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INFICON UL5000 Technisches Handbuch

INFICON UL5000 Technisches Handbuch

Helium-dichtheitsprüfgerät
Inhaltsverzeichnis

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T E C H N I S C H E S
iina74d1-h (1408)
Originalbetriebsanleitung
UL5000
Helium-Dichtheitsprüfgerät
H A N D B U C H
Katalog-Nr.
550-500A,
550-501A
Ab Software-Version
V 5.14

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Inhaltsverzeichnis
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Inhaltszusammenfassung für INFICON UL5000

  • Seite 1 T E C H N I S C H E S H A N D B U C H iina74d1-h (1408) Originalbetriebsanleitung Katalog-Nr. 550-500A, 550-501A Ab Software-Version V 5.14 UL5000 Helium-Dichtheitsprüfgerät...
  • Seite 3: Inhaltsverzeichnis

    Inhaltsverzeichnis Allgemeines Hinweise zum Gebrauch dieses Handbuches 1.1.1 Sicherheitssymbole und deren Bedeutung 1.1.2 Hinweise 1.1.3 Vakuumsymbole 1.1.4 Begriffsdefinitionen Unterstützung vom INFICON Service 1.2.1 Servicezentren Einführung 1.3.1 Verwendungszweck 1.3.2 Technische Daten 1.3.2.1 Physikalische Daten 1.3.2.2 Elektrische Daten 1.3.2.3 Weitere technische Daten 1.3.2.4...
  • Seite 4 3.2.1 Hochlauf und Messen 3.2.2 Interne Kalibrierung 3.2.3 Überprüfung Beschreibung und Funktionsweise Einführung Aufbau des UL5000 4.2.1 Vakuumsystem 4.2.2 Bedieneinheit 4.2.2.1 LCD-Anzeige 4.2.2.2 START Taste 4.2.2.3 STOP Taste 4.2.2.4 ZERO Taste 4.2.2.5 MENU Taste 4.2.2.6 Funktionstasten 4.2.2.7 Numerische Eingaben Betriebsarten 4.3.1...
  • Seite 5 Wartungssmeldung Auspuff-Filter 6.6.6 Parameter laden / speichern 6.6.6.1 Speichern eines Parametersatzes 6.6.6.2 Laden eines Parametersatzes 6.6.7 Überwachung Info 6.7.1 Wartung oder Service bei INFICON Benutzerberechtigung 6.8.1 Zugang zur CAL-Funktion 6.8.2 Zugriff auf Trigger&Alarm Menü 6.8.3 Geräte-PIN ändern 6.8.4 Menü-PIN ändern Kalibrierung Einführung...
  • Seite 6 7.2.1.2 Manuelle interne Kalibrierung 7.2.2 Externe Kalibrierung Kalibrierfaktor-Wertebereich Fehler- und Warnmeldungen Hinweise Liste der Fehler- und Warnmeldungen Wartungsarbeiten Allgemeine Hinweise Wartung oder Service bei INFICON Legende zum Wartungsplan Wartungsplan Wartungsgruppen 9.5.1 1500 Std.-Wartung 9.5.2 4000 Std.-Wartung 9.5.3 8000 Std.-Wartung 9.5.4 16000 Std.-Wartung...
  • Seite 7: Allgemeines

    Hinweis: Wir empfehlen Ihnen, dieses Technisches Handbuch sorgfältig zu lesen, um so von Beginn an optimale Arbeitsbedingungen sicherzustellen. Dieses Technisches Handbuch enthält wichtige Informationen zu den Funktion, Installation, Inbetriebnahme und Betrieb des UL5000. Allgemeines Eine Änderung der Konstruktion und der angegebenen Daten behalten wir uns vor.
  • Seite 8: Hinweise

    Der Verstärkungsbereich des Vorverstärkers und die Vakuumbereiche werden auto- matisch ausgewählt. Die automatische Messbereichswahl des UL5000 überstreicht den gesamten Bereich oder den gesamten Leckratenbereich in Abhängigkeit von der ausgewählten Betriebsart. Nicht nur das Leckratensignal, sondern auch der Druck im Prüfling (Einlassdruck P1) und der Vorvakuumdruck (P2) werden zu Steuerungszwecken herangezogen.
  • Seite 9 Zero-Zeit nur die Anzeigegrenze angezeigt wird, dann wird der Null- punkt automatisch angepasst. Menü Das Menü erlaubt es dem Bediener den UL5000 entsprechend seinen Wünschen zu programmieren. Das Menü hat eine Struktur, die sich baumartig verzweigt. Werkseitige Einstellung Zustand des UL5000 bei Auslieferung aus dem Werk.
  • Seite 10: Unterstützung Vom Inficon Service

    Unterstützung vom INFICON Service Falls Sie ein Gerät an INFICON oder einen autorisierten Repräsentanten von INFICON schicken, geben Sie an, ob das Gerät frei von gesundheitsgefährdenden Schadstoffen ist oder ob es kontaminiert ist. Wenn es kontaminiert ist, geben Sie auch die Art der Gefährdung an. Geräte ohne Erklärung über Kontaminierung muss INFICON an den Absender zurückschicken.
  • Seite 11: Servicezentren

    1.2.1 Servicezentren Falls Sie dringend Unterstützung benötigen, wenden Sie sich bitte an den INFICON Service in Ihrem Land oder die Service-Hotline in Köln, Deutschland: Algerien jhj@agramkow.dk Indien asdash@hotmail.com Agramkow Tel.: +45 741 236 36 Dashpute Tel.: +91 22 888 0324...
  • Seite 12 Fax: +45 744 336 46 Köln Fax: +49 221 56788-9112 Polen kamola@vakpol.com Taiwan reach.taiwan@inficon.com VAK-POL & GAZ Sp. z Tel.: +48 602 315 212 INFICON Company Limited Tel.: +886.3.5525.828 Pulawy Fax: +48 602 315 212 Chupei City, HsinChu Hsien Fax: +886.3.5525.829 Portugal leakdetection.service@inficon.com Tschechien filip.lisec@inficon.com...
  • Seite 13: Einführung

    INFICON aufnehmen. Senden Sie uns vorher bitte eine ausgefüllte Kopie der Konta- minierungserklärung. Vorsicht Der UL5000 darf nur zum Zweck der Dichtheitsprüfung verwendet werden. Er darf nicht als Pumpsystem benutzt werden (insbesondere nicht zum Abpumpen von aggressiven oder feuchten Gasen).
  • Seite 14: Technische Daten

