A.q. - Häufig Gestellte Fragen - Inficon T-Guard2 Originalbetriebsanleitung

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9 F.A.Q. - Häufig gestellte Fragen
T-Guard2_Betriebsanleitung_jina85de1-13-(2009)
• Wieso sind die Messungen nicht reproduzierbar?
– Messungen sind weniger reproduzierbar, wenn das Gerät meldet: "Untergrund
mäßig" oder "Untergrund schlecht". Abhilfe: Verringern Sie Ihren Untergrund,
indem Sie Ihre Heliumversorgung auf Lecks prüfen. Wenn möglich, platzieren
Sie die Heliumversorgung weit weg vom Gerät. Evakuieren Sie Ihr Prüfobjekt
nach der Messung, um das Helium zu entsorgen. Bringen Sie Außenluft in den
Messraum. Der Trägergasmodus funktioniert nur, wenn Sie stabile 5 ppm
Helium in der Luft haben.
– Messungen sind weniger reproduzierbar, wenn die Messkammer undicht ist.
Da die Kammer keinen Druckunterschied zur Umgebung aufweist, muss die
Abdichtung nur einfachen Anforderungen genügen und nicht so aufwändig wie
in der Vakuumtechnik üblich gestaltet sein. Ein Kalibrierfaktor von 0,7 bis 1,3
weist darauf hin, dass das Kammervolumen bei der Akkumulations-Messung
korrekt eingegeben wurde. Wenn der Kalibrierfaktor stärker von 1 abweicht,
wurde entweder das Kammer-Volumen, die He-Konzentration, der
Schwellenwert oder die Leckrate des Kalibrierlecks falsch eingegeben.
– Messungen sind weniger reproduzierbar wenn der Schwellenwert viel größer
als die gemessene Leckrate ist. Der Schwellenwert sollte gleich der zu
messenden Leckrate sein.
– Messungen sind weniger reproduzierbar wenn die Messzeit zu sehr verringert
wurde. Dies hat denselben Effekt wie ein zu hoher Schwellenwert.
– Messungen sind weniger reproduzierbar wenn die Kammerlüfter zu schwach
sind. Die Lüfter sollten das Kammervolumen zweimal pro Sekunde umwälzen.
– Messungen sind weniger reproduzierbar wenn das Gerät nur grob misst
(Trägergasfluss-Messung). Ab einem Schwellenwert von 6,7 × 10
pro sccm des Trägergasflusses misst das Gerät nur grob. Der Hinweis "nur
grob" wird im Display angezeigt, wenn man den Schwellewert ändert. Abhilfe:
Vermeiden Sie eine Nur- Grob-Messung, indem Sie verdünntes Helium nutzen
und dies einstellen oder indem Sie eine größere Messkammer benutzen.
– Messungen sind weniger reproduzierbar, wenn Sie nicht die Messschläuche
von INFICON nutzen. Schläuche mit größerem Innendurchmesser als 1 mm
dürfen nicht benutzt werden, da die im Schlauch vorhandene Luftmenge nicht
rechtzeitig ausgetauscht werden kann.
– Messungen sind weniger reproduzierbar, wenn die Vakuumleitungen nicht
komplett in die Kupplungen eingeführt wurden. Drücken Sie die
Vakuumleitungen tief genug in die Kupplung hinein.
• Wieso wird die gemessene Leckrate immer kleiner, wenn ich zwischen den
Messungen die Messkammer nicht spüle?
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