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Verwandte Anleitungen für INFICON UL1000
Inhaltszusammenfassung für INFICON UL1000
- Seite 1 T E C H N I S C H E S H A N D B U C H iina70d1-m (1408) Originalbetriebsanleitung Katalog-Nr. UL1000: 550 - 000A 550 - 001A 550 - 002A UL1000 Fab: 550 - 100A 550 - 101A Ab Software-Version V5.14 UL1000 Fab und UL1000 Helium-Dichtheitsprüfgerät...
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Seite 3: Inhaltsverzeichnis
Digitalausgang (Digital Out) 2.3.2.3 Digitaleingang (Digital In) 2.3.2.4 Schreiber (Recorder) 2.3.2.5 RS232 2.3.2.6 Fernbedienung RC1000 / Funktransmitter Vakuumanschlüsse 2.4.1 Einlass 2.4.2 Auspuff 2.4.3 Belüftungsanschluss 2.4.4 Anschluss Spülgas (UL1000 Fab) / Gasballast (UL1000) 32 Auslieferungszustand Überprüfungen vor der Inbetriebnahme Benötigte Teile Inhaltsverzeichnis... - Seite 4 Erstinbetriebnahme 3.2.1 Hochlauf und Messen 3.2.2 Interne Kalibrierung 3.2.3 Überprüfung Beschreibung und Funktionsweise Einführung Aufbau des UL1000 und UL1000 Fab 4.2.1 Vakuumsystem 4.2.2 Bedieneinheit 4.2.2.1 LCD Anzeige 4.2.2.2 START Taste 4.2.2.3 STOP Taste 4.2.2.4 ZERO Taste 4.2.2.5 MENU (MENÜ) Taste 4.2.2.6...
- Seite 5 6.4.6.1 Lokalisieren 6.4.6.2 Leckrate Proportional 6.4.6.3 Sollwert 6.4.6.4 Triggeralarm Kalibrierung Einstellungen 6.6.1 Vakuumeinstellungen 6.6.1.1 Automatisches Spülen (nur UL1000 Fab) 6.6.1.2 Verzögerung der Belüftung 6.6.1.3 Vakuumbereiche 6.6.1.4 Leckrate internes Testleck 6.6.1.5 Maschinenfaktor 6.6.1.6 Einstellungen Auto Leak Test 6.6.2 Zero & Untergrund 6.6.2.1...
- Seite 6 7.2.1.2 Manuelle interne Kalibrierung 7.2.2 Externe Kalibrierung Kalibrierfaktor-Wertebereich Fehler- und Warnmeldungen Hinweise Liste der Fehler- und Warnmeldungen Wartungsarbeiten Allgemeine Hinweise Wartung oder Service bei INFICON Legende zum Wartungsplan Wartungsplan Wartungsgruppen 9.5.1 1500 Stunden-Wartung 9.5.2 4000 Stunden-Wartung 9.5.3 8000 Stunden-Wartung 9.5.4 16000 Stunden-Wartung 9.5.5...
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Seite 7: Allgemeines
Hinweis: Wir empfehlen Ihnen, dieses Handbuch sorgfältig zu lesen, um so von Beginn an optimale Arbeitsbedingungen sicherzustellen. Dieses technisches Handbuch enthält wichtige Informationen zu Funktion, Instal- lation, Inbetriebnahme und Betrieb des UL1000 und UL1000 Fab. Allgemeines Eine Änderung der Konstruktion und der angegebenen Daten behalten wir uns vor. -
Seite 8: Hinweise
Der Verstärkungsbereich des Vorverstärkers und die Vakuumbereiche werden auto- matisch ausgewählt. Die automatische Messbereichswahl ds UL1000 oder UL1000 Fab überstreicht den gesamten Bereich oder den gesamten Leckratenbereich in Abhängigkeit von der ausgewählten Betriebsart: Vakuummodus oder Schnüffelmodus. Nicht nur das Leck- ratensignal, sondern auch der Druck im Prüfling (Einlassdruck PE) und der Vorvaku-... - Seite 9 Die kleinste nachweisbare Leckrate, die den UL1000 oder UL1000 Fab erfassen kann (5x10 mbar l/s). Menü Das Menü erlaubt es dem Bediener den UL1000 oder UL1000 Fab, diesen entspre- chend seinen Wünschen zu programmieren. Das Menü hat eine Struktur, die sich baumartig verzweigt. Messen / Messbetriebsart Den UL1000 oder UL1000 Fab misst die Leckrate des Prüflings.