    Hochlaufzeit (nach dem Einschalten) Vorsicht Zum Erreichen des Bereiches mit der minimalen nachweisbaren Leckrate müssen erst einige Bedingungen erfüllt werden: • Der UL5000 muss warm gelaufen sein • Die Umgebungsbedingungen müssen stabil sein (Temperatur, keine Vibrationen/Stöße). • Der Prüfling muss lange genug evakuiert worden sein (so dass sich der Untergrund nicht weiter verringert).
  • Seite 15: Elektrische Daten

    Die Versandverpackung auf etwaige äußere Beschädigungen hin untersuchen. Das gesamte Verpackungsmaterial entfernen. Prüfen, ob die Lieferung des UL5000 vollständig ist (s. Kapitel 1.4.1) und den UL5000 einer sorgfältigen Sichtprüfung unterziehen. Falls eine Beschädigung entdeckt wird, dies unverzüglich dem Spediteur und dem Versicherer mitteilen.
  • Seite 16: Lieferumfang

    – Technisches Handbuch UL5000 – Ersatzteilliste UL5000 • Haken zur Netzkabelaufwicklung (mit Schrauben) (siehe Nr. 6) • Öffner zum leichteren Öffnen des UL5000 (siehe Nr. 7) • O-Ring mit Filter (zur Verwendung bei Applikationen mit Staub-/Schmutzanfall) • Werkzeugbox (abnehmbar) •...
  • Seite 17: Zubehör Und Optionen

    (max 10 l, 200 bar) passen, ohne die Stabilität des UL5000 zu beeinträchtigen. 1.4.2.4 Antistatikmatte Diese Matte wird auf der Arbeitsfläche des UL5000 plaziert und über den Ring des Einlassflansches fixiert und geerdet. Die Matte verhindert das Auftreten von elektri- schen Entladungen zwischen der Arbeitsfläche und empfindlichen Prüflingen.
  • Seite 18 Arbeiten erlaubt. Magnete an der Unterseite ermöglichen das Anbringen an waagrechten bis senkrechten metallischen Oberflächen. Mit der Fernbedienung RC1000 kann das Dichtheitsprüfgerät UL5000 auch über ein Kabel mit einer Länge von bis zu 28 Metern gesteuert werden. Fig. 1-3 RC1000 drahtlose Fernbedienung...
  • Seite 19: Installation

    Installation Transport Vorsicht Der UL5000 ist nicht mit Kranösen ausgerüstet und darf daher nicht mit Hilfe von Hebeeinrichtungen transportiert werden. Vorsicht Der UL5000 darf nur an seinem dafür vorgesehenen Griff geschoben werden. Das Gerät nicht am Griff heben. Vorsicht Füße können gequetscht werden.
  • Seite 20 Abb. 2-1 Die an dem Chassisboden angezogenen Schrauben sichern das Gerät beim Transport. Beim Arbeiten mit dem UL5000 sind die Schrauben vorher zu lösen. Dafür als erstes die von unten her zugängliche Kontermutter lösen. Abb. 2-2 Danach die Schrauben etwa 10 mm herausdrehen und schließlich die Kontermutter wieder anziehen.
  • Seite 21 Abb. 2-3 Zum Transport die Schrauben wieder fest anziehen und diese mit der Kontermutter fixieren. Installation...
  • Seite 22: Aufstellungsort

    Für Betrieb in schlecht belüfteten Räumen ist, je nach Anwendung und verwendeten Gasen, eine Abgasleitung am Abgasanschluss 5 anzuschließen. Es wird empfohlen, in einem Bereich von 10 m um den UL5000 herum alle größeren Heliumquellen auf das Vorhandensein größerer Lecks hin zu untersuchen. Dazu lässt sich die Schnüffelsonde gut einsetzen.
  • Seite 23: Elektrische Anschlüsse

    Es dürfen nur Sicherungen vom angegebenen Typ und der angegebenen Nennstromstärke als Ersatz verwendet werden. Warnung Vor dem Anschluss des UL5000 an die Netzspannung muss zuerst geprüft werden, ob die Netzspannungsangabe auf dem UL5000 mit der örtlich verfügbaren Netzspannung übereinstimmt. Das Gerät ist ausschließlich zum Anschluss an Einphasen-Netze mit Installationssicherungen (Sicherungsautomat max.
  • Seite 24 Tipp Um zu verhindern, dass die Netzleitung versehentlich abgezogen wird, kann sie mit der beiliegenden Kabelbefestigung fixiert werden. Abb. 2-4. Netzleitungssicherung Abb. 2-5. Netzkabel verwahren Installation...
  • Seite 25: Anschlüsse Für Zubehör Und Steuersignale

    2.3.2 Anschlüsse für Zubehör und Steuersignale 1. Anschluss für Zubehör (2.3.2.1) 2. Digitalausgang (Digital Out) (2.3.2.2) 3. Digitaleingang (Digital In) (2.3.2.3) 4. Schreiber (Recorder) (2.3.2.4) 5. RS232 (2.3.2.5) 6. Fernbedienung RC1000 / Funktrans- mitter (2.3.2.6) 7. Netzbuchse 8. Netzschalter 9. Loch um Kabelhalter zu befestigen 10.
  • Seite 26: Zubehör (Accessories)

    Kontakt 1 und 3 sind über eine träge 0,8 A Sicherung abgesichert. Die hier zur Verfügung stehende Leistung ist auf 10 W begrenzt. Die Kontakte sind von oben nach unten durchnumeriert. Kontakt Signal +24 V, Dauerspannung, Stromversorgung für das INFICON Nebenstromventil oder die Schnüffelleitung. GND24 (Bezugspotential für die 24 V Spannung) 3, 6 Eingang...
  • Seite 27: Digitaleingang (Digital In)

    Ist geschlossen, falls Recorder-Ausgang ungültig ist. Wird nur verwendet, falls Recorder-Ausgang auf „Leckrate“ steht. 2.3.2.3 Digitaleingang (Digital In) Diese Eingänge können benutzt werden, um den UL5000 mit einer programmier- baren Steuerung (SPS) zu betreiben. Kontakt Signal +24V, verbunden mit Kontakt 1 der Buchse „OUT“...
  • Seite 28: Schreiber (Recorder)

