollmodul der Varian Scrollpumpe ist nach Erreichen einer Betriebsdauer von 8000 Std. ein Austausch der „Tip Seal“ durch einen INFICON Servicetechniker vorzunehmen. Unterbleibt der Austausch der „Tip Seal“ muss nach 12000 Betriebs- stunden das Scrollmodul ersetzt werden.
9.5.4 16000 Std.-Wartung Die 16000 Std. -Wartung sollte von einem INFICON Servicetechniker oder einer anderen von INFICON autorisierten Person durchgeführt werden. Mit Erreichen der 16000 Betriebsstunden ist die Lebenserwartung der Lager für die Turbopumpe und der verschieden Vorpumpentypen erreicht. Scrollmodule (IWATA ISP 500 oder Varian TS 620) sowie Turbopumpe müssen ausgetauscht werden.
Gefahr S TOP Vor dem Entfernen einer der Seitenwände ist der Lecksucher vom Netz zu trennen. • Vakuumkomponenten, die am Einlass des UL5000 montiert sind, vom Einlass- System trennen. • Die Position zum Einsatz des Seitenwandtrenners ist durch einen Körnerschlag auf der Seitenwand markiert (siehe Abb.
Benötigtes Material Ersatzfiltereinsatz P/N 200000685 Gefahr S TOP Vor dem Entfernen einer der Abdeckhauben vom UL5000 ist der Lecksucher vom Netz zu trennen. • Zum Öffnen des Lecksuchers siehe Kapitel 9.6.1. • Greifen Sie den Filtereinsatz mit zwei Fingern an den in Abb.
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Abb. 9-2 durch einen schwarzen Pfeil dargestellt. Hinweis: Die mit „clean air side" bezeichnete oder weiße Oberfläche des Filtereinsatzes muss in Richtung der Lüfter weisen. • Filtereinsatz in Führung einschieben und den UL5000 durch Einsetzen und Andrücken der Abdeckhauben schließen. Wartungsarbeiten...
Die PFEIFFER Turbomolekularpumpe muss jährlich oder alle 4000 Betriebsstunden gewartet werden. Für weitere Einzelheiten siehe PFEIFFER Bedienungsanleitung PM 800 504 BN/F und PT 0017 BN/B. Wir empfehlen diese Wartungsarbeiten durch den INFICON Service oder einem von INFICON autorisierten Servicepartner durch- führen zu lassen. 9.10...
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Transport Trend Modus QT100 Trigger Triggeralarm Turbomolekularpumpe Relaisausgang Turbopumpe RS232 ULTRA Saugvermögen Umgebungstemperatur Schnüffelleitung Untergrund Schnüffelmodus Untergrundunterdrückung Einlassbereich Schreiber (Recorder) Schutz • art Vakuum-Diagramm Schutzart Vakuummodus Scrollpumpe Ventile Service Vertrag Servicevertrag • Wartung und Reparatur Servicezentrum Verwendungszweck Setpoint Sicherheitssymbole Sprache Wartungsvertrag Spülgasanschluss Spülvorgang...
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INFICON GmbH, Bonner Strasse 498, D-50968 Köln UNITED STATES TAIWAN JAPAN KOREA SINGAPORE GERMANY FRANCE UNITED KINGDOM HONG KONG Vi sit o ur we bsi t e fo r con t act i nfo rm ati on an d o t her sal es o ffice s wo rl dw id e. w w w . i n f i c o n . c o m...