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Seite 10: Unterstützung Vom Inficon Service
Unterstützung vom INFICON Service Falls Sie ein Gerät an INFICON oder einen autorisierten Repräsentanten von INFICON schicken, geben Sie an, ob das Gerät frei von gesundheitsgefährdenden Schadstoffen ist oder ob es kontaminiert ist. Wenn es kontaminiert ist, geben Sie auch die Art der Gefährdung an. Geräte ohne Erklärung über Kontaminierung muss INFICON an den Absender zurückschicken. -
Seite 11: Servicezentren
1.2.1 Servicezentren Falls Sie dringend eine Unterstützung benötigen, wenden Sie sich bitte an den INFICON Service in Ihrem Land oder die Service-Hotline in Köln, Deutschland: Algerien jhj@agramkow.dk Indien asdash@hotmail.com Agramkow Tel.: +45 741 236 36 Dashpute Tel.: +91 22 888 0324... - Seite 12 Fax: +45 744 336 46 Köln Fax: +49 221 56788-9112 Polen kamola@vakpol.com Taiwan reach.taiwan@inficon.com VAK-POL & GAZ Sp. z Tel.: +48 602 315 212 INFICON Company Limited Tel.: +886.3.5525.828 Pulawy Fax: +48 602 315 212 Chupei City, HsinChu Hsien Fax: +886.3.5525.829 Portugal leakdetection.service@inficon.com Tschechien filip.lisec@inficon.com...
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Seite 13: Einführung
Einführung 1.3.1 Verwendungszweck Der UL1000 und UL1000 Fab sind Helium-Dichtheitsprüfgeräte. Sie dienen zur Lokalisierung von Lecks und zur Messung der Größe von Lecks in Objekten, wobei zwei verschiedene Methoden zur Verfügung stehen: • Bei der Vakuumlecksuchmethode wird der Prüfling erst evakuiert und von außen mit Helium besprüht. - Seite 14 Dekontaminierungsregeln erarbeitet. Sollte das Gerät mit gefährlichen Gasen in Berührung gekommen sein, müssen Sie die Dekontaminierungserklärung ausfüllen und sie zusammen mit dem Gerät an INFICON zurückschicken. Wenn Teile aus dem Gerät gereinigt werden müssen, müssen Sie Kontakt zum Hersteller aufnehmen.
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Seite 15: Technische Daten
Hochlaufzeit (nach dem Einschalten) Hinweis: Zum Erreichen des Bereiches mit der minimalen nachweisbaren Leckrate müssen erst einige Bedingungen erfüllt werden: • Der UL1000 und UL1000 Fab muss warm gelaufen sein. • Die Umgebungsbedingungen müssen stabil sein (Temperatur, keine Vibrationen/ Stöße). -
Seite 16: Weitere Technische Daten
Die Versandverpackung auf etwaige äußere Beschädigungen hin untersuchen. Das gesamte Verpackungsmaterial entfernen. Prüfen, ob die Lieferung dem UL1000 und UL1000 Fab vollständig ist und der UL1000 und UL1000 Fab einer sorgfältigen Sichtprüfung unterziehen. Falls eine Beschädigung entdeckt wird, dies unverzüglich dem Spediteur und dem Versicherer mitteilen. -
Seite 17: Lieferumfang
Satz Werkzeug (Siehe Nr. 7) • Schlauchhalter (2 + 2) (Siehe Nr. 5) • Dokumentenmappe – Technisches Handbuch und Ersatzteilliste UL1000 und UL1000 Fab – Ersatzteilliste UL1000 und UL1000 Fab • Haken zur Netzkabelaufwicklung (mit Schrauben) (Siehe Nr. 3) •... -