    Hinweis: Die Schreiberausgänge sind gegenüber den anderen Anschlüssen elektrisch isoliert. Falls dennoch Brummstörungen auftreten sollten, empfiehlt es sich, den UL5000 und den Schreiber an der gleichen Netzphase zu betreiben. Sollte dies nicht möglich sein, gilt es sicherzustellen, dass die Massen beider Geräte auf dem gleichen Potential liegen.
  • Seite 29: Rs232

    Diese Fernbedienungsschnittstelle Abb. 2-6/6 ist als serielle Schnittstelle zur Steuerung des UL5000 über eine Fernbedienung ausgeführt. Die Fernbedienung RC1000 kann über ein Anschlusskabel mit RJ45 Stecker oder über den Funktransmitter (ebenfalls mit RJ45 Stecker) angeschlossen werden. Siehe Technisches Handbuch der RC1000 für weitergehende Informationen.
  • Seite 30: Vakuumanschlüsse

    Vakuumanschlüsse 2.4.1 Einlass Der Einlass befindet sich oben auf dem UL5000. Es handelt sich hierbei um einen DN 25 KF Flansch. Warnung Verletzungsgefahr durch saugenden Einlass-Flansch! Ist die Vakuum-Funktion des UL5000 aktiviert, können Körperteile, die den Einlass- Flansch verschließen, angesaugt werden.
  • Seite 31: Auslieferungszustand

    Auslieferungszustand Die folgenden Parameter werden wie angegeben gesetzt, wenn man im Menü des UL5000 unter Einstellungen  Parameter ladenspeichern den Punkt „Defaultwerte laden“ anwählt: Auto-Skalierung: Skalierung logarithmisch Anzeigebereich: 4 Dekaden Zeitachse: 32 Sekunden LCD invers: Untergrundanzeige in Stand-By: Automatische Kalibrieraufforderung:...
  • Seite 32: Überprüfen Vor Der Inbetriebnahme

    UL5000 einzuschalten ist, wie man Messungen durchführen kann und wie eine interne Kalibrierung abläuft. Hinweis: Falls sich bei der Erstinbetriebnahme der UL5000 nicht so verhält wie erwartet oder sich seltsam verhält, kann das Dichtheitsprüfgerät jederzeit über seinen Netzschalter ausgeschaltet werden.
  • Seite 33 Der Startvorgang dauert ca. 4 Minuten und dessen Ende wird von einem kurzen Signalton angezeigt. Nun befindet sich der UL5000 im Standby-Modus (Bereit- schaft). Abb. 3-1: Ansicht des UL5000 Pos. Beschreibung Pos. Beschreibung Bedieneinheit (Kap. 4.2.2) Einlass (Kap. 2.4.1) Prüfen, dass der Einlass Abb.
  • Seite 34 Sekunden lang betätigen. Die STOP Taste Abb. 3-2/13 betätigen, und der UL5000 geht in den Bereitschaftsmodus (Standby). Betätigt man die STOP Taste für einige Sekunden, dann wird der Einlass des UL5000 belüftet. Zur Beendigung des Hochlaufes bitte mit Schritt #16 fortfahren. Zur Kalibrierung bitte mit Schritt #9 fortfahren.
  • Seite 35: Interne Kalibrierung

    3.2.2 Interne Kalibrierung Nun mit der internen Kalibrierung fortfahren (siehe Kapitel 7.2.1). Zum Erzielen besserer quantitativer Messergebnisse am besten warten (15 … 20 Minuten), bis sich das Gerät aufgewärmt hat. • Die CAL (6.5) Taste (Taste Nr. 5 Abb. 3-2/8) betätigen, um das Kalibriermenü aufzurufen.
  • Seite 36: Beschreibung Und Funktionsweise

    Einführung Der UL5000 ist ein Helium-Dichtheitsprüfgerät für Vakuumanwendungen, d.h. der Prüfling wird bei der Prüfung evakuiert. Das Vakuum wird mit Hilfe des im UL5000 integrierten Pumpsystems erzeugt. Ferner kann das Vakuum auch durch parallel zum Dichtheitsprüfgerät geschaltete Pumpen erzeugt werden.
  • Seite 37: Bedieneinheit

    Die in das Massenspektrometer gelangenden Gasmoleküle werden von der Ionenquelle ionisiert. Diese positiv geladenen Teilchen werden auf einer Kreisbahn in das Magnetfeld hinein beschleunigt. Der Radius dieser Kreisbahn hängt vom Verhältnis zwischen Masse und elektrischer Ladung der Ionen ab. Nur Heliumionen sind in der Lage, diesen Filter zu passieren, um so den Ionenfänger zu erreichen, wo der Fluss der Ionen als elektrischer Strom erfasst wird.
  • Seite 38: Lcd-Anzeige

    START Taste Die Betätigung der START Taste Abb. 4-2/6 aktiviert den UL5000 so, dass er mit den Messungen beginnt. Wird im Messmodus die START Taste nochmals betätigt, wird die maximale Leckratenanzeige (Haltefunktion) aktiviert. Es wird dann die maximale Leckrate angezeigt, die seit „START“ aufgetreten ist.
  • Seite 39 Abb. 4-3 Fallender Untergrund Fällt das Messsignal unter den gespeicherten Untergrundwert wird dieser automa- tisch dem Untergrundsignal gleichgesetzt. Sobald das Signal wieder steigt, bleibt der gespeicherte Untergrundwert konstant. Signalanstiege werden klar als Leck ange- zeigt. Abb. 4-4 Untergrundunterdrückung rückgängig machen Um das Messsignal sehen zu können, muss die ZERO-Taste ca.
  • Seite 40: Menu Taste

    4.2.2.5 MENU Taste Das Menü erscheint auf dem LC-Display nach Drücken von Abb. 4-2/12 in jeder Betriebsart. Wird das Menü während der aktuellen Sitzung geöffnet, wird der Bediener zu der letzten Anzeige geführt, bevor das Menü verlassen wurde. Die nochmalige Betätigung der MENU Taste führt dann zurück zu der Anzeige des vorherigen Betriebsmodus, und es wird die vorherige Anzeigedarstellung angezeigt.
  • Seite 41: Betriebsarten

    Beispiel: Um die Triggerschwelle von 5.0 x 10 mbar l/s auf 3 x 10 mbar l/s zu ändern, die Taste 2/3 (Taste Nr. 3) Abb. 4-5 betätigen. Abb. 4-5: Numerische Eingabe des 6.4.1 Im Untermenü 3 (Taste Nr. 4) Abb. 4-6 drücken.
  • Seite 42 Da die Scrollpumpe den Prüfling weiterhin evakuiert, fällt der Einlassdruck p weiter. Unter 2 mbar schaltet der UL5000 in den FINE Modus, d.h. die Ventile V1a und V4a öffnet sich und das Ventil V1b schließt sich. Der Gasfluss gelangt nun in einer Zwischenebene in die Turbopumpe.
  • Seite 43: Schnüffelmodus

    Nun evakuiert der untere Teil der Turbopumpe weiterhin den Prüfling, und nachdem der Druck p auf unter 0,4 mbar gefallen ist, schaltet der UL5000 in den ULTRA Modus, d.h. V1a und V4a schließen und V4b öffnet. Der Gaseinlass in die Turbo- pumpe erfolgt nun weiter oben.
  • Seite 44: Betrieb Des Ul5000

    Betrieb des UL5000 Der UL5000 wird durch Betätigen des Netzschalters (siehe Kapitel 3.2.1) einge- schaltet. Nach etwa 2,5 Minuten ist der Hochlauf beendet; Gerät befindet sich im Bereitschaftsmodus (Standby) und ist somit messbereit. Den zu prüfenden Prüfling am Einlassflansch anschließen und die START Taste betätigen.
  • Seite 45: Spülvorgang

    5.3.1 Spülvorgang Jedes Mal, wenn der UL5000 in den Standby-Modus schaltet, wird automatisch ein Spülvorgang für 20 Sekunden ausgelöst. Während dieses Spülvorganges wird die Scrollpumpe über den Purgeanschluss (Fig. Abb. 2-4/11) gespült. Im Standby-Modus kann dieser Spülvorgang zusätzlich von Hand ausgelöst werden (Taste 7).
  • Seite 46: Lautstärke Für Das Akustische Signal

    Gefahr S TOP Das Gehör kann durch das Alarm-Signal geschädigt werden. Der Alarm-Pegel des UL5000 kann 85dB(A) überschreiten. Nur kurzzeitig den Alarm-Signalen aussetzen oder Gehörschutz verwenden. Auf der linken Seite werden zwei Lautsprechersymbole dargestellt, kombiniert mit den Zeichen + und -. Durch die Betätigung der entsprechenden Tasten (Taste Nr. 2 und Nr.
  • Seite 47: Numerischer Anzeigemodus

    Wenn HYDRO•S eingeschaltet ist, erscheint in der Statuszeile „HYDRO•S“, wenn HYDRO•S ausgeschaltet ist, wird in der Statuszeile „VAC“ angezeigt (siehe auch Kapitel 6.6.1.4). Hinweis: Im Modus liegt die untere Nachweisgrenze bei 1 x 10 mbar l/s HYDRO•S Betrieb des UL5000...
  • Seite 48: Beschreibung Der Menüs

    (s. Kapitel 6.4) Kalibrierung des UL5000 Kalibrierung (s. Kapitel 6.5) Einstellung interner Geräteparameter. Einstellungen (s. Kapitel 6.6) Informationen über den UL5000 (elektrische Info Daten und Vakuumdaten) und Servicemenü. (s. Kapitel 6.7) Zugriffsbeschränkungen. Benutzerberechtigung (s. Kapitel 6.8) Auf der nächsten Seite befindet sich eine Gesamtübersicht zu allen Menüs.
  • Seite 49 Interne Daten anzeigen Vakuumschema Fehlerliste anzeigen s. Stichwort Info (Siehe 6,7) Kalibrier-Historie Kalibrier-Faktoren s. Stichwort Wartung oder Service bei INFICON s. Stichwort Zugang zur CAL-Funktion s. Stichwort Benutzerberechtigung s. Stichwort Geräte-PIN ändern (Siehe 6.8) s. Stichwort Menü-PIN ändern Beschreibung der Menüs...
  • Seite 50: Anzeige

    Anzeige • Hauptmenü > Anzeige In diesem Menü Abb. 6-2 sind alle Funktionen, welche die Art und Weise beeinflussen, wie Daten dargestellt werden, zusammengefasst. Abb. 6-2: Das Menü Taste Nr. Name Beschreibung Zurück Rückkehr zum Hauptmenü. Einstellungen für Balkenanzeige und Trend Skale linear/logarithmisch (s.
  • Seite 51: Anzeigebereich Automatisch/Manuell

    6.2.2 Anzeigebereich automatisch/manuell • Hauptmenü > Anzeige > Anzeigebereich automatisch/manuell Die obere Grenze des Leckraten-Anzeigebereiches kann manuell oder automatisch festgelegt werden. Diese Einstellungen gelten für die Balkenanzeige (Balken unter den Ziffern im Messmodus und für die Y-Achse im Trend Modus). Durch die hier definierte obere Grenze wird automatisch die untere Grenze, basierend auf der Anzahl der definierten Dekaden, festgelegt (s.
  • Seite 52: Kontrast

    ändern: Schalten Sie den UL5000 aus und starten Sie wieder neu. Während der Hochlaufphase Taste Nr. 3 oder Nr. 7 so lange betätigen, bis sich das Display wieder gut ablesen lässt. Diese Einstellung wird nur dauerhaft EPROM abgespeichert, wenn die Einstellung im Kontrastmenü...
  • Seite 53: Nachkommastellen

    Bei Betätigung der START Taste wird dieser aktuell gemessene interne Untergrund von allen weiteren Messungen automatisch abgezogen. Dadurch wird sichergestellt, dass nur die Netto-Leckrate des Prüflings gemessen wird. Wenn wieder in den Standby/Belüfteten Modus gewechselt wird, dann wird ein neuer Untergrund frühestens nach 25 Sekunden übernommen.
  • Seite 54: Betriebsart

    Betriebsart • Hauptmenü > Betriebsart Das Menü Betriebsart Abb. 6-3 erlaubt durch ein Untermenü die Auswahl der unterschiedlichen Betriebsarten. Abb. 6-3: Das Menü Taste Nr. Name Beschreibung Abbrechen Rückkehr zum Hauptmenü ohne Änderung. Der normale Vakuum Modus wird benutzt. Vakuum Modus mit der Möglichkeit HYDRO•S zu nutzen.
  • Seite 55: Trigger Und Alarme