Seite 18: Zubehör Und Optionen
Der Heliumflaschenhalter erlaubt es, einen Heliumvorrat mit einer Sprühpistole zusammen mit dem UL1000 und UL1000 Fab herumzutragen. Nur kleine bis mittel- große Flaschen (max. 10 l, 200 bar) passen, ohne die Stabilität des UL1000 und UL1000 Fab zu beeinträchtigen. 1.4.2.4 Antistatikmatte Diese Matte wird auf der Arbeitsfläche des UL1000 und UL1000 Fab plaziert und... -
Seite 19: Fernbedienung Rc1000
Arbeiten erlaubt. Magnete an der Unterseite ermöglichen das Anbringen an waagrechten bis senkrechten metallischen Oberflächen. Mit der Fernbedienung RC1000 können die Dichtheitsprüfgeräte UL1000 und UL1000 Fab auch über ein Kabel mit einer Länge von bis zu 28 Metern gesteuert werden. Abb. 1-3 RC1000 drahtlose Fernbedienung... -
Seite 20: Testkammer Tc1000
1.4.2.6 Testkammer TC1000 Diese Testkammer macht aus dem UL1000 oder dem UL1000 Fab einen kompletten Arbeitsplatz, an dem hermetisch verschlossene Bauteile getestet werden können. Auch nach dem Standard MIL-STD 883 kann einfach, schnell und genau geprüft werden. Die Prüfungen starten automatisch, wenn der Deckel der Kammer geschlossen wird. -
Seite 21: Installation
Installation Transport Vorsicht Der UL1000 und UL1000 Fab ist nicht mit Kranösen ausgerüstet und darf daher nicht mit Hilfe von Hebeeinrichtungen transportiert werden. Warnung Der UL1000 und UL1000 Fab darf nur an seinem dafür vorgesehenen Griff geschoben oder gezogen werden. Das Gerät nicht am Griff heben. - Seite 22 Abb. 2-1 Die an dem Chassisboden angezogenen Schrauben sichern das Gerät beim Transport. Beim Arbeiten mit dem UL1000 Fab sind die Schrauben vorher zu lösen. Dafür als erstes die Kontermutter lösen (Abb. 2-2). Abb. 2-2 Installation...
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Seite 23: Aufstellungsort
Abb. 2-3 Zum Transport die Schrauben wieder fest anziehen und diese mit der Kontermutter fixieren. Aufstellungsort Den UL1000 und UL1000 Fab an die gewünschte Stelle bringen und die Laufrollen arretieren. Gefahr S TOP Vorsicht: Abgase und Dämpfe. Abgase und Dämpfe von ölgedichteten Pumpen können die Gesundheit schädigen.... - Seite 24 Laufräder arretiert. Dadurch wird verhindert, dass das Dichtheitsprüfgerät sich auf leichten Schrägen bewegen kann. Es wird empfohlen, in einem Bereich von 10 m um den UL1000 und UL1000 Fab herum alle größeren Heliumquellen auf das Vorhandensein größerer Lecks hin zu untersuchen.
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Seite 25: Elektrische Anschlüsse
Das Gerät ist ausschließlich zum Anschluss an Einphasen-Netze mit Installationssicherungen zugelassen (Sicherungsautomat max. 16 A gemäß IEC/ EN 60898 mit Charakteristik B). Die Angaben zur Netzspannung für den UL1000 und UL1000 Fab befinden sich auf dem Typenschild unter der Netzbuchse Abb. - Seite 26 Abb. 2-4 Hinweis: Wenn das Gerät nicht in Betrieb ist, dann kann das Kabel an den Kabelhaltern aufgewickelt werden. Abb. 2-5 Installation...