    4.2.2.7 für die Beschreibung der Eingabe. Trigger 1 und Trigger 2 sind programmierbare Schaltschwellen. Wenn diese Schwellen überschritten werden, reagieren bestimmte Ausgänge des UL5000, insbesondere wenn Trigger 1 überschritten wird. Display In der Statuszeile des Displays werden die Symbole für Trigger 1 und Trigger 2 inver- tiert dargestellt, sobald die eingestellten Leckraten überschritten werden (d.h.
  • Seite 56: Trigger Level 2

    6.4.2 Trigger level 2 • Hauptmenü > Trigger und Alarme > Trigger level 2 Der Wert für die Triggerschwelle 2 kann hier eingegeben werden. Siehe Kapitel 4.2.2.7 für die Beschreibung der Eingabe. Wird die Triggerschwelle 2 überschritten, dann schaltet das entsprechende Relais. Dies wird auch auf dem Display angezeigt.
  • Seite 57: Alarmverzögerung

    Taste Nr. 2: Pfeil auf Die Auswahlzeilen nach oben durchlaufen, um eine Druckeinheit auszu- wählen. Taste Nr. 3: Pfeil ab Die Auswahlzeilen nach unten durchlaufen, um eine Druckeinheit auszu- wählen. Taste Nr. 6: Pfeil auf Die Auswahlzeilen nach oben durchlaufen, um eine Leckrateneinheit auszu- wählen.
  • Seite 58: Audioalarm Typ

    6.4.6 Audioalarm Typ • Hauptmenü > Trigger und Alarme > Audioalarm Typ Der Trigger für den Audioalarm kann ein- oder ausgeschaltet werden. Taste Nr. 2: Pinpoint (s. Kapitel 6.4.6.1) Taste Nr. 3: Leckrate Proportional Die Tonhöhe ist proportional zum Leckratensignal (s.
  • Seite 59: Sollwert

    6.4.6.3 Sollwert Das akustische Signal ist aus, solange die Leckrate kleiner als der Wert für die Trig- gerschwelle 1 ist. Über der Triggerschwelle 1 ändert sich die Tonhöhe proportional zur Leckrate Abb. 6-6. Abb. 6-6: Sollwert 6.4.6.4 Triggeralarm Sobald die Leckrate den Wert für Triggerschwelle 1 überschreitet, wird ein Mehrfre- quenzsignal erzeugt.
  • Seite 60: Einstellungen

    Zero & Untergrund s. Kapitel 6.6.2 Umschaltung zwischen Helium und Wasserstoff. Masse s. Kapitel 6.6.3 Schnittstellen s. Kapitel 6.6.4 Diverses s. Kapitel 6.6.5 Parameter laden/speichern s. Kapitel 6.6.6 Schutzfunktionen des UL5000 können hier Überwachung gewählt werden. s. Kapitel 6.6.6 Beschreibung der Menüs...
  • Seite 61: Vakuumeinstellungen

    6.6.1 Vakuumeinstellungen • Hauptmenü > Einstellungen > Vakuumeinstellungen Dieses Menü erlaubt die Anzeige und Änderung der Einstellungen für das Vakuumsystem. Taste Nr. 2: Automatisches Spülen s. Kapitel 6.6.1.1 Taste Nr. 3: Verzögerung der Belüftung s. Kapitel 6.6.1.2 Taste Nr. 4: Booster-TMP Modus s.
  • Seite 62: Verzögerung Der Belüftung

    In dieser Betriebsart bleibt der UL5000 nach Unterschreiten von 0,4 mbar am Einlassflansch im ULTRA Bereich (s. Kapitel 4.3.1). Bei Anzeigen des Drucks am Einlassflansch > 0,4 mbar schaltet der UL5000 direkt in die Betriebsart Eva- kuieren. Taste Nr. 3:...
  • Seite 63: Hydro•S

    Hinweis: Diese Einstellung ist nur gültig, wenn der Masse-Modus auf „ He“ eingestellt ist (s. Kapitel 6.3). Taste Nr. 7: Freigegeben Wenn HYDRO•S automatisch aktiviert ist, schaltet der UL5000 HYDRO•S bei folgenden Bedingungen ein und aus: HYDRO•S wird eingeschaltet, wenn •...
  • Seite 64: Maschinenfaktor

    6.6.1.6 Maschinenfaktor • Hauptmenü > Einstellungen > Vakuumeinstellungen > Maschinenfaktor Der Maschinenfaktor berücksicht die Tatsache, dass ein externes Pumpsystem parallel verwendet wird. Auf der Basis einer internen Kalibrierung wären in einem solchen Fall alle gemessenen Leckraten zu klein. Die gemessenen Leckraten werden mit dem Maschinenfaktor multipliziert und die Ergebnisse angezeigt.
  • Seite 65: Zero & Untergrund

    6.6.2 Zero & Untergrund • Hauptmenü > Einstellungen > Zero & Untergrund Die Art der Untergrundunterdrückung im Inneren des UL5000 und die Funktion der Zero-Taste können gewählt werden. Taste Nr. 3: Untergrundunterdrückung s. Kapitel 6.6.2.1 Taste Nr. 4: Einlassbereichuntergrund berechnen s.
  • Seite 66: Zero

    • Der UL5000 läuft mind. 20 Minuten seit er eingeschaltet wurde Eine Bedingung, die vor dem Durchführen der Berechnung noch nicht erfüllt ist, wird auf der Anzeige hervorgehoben. Wenn alle Bedingungen erfüllt sind, erscheint “OK” auf der Anzeige und die Berechnung kann durch Drücken der Taste Nr. 8 gestartet werden.
  • Seite 67: Masse

    Masse • Hauptmenü > Einstellungen > Masse Hier kann die Masse des jeweils verwendeten Prüfgases eingegeben werden. Dazu muss sich der UL5000 im Standby-Modus befinden. Taste Nr. 2: H (2 amu) Wasserstoff mit einer Masse von 2 amu wird gemessen.
  • Seite 68: Steuerungsort

    Die START, STOP und ZERO Tasten am Gerät sind deak- tiviert. Taste Nr. 5: Lokal & SPS Der UL5000 wird sowohl über die START, STOP und ZERO Tasten am Bedi- enpult als auch über die Digitaleingänge gesteuert. Taste Nr. 6: Lokal & RS232 Der UL5000 wird sowohl über die START, STOP und ZERO Tasten am Bedi-...
  • Seite 69: Schreiberausgang

    6.6.4.2 Schreiberausgang • Hauptmenü > Einstellungen > Schnittstellen > Schreiberausgang In diesem Untermenü lassen sich die vom Schreiber aufzuzeichnenden Signale an beide Schreiberausgänge einstellen. Taste Nr. 1: Abbrechen Zum vorherigen Menü zurückkehren, ohne die aktuellen Werte zu ändern. Taste Nr. 2: Pfeil auf Schreibervorgang 1 oder 2 auswählen Taste Nr.
  • Seite 70 LR lin Die Ausgangsspannungen sind linear skaliert. Die Ausgangsspannung beträgt 0- 10 V in einstellbaren Schritten von 0,5 bis 10 Volt pro Dekade. Zur Einstellung der Skalierung s. Kapitel 6.6.4.4 LR log Die Ausgangsspannungen sind logarithmisch skaliert. Die Ausgangsspannung beträgt 1 … 10 V in einstellbaren Schritten von 0,5 V pro Dekade. LR in channel 1 Fig.
  • Seite 71: Rs232-Protokoll

    Erlaubt bei Anschluss eines PCs die Steuerung und das Auslesen von Messwerten über das Softwarepaket Leak Ware (Betrieb der Leak Ware siehe dazugehörige Gebrauchsanweisung). Hinweis: Die Kalibrierfunktion der Leak Ware ist nicht zum Betrieb mit dem UL5000 geeignet. Bitte in der Betriebsart „Single Part Measurement“ die Funktion „STORE DATE“...
  • Seite 72: Diverses

    Taste Nr. 2: Pfeil auf Dekade des oberen Grenzwertes einstellen Taste Nr. 3: Pfeil ab Skalierung des vorher eingestellten Bereichs in Schritten von 0,5, 1, 2, 2,5, 5, 10 Volt/ Dekade. Der Gesamtbereich 10 V umfasst (nur für „LRlog“). Taste Nr. 6: Pfeil auf Dekade des oberen Grenzwertes einstellen Taste Nr.
  • Seite 73: Datum/Uhrzeit

    6.6.5.1 Datum/Uhrzeit • Hauptmenü > Einstellungen > Diverses > Datum/Uhrzeit In den zwei nachfolgenden Seiten können die Einstellungen für Datum und Zeit geändert werden. Siehe Kapitel 4.2.2.7 für die Beschreibung der Eingabe. 6.6.5.2 Sprache • Hauptmenü > Einstellungen > Diverses > Sprache Die bevorzugte Sprache kann über die Tasten 3 und 7 ausgewählt werden.
  • Seite 74: Netzfrequenz

    Erhöhung des Wartungsintervalls in 500 h (Std.) Schritten. Obergrenze 4000 h. 6.6.5.6 Wartungssmeldung Auspuff-Filter Der Auspuff-Filter muss regelmäßig gewartet werden, um die ordnungsgemäße Funktion des UL5000 sicherzustellen. Wird diese Meldung aktiviert, erinnert der UL5000 den Bediener an die fällige Wartung. Taste Nr. 3: Aus Taste Nr. 5: Hilfstext Taste Nr.
  • Seite 75: Parameter Laden / Speichern

    6.6.6 Parameter laden / speichern • Hauptmenü > Einstellungen > Parameter laden / speichern Ermöglicht die Speicherung und das Laden individueller Einstellungen oder das Rücksetzen auf die Werkseinstellungen. Taste Nr. 2: Speichern unter „PARA SET 1“ s. Kapitel 6.6.6.1 Taste Nr. 3: Speichern unter „PARA SET 2“ s.
  • Seite 76: Überwachung

    Die Aufforderung zur Kalibrierung erfolgt. Wenn die Aufforderung zur Kalibrierung eingeschaltet ist, erfolgt eine entsprechende Meldung 30 Minuten nach dem Einschalten oder wenn sich die Temperatur im UL5000 seit der letzten Kalibrierung um mehr als 5 °C (9 °F) verändert hat. Partikelschutz •...
  • Seite 77 Taste Nr. 2, 6: Umschaltschwelle EVAC-GROSS .15-3 mbar (Defaultwert 15 mbar) Taste Nr. 3, 7: Umschaltschwelle GROSS-FINE 2-0,5 mbar (Defaultwert 2 mbar). Bei Ändern dieser Werte wird die Umschaltschwelle für FINE-ULTRA auto- matisch 0,4 - 0,1 mbar nachgezogen. Taste Nr. 4: Einstellungen für ARGON Nochmaliges Drücken der Taste Defaultwerte für Luft.
  • Seite 78  Taste Nr. 2: Herabsetzen der Evakuierungszeit bis p1 < 100 mbar, minimaler Wert 1s. Innerhalb der hier eingestellten Zeitdauer muss der Einlassdruck am Testflansch 100 mbar unterschritten haben. Die Dauer kann zwischen 1 Sekunde und 9 Minuten frei eingestellt bzw. auf unendlich gestellt werden. Die Werkseinstellung ist 30 Sekunden.
  • Seite 79: Info

    Informationen zu den gemessenen internen Daten werden auf 4 Seiten ange- zeigt. Taste Nr. 4: Vakuumschema Das Vakuumschema des UL5000 wird angezeigt. Aus diesem Diagramm ist unter anderem ersichtlich, welche Ventile zur Zeit geöffnet bzw. geschlossen sind. Taste Nr. 5: Schnittstellen Eine Übersicht der Schnittstellen wird angezeigt.
  • Seite 80: Wartung Oder Service Bei Inficon

    Weitere Informationen zum Service-Menü erhalten Sie in der Service-Menü- Anleitung (iipa74d1-b). Benutzerberechtigung • Hauptmenü > Benutzerberechtigung Über dieses Menü kann der Zugriff auf gewisse Funktionen des UL5000 beschränkt werden. Abb. 6-3: Das Menü Taste Nr. 2: Zugang zur CAL-Funktion, siehe Kapitel 6.8.1...
  • Seite 81: Zugang Zur Cal-Funktion

    • Hauptmenü > Benutzerberechtigung > Geräte-PIN ändern Der Zugriff auf den UL5000 kann durch die Eingabe oder Änderung der Geräte PIN beschränkt werden. Ist die Geräte PIN nicht 0000, fragt der UL5000 diese PIN sofort nach dem Einschalten ab. Ohne die Eingabe der Geräte PIN ist der UL5000 nicht nutzbar.
  • Seite 82: Kalibrierung

    Während des Kalibriervorganges wird das Massenspektrometer auf ein maximales Heliumsignal abgestimmt, und dieses Signal wird dann auf die bekannte Leckrate des internen oder externen Testlecks bezogen. Obwohl der UL5000 sehr stabil ist, wird dennoch von Zeit zu Zeit eine Kalibrierung empfohlen, um sicherzustellen, dass Änderungen in der Umgebungstemperatur, Verunreinigungen oder andere Einflüsse...
  • Seite 83: Interne Kalibrierung

    Gerät für die weitere Benutzung bereit. 7.2.1.2 Manuelle interne Kalibrierung Bei der Auswahl der manuellen internen Kalibrierung wird angenommen, dass der UL5000 an einen Prüfling angeschlossen ist (sollte dies nicht der Fall sein, dann bitte die automatische interne Kalibrierung, Kapitel 7.2.1.1 ,wählen).
  • Seite 84 Nach Auswahl der externen Kalibrierung (Kapitel 7.2.2 , Taste Nr. 8) werden folgende Meldungen angezeigt, und die jeweils beschriebenen Aktionen sind durchzuführen: • Sicherstellen, dass das Testleck angeschlossen und offen ist. • Die Leckrate am Testleck ablesen und mit der angezeigten Leckrate vergleichen.
  • Seite 85 • Keine Aktion erforderlich. Abb. 7-4: Externe Kalibrierung, Schritt 4 • Keine Aktion erforderlich. Abb. 7-5: Externe Kalibrierung, Schritt 5 • Das externe Testleck schließen und mit OK (Taste Nr. 8) bestätigen. Abb. 7-6: Externe Kalibrierung, Schritt 6 Kalibrierung...
  • Seite 86: Kalibrierfaktor-Wertebereich

    Kleine Schwankungen sind akzeptabel. Wenn dies der Fall ist, OK (Taste Nr. 8) betätigen. Abb. 7-7: Externe Kalibrierung, Schritt 7 • Der UL5000 zeigt den alten und den neu berechneten Kalibrierfaktor an. Abb. 7-8: Externe Kalibrierung, Schritt 8 Kalibrierfaktor-Wertebereich Um fehlerhafte Kalibrierungen zu vermeiden, wird der Kalibrierfaktor am Ende der Kalibrier-Routine auf Plausibilität kontrolliert:...
  • Seite 87: Fehler- Und Warnmeldungen

    Bediener an etwas erinnern möchte (z. B. dass eine Kalibrierung erforderlich ist oder dass der Zeitraum zur nächsten Wartung verstrichen ist). Der UL5000 zeigt eine Meldung auf dem LC Display an und verbleibt im Standby- Modus oder im Messmodus.
  • Seite 88: Liste Der Fehler- Und Warnmeldungen

    Liste der Fehler- und Warnmeldungen Auf den nachstehenden Seiten wird eine Liste aller Fehlermeldungen und Warnungsmeldungen aufgeführt. Warnungsmeldungen beginnen mit dem Buch- staben W gefolgt von einer Nummer. Fehlermeldungen (Errors) beginnen mit dem Buchstaben E gefolgt von einer Nummer Angezeigte Meldung Beschreibung und mögliche Fehlerursachenbehebung W15 Leckrate zu hoch! Es wurde Die Überwachungsfunktion „Verseuchungsschutz“...
  • Seite 89 MSV ist defekt. W45 Emission der Kathode 1 kann Signal MSIBE auf der MSV Platine ist nicht aktiv. Die Emission für Kathode nicht eingeschaltet werden. 1 kann nicht eingeschaltet werden. Der UL5000 schaltet auf Kathode 2. Neue Ionenquelle bestellen. Fehler- und Warnmeldungen...
  • Seite 90 W46 Emission der Kathode 2 kann Signal MSIBE auf der MSV Platine ist nicht aktiv. Die Emission für Kathode nicht eingeschaltet werden. 2 kann nicht eingeschaltet werden. Der UL5000 schaltet auf Kathode 1. Neue Ionenquelle bestellen. E47 Emission kann auf beiden Signal MSIBE auf der MSV Platine ist nicht aktiv.
  • Seite 91 "Frequenzwandler ist defekt", hoch! "Booster-Turbopumpe ist defekt", E73 Emission aus (p2 zu hoch) PV >> 0,2 oder 3 mbar wegen Lufteinbruch, d.h. der UL5000 wird versuchen, wieder in den Messmodus zu gelangen. W76 Maximale Evakuierungszeit • Prüfling hat ein Grobleck.
  • Seite 92 Angezeigte Meldung Beschreibung und mögliche Fehlerursachenbehebung W81 Kalibrierfaktor zu klein Der berechnete Kalibrierfaktor liegt außerhalb des zulässigen Bereiches (<0,1). Der alte Faktor wird beibehalten. Mögliche Ursachen: • Die für die Kalibrierung erforderlichen Bedingungen wurden nicht eingehalten. • Die Leckrate für das interne Testleck, die eingegeben wurde, ist viel zu klein.
  • Seite 93: Wartungsarbeiten

    Wartungsarbeiten Allgemeine Hinweise Wartungsarbeiten der Servicestufe II und III am UL5000 dürfen nur von Personen ausgeführt werden, die von der INFICON GmbH Köln dazu autorisiert wurden. Beachten Sie hierzu die entsprechenden Servicestufen: • Servicestufe I Kunde • Servicestufe II Kunde mit technischer Ausbil- dung •...
  • Seite 94: Wartung Oder Service Bei Inficon

    Umweltschutzvorschriften. Wartung oder Service bei INFICON Falls Sie ein Gerät an INFICON zur Reparatur oder Wartung schicken, geben Sie an, ob das Gerät frei von gesundheitsgefährdenden Schadstoffen, oder kontaminiert ist. Wenn es kontaminiert ist, geben Sie auch die Art der Gefährdung an. Dazu müssen Sie ein von uns vorbereitetes Formular, Abb.
  • Seite 95: Legende Zum Wartungsplan

    Legende zum Wartungsplan • Servicestufe I Kunde • Servicestufe II Kunde mit technischer Ausbildung autorisierter INFICON • Servicestufe III Servicetechniker Wartungsarbeiten durchführen nach Betriebsstunden oder • Zeitdauer • X keine zeitliche Begrenzung, nur Betriebsstunden • von Umgebung und Einsatz abhängig •...
  • Seite 96: Wartungsgruppen

    Wartungsgruppen Der Wartungsplan für den UL5000 lässt sich zur einfacheren Übersicht in vier Wartungsgruppen untergliedern. • 1500 Std.-Wartung • 4000 Std.-Wartung • 8000 Std.-Wartung • 16000 Std.-Wartung 9.5.1 1500 Std.-Wartung Die 1500 Std.-Wartung kann durch einen Bediener oder kundeneigenes Wartungs- personal durchgeführt werden.
  • Seite 97: 4000 Std.-Wartung

    9.5.2 4000 Std.-Wartung Die 4000 Std. -Wartung sollte von einem INFICON Servicetechniker oder einer anderen von INFICON autorisierten Person mindestens einmal jährlich durchgeführt werden. Der Betriebsmittelbehälter der Turbopumpe und das Öl der Vorpumpe müssen unabhängig vom Erreichen einer Betriebsdauer von 4000 Std. mindestens einmal jährlich gewechselt werden.
  • Seite 98: 8000 Std.-Wartung

    Betriebsdauer von 8000 Std., jedoch mindestens alle 2 Jahre ausgetauscht werden. Für das Scrollmodul der Varian Scrollpumpe ist nach Erreichen einer Betriebsdauer von 8000 Std. ein Austausch der „Tip Seal“ durch einen INFICON Servicetechniker vorzunehmen. Unterbleibt der Austausch der „Tip Seal“ muss nach 12000 Betriebs- stunden das Scrollmodul ersetzt werden.
  • Seite 99: 16000 Std.-Wartung

    9.5.4 16000 Std.-Wartung Die 16000 Std. -Wartung sollte von einem INFICON Servicetechniker oder einer anderen von INFICON autorisierten Person durchgeführt werden. Mit Erreichen der 16000 Betriebsstunden ist die Lebenserwartung der Lager für die Turbopumpe und der verschieden Vorpumpentypen erreicht. Scrollmodule (IWATA ISP 500 oder Varian TS 620) sowie Turbopumpe müssen ausgetauscht werden.
  • Seite 100: Beschreibung Der Wartungsarbeiten

    Gefahr S TOP Vor dem Entfernen einer der Seitenwände ist der Lecksucher vom Netz zu trennen. • Vakuumkomponenten, die am Einlass des UL5000 montiert sind, vom Einlass- System trennen. • Die Position zum Einsatz des Seitenwandtrenners ist durch einen Körnerschlag auf der Seitenwand markiert (siehe Abb.
  • Seite 101: Prüfen Und Austausch Des Luftfiltereinsatzes

    Benötigtes Material Ersatzfiltereinsatz P/N 200000685 Gefahr S TOP Vor dem Entfernen einer der Abdeckhauben vom UL5000 ist der Lecksucher vom Netz zu trennen. • Zum Öffnen des Lecksuchers siehe Kapitel 9.6.1. • Greifen Sie den Filtereinsatz mit zwei Fingern an den in Abb.
  • Seite 102 Abb. 9-2 durch einen schwarzen Pfeil dargestellt. Hinweis: Die mit „clean air side" bezeichnete oder weiße Oberfläche des Filtereinsatzes muss in Richtung der Lüfter weisen. • Filtereinsatz in Führung einschieben und den UL5000 durch Einsetzen und Andrücken der Abdeckhauben schließen. Wartungsarbeiten...
  • Seite 103: Auspuff-Schalldämpfer Ersetzen

    Auspuff-Schalldämpfer ersetzen Benötigtes Material Ersatz Schalldämpfer P/N 200 99 183 • UL5000 ausschalten. • Schalldämpfer vom Anschlussadapter abschrauben und durch neuen Schalldämpfer ersetzen und festziehen. Abb. 9-3 Schalldämpfer austauschen Pos. Beschreibung Pos. Beschreibung Schalldämpfer Reduzierstück Adapter für Schalldämpfer Zentrierring DN 25...
  • Seite 104: Turbomolekularpumpe Tmh 071

    Die PFEIFFER Turbomolekularpumpe muss jährlich oder alle 4000 Betriebsstunden gewartet werden. Für weitere Einzelheiten siehe PFEIFFER Bedienungsanleitung PM 800 504 BN/F und PT 0017 BN/B. Wir empfehlen diese Wartungsarbeiten durch den INFICON Service oder einem von INFICON autorisierten Servicepartner durch- führen zu lassen. 9.10...
  • Seite 105: Konformitätserklärung

    Konformitätserklärung Konformitätserklärung...
  • Seite 106: Stichwortverzeichnis

    Stichwortverzeichnis Abmessungen I CAL Akustischer Alarm INFICON Service Alarm Info Auspuff Installation Auspuff-Filter integriertes Testleck Automatische interne Kalibrierung Ionenquelle Belüftungsanschluss Kalibrierung Kontrast Datum/Uhrzeit Digitalausgang (Digital Out) Lagerungstemperatur – Digitaleingang (Digital In) Lautsprecher Druck Lautstärke Leckrate Leistung • Aufnahme Einlass • versorgung...
  • Seite 107 Transport Trend Modus QT100 Trigger Triggeralarm Turbomolekularpumpe Relaisausgang Turbopumpe RS232 ULTRA Saugvermögen Umgebungstemperatur Schnüffelleitung Untergrund Schnüffelmodus Untergrundunterdrückung Einlassbereich Schreiber (Recorder) Schutz • art Vakuum-Diagramm Schutzart Vakuummodus Scrollpumpe Ventile Service Vertrag Servicevertrag • Wartung und Reparatur Servicezentrum Verwendungszweck Setpoint Sicherheitssymbole Sprache Wartungsvertrag Spülgasanschluss Spülvorgang...
  • Seite 108 INFICON GmbH, Bonner Strasse 498, D-50968 Köln UNITED STATES TAIWAN JAPAN KOREA SINGAPORE GERMANY FRANCE UNITED KINGDOM HONG KONG Vi sit o ur we bsi t e fo r con t act i nfo rm ati on an d o t her sal es o ffice s wo rl dw id e. w w w . i n f i c o n . c o m...

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