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Seite 27: Anschlüsse Für Zubehör Und Steuersignale
7. Netzbuchse 8. Netzschalter 9. Anschluss um das Kabel zu befestigen 10. Lautsprecher Belüftungsanschluss Anschluss Spülgas (UL1000 Fab) / Gasballast (UL1000) Abb. 2-6 Tipp Bei den Anschlüssen Zubehör (Accessories), Digital Out (Digitalausgang), Digital In (Digitaleingang) und Recorder (Schreiber) befindet sich Pin 1 oben. -
Seite 28: Zubehör (Accessories)
Kontakt 1 und 3 sind über eine träge 0,8 A Sicherung abgesichert. Die hier zur Verfügung stehende Leistung ist auf 10 W begrenzt. Die Kontakte sind von oben nach unten durchnumeriert. Kontakt Signal +24 V, Dauerspannung, Stromversorgung für die INFICON Schnüffelleitung SL200. GND24 (Bezugspotential für die 24 V Spannung) 3, 6 Eingang... -
Seite 29: Digitaleingang (Digital In)
Ist geschlossen, falls Recorder-Ausgang ungültig ist. Wird nur verwendet, falls Recorder-Ausgang auf „Leckrate“ steht. 2.3.2.3 Digitaleingang (Digital In) Diese Eingänge können benutzt werden, um den UL1000 und UL1000 Fab mit einer programmierbaren Steuerung (SPS) zu betreiben. Kontakt Signal +24V, verbunden mit Pin 1 der Buchse „OUT“ (Digitalausgang) GND_24V (Bezugspotential für die 24 V Spannung) -
Seite 30: Schreiber (Recorder)
Hinweis: Die Schreiberausgänge sind gegenüber den anderen Anschlüssen elektrisch isoliert. Falls dennoch Brummstörungen auftreten sollten, empfiehlt es sich, den UL1000 und UL1000 Fab und den Schreiber an der gleichen Netzphase zu betreiben. Sollte dies nicht möglich sein, gilt es sicherzustellen, dass die Massen beider Geräte auf dem gleichen Potential liegen. -
Seite 31: Rs232
TXD (intern. RS232) Vakuumanschlüsse 2.4.1 Einlass Der Einlass befindet sich oben auf dem UL1000 und UL1000 Fab. Es handelt sich hierbei um einen DN 25 KF Flansch. Warnung Verletzungsgefahr durch saugenden Einlass-Flansch. Ist die Vakuum-Funktion des Modul1000 aktiviert, können Körperteile, die den Einlass-Flansch verschließen, angesaugt werden.... -
Seite 32: Auspuff
Stattdessen kann eine Auspuffleitung am Auspuffanschluss angeschlossen werden. Warnung Je nach dem, an welche Art von Behälter der UL1000 und UL1000 Fab angeschlossen wird, und in Abhängigkeit vom Gas innerhalb des Behälters, können gesundheitsschädliche Gase über den Auspuff des Dichtheitsprüfgeräts in die Umgebungsluft gelangen. -
Seite 33: Auslieferungszustand
Auslieferungszustand Die folgenden Parameter werden wie angegeben gesetzt, wenn man im Menü des UL1000 und UL1000 Fab unter Einstellungen Parameter laden/speichern den Punkt „Defaultwerte laden“ anwählt: Auto-Skalierung: Skalierung: logarithmisch Anzeigebereich: 4 Dekaden Zeitachse: 32 Sekunden LCD invers: Untergrundanzeige in Stand-By:... -
Seite 34: Überprüfungen Vor Der Inbetriebnahme
Überprüfungen vor der Inbetriebnahme In diesem Kapitel werden die Schritte zur Erstinbetriebnahme beschrieben. Es wird erklärt, wie der UL1000 und UL1000 Fab einzuschalten ist, wie man Messungen durchführen kann und wie eine interne Kalibrierung abläuft. Hinweis: Falls sich bei der Erstinbetriebnahme der UL1000 und UL1000 Fab nicht so verhält wie erwartet oder sich seltsam verhält, kann das... - Seite 35 Turbopumpe, dem Vorvakuumdruck, der Emission und der aktiven Kathode. Der Startvorgang dauert ca. 3 Minuten und dessen Ende wird von einem kurzen Signalton angezeigt. Nun befindet sich der UL1000 und UL1000 Fab im Standby- Modus (Bereitschaft). Abb. 3-1 Ansicht des UL1000 und UL1000 Fab Pos.
- Seite 36 2 … 3 Sekunden betätigen. STOP Taste Abb. 3-2/13 betätigen, und der UL1000 und UL1000 Fab geht in den Bereitschaftsmodus (Standby). Betätigt man die STOP Taste für einige Sekunden, dann wird der Einlass des UL1000 und UL1000 Fab belüftet.
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Seite 37: Interne Kalibrierung
3.2.2 Interne Kalibrierung Nun mit der internen Kalibrierung fortfahren (siehe Kapitel 7.2.1 Interne Kalibrierung). Zum Erzielen besserer quantitativer Messergebnisse am besten warten (15 … 20 Minuten), bis sich das Gerät aufgewärmt hat. • Die CAL (Kalibrierung) Taste (Taste Nr. 5 Abb. -
Seite 38: Beschreibung Und Funktionsweise
Optionen) genutzt werden kann. Aufbau des UL1000 und UL1000 Fab Der UL1000 und UL1000 Fab ist eine selbstständige Einheit in einem Metallgehäuse auf Rädern. Dieses Gehäuse enthält das gesamte Vakuumsystem und die entspre- chenden Stromversorgungen. Oben auf dem Dichtheitsprüfgerät befinden sich der Einlassflansch und die Bedieneinheit. - Seite 39 Es wird zu jeder Zeit sichergestellt, dass der Druck im Massenspektrometer niedrig genug ist. Die Ventile V1a, V1b, V2, V4a, V4b steuern den Gasfluss während der Messung. Ventile V5 (nur UL1000), V6 und V8 werden zur Belüftung des Systems und der Turbopumpe eingesetzt. Ventil V7 öffnet und schließt das interne Testleck während des Kalibriervorgangs.
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Seite 40: Bedieneinheit
4.2.2 Bedieneinheit Bedieneinheit Abb. 4-2/7 enthält ein Flüssigkristalldisplay (LC Display), die START, STOP, ZERO (Untergrundunterdrückung) und MENU (Menü) Tasten sowie acht weitere Tasten für die verschiedenen Menüs und Eingaben. Die Bedieneinheit selbst ist drehbar. Abb. 4-2 Bedieneinheit Pos. Beschreibung Pos. Beschreibung LCD Anzeige Taste Nr. -
Seite 41: Lcd Anzeige
START Taste Die Betätigung der START Taste Abb. 4-2/6 aktiviert den UL1000 und UL1000 Fab so, dass er mit den Messungen beginnt. Wird im Messmodus die START Taste nochmals betätigt, wird die maximale Leckratenanzeige (Haltefunktion) aktiviert. Es wird dann die maximale Leckrate angezeigt, die seit „START“ aufgetreten ist. Durch erneutes Drücken der START-Taste wird die Haltefunktion neu initialisiert. - Seite 42 Abb. 4-3 Fallender Untergrund Messsignal Gespeicherter Wert (Untergrund) Angezeigte Leckrate Fällt das Messsignal unter den gespeicherten Untergrundwert wird dieser automa- tisch dem Untergrundsignal gleichgesetzt. Sobald das Signal wieder steigt, bleibt der gespeicherte Untergrundwert konstant. Signalanstiege werden klar als Leck ange- zeigt.
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Seite 43: Menu (Menü) Taste
Um das Messsignal sehen zu können, muss die ZERO-Taste ca. 3 Sekunden gedrückt werden. Der gespeicherte Wert wird auf Null gesetzt, das Untergrundsignal wird nicht mehr unterdrückt. Hinweis: Die ZERO-Funktion sollte erst aktiviert werden, wenn das Leckratensignal stabil ist. In der Einstellung I-ZERO kann die ZERO-Funktion nur dann genutzt werden, wenn das fallende Untergrundsignal stabil ist. -
Seite 44: Betriebsarten
START Taste öffnen sich die Ventile V1a und V1b, und der Prüfling wird von der Vorvakuumpumpe (UL1000) oder der Scrollpumpe abgepumpt (UL1000 Fab). Gleichzeitig wird Ventil V2 geschlossen, um einen unzulässigen Druckanstieg in der Turbopumpe und im Massenspektrometer zu verhindern. Bei geschlossenem Ventil V2 arbeitet die Turbopumpe ohne Unterstützung durch die... - Seite 45 Da die Scrollpumpe den Prüfling weiterhin evakuiert, fällt der Einlassdruck p weiter. Unter 2 mbar schaltet der UL1000 und UL1000 Fab in den FINE Modus, d.h. das Ventil V4a öffnet sich und das Ventil V1b schließt sich. Der Gasfluss gelangt nun in einer Zwischenebene in die Turbopumpe.
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Seite 46: Schnüffelmodus
Tipp Eine besondere Einstellung für den UL1000 und UL1000 Fab verhindert die oben beschriebene automatische Messbereichsumschaltung. Bei Auswahl von FINE only (siehe Kapitel Betriebsart) bleibt das Dichtheitsprüfgerät immer im FINE Modus Abb. 4-7 (links) unabhängig vom Einlassdruck. Das Ventil V1a ist hierbei geschlossen. -
Seite 47: Betrieb Des Ul1000 Und Ul1000 Fab
5-1. Die angezeigte Leckrate entspricht der Helium-Untergrundkonzentration im Prüfling. Da der UL1000 und UL1000 Fab den Prüfling weiterhin abpumpt, fällt die Unter- grund-Leckrate weiter. Sobald die angezeigte Leckrate klein genug ist, um den jeweiligen Anforderungen zu genügen, kann damit begonnen werden, den Prüfling von außen mit Helium zu besprühen, um Lecks zu finden. -
Seite 48: Anzeigen Im Stand-By Modus
(Kapitel 7) und der Spülvorgang gestartet werden (Siehe Kapitel 5.3.1). 5.3.1 Spülvorgang Jedes Mal, wenn der UL1000 und UL1000 Fab nach „Stand-By“ schaltet, wird auto- matisch ein Spülvorgang für 20 Sekunden ausgelöst. Während dieses Spülvor- ganges wird die Scrollpumpe über den Purgeanschluss (Abb. -
Seite 49: Lautstärke Für Das Akustische Signal
Gefahr S TOP Das Gehör kann durch das Alarm-Signal geschädigt werden. Der Alarm-Pegel des UL1000 / UL1000 Fab kann 85dB(A) überschreiten. Nur kurzzeitig den Alarm-Signalen aussetzen oder Gehörschutz verwenden. Auf der linken Seite werden zwei Lautsprechersymbole dargestellt, kombiniert mit den Zeichen + und -. Durch die Betätigung der entsprechenden Tasten (Taste Nr. 2 und Nr. -
Seite 50: Numerischer Anzeigemodus
Die Zeitachse kann über ein Menü definiert werden (siehe Kapitel 6.2.3 Zeitachse). Die Intensitätsachse (Y-Achse) wird in gleicher Weise wie für die Balkenanzeige definiert (siehe Kapitel 6.2.1 Skalierung linear/logarithmisch). Abb. 5-2: Display, Trend Modus Betrieb des UL1000 und UL1000 Fab... -
Seite 51: Beschreibung Der Menüs
Alarmen. Siehe Kapitel 6.4. Kalibrierung des UL1000 und UL1000 Fab. Kalibrierung Siehe Kapitel 6.5. Einstellung interner Geräteparameter. Einstellungen Siehe Kapitel 6.6. Informationen über den UL1000 und UL1000 Fab Info (elektrische Daten und Vakuumdaten) und Servicemenü. Siehe Kapitel 6.7. Zugriffsbeschränkungen. Benutzerberechtigung Siehe Kapitel 6.8. - Seite 52 Einheiten Alarmverzögerung Audioalarm Typ Manuell Intern Automatisch Kalibrierung (Siehe 6.5) Leckrate bearbeiten Extern Start Automatisches Spülen (nur UL1000 Fab) Verzögerung der Belüftung Vakuumbereiche Vakuumeinstellungen Auto Leak Test Einstellungen Maschinenfaktor Leckrate internes Testleck Untergrundunterdrückung Zero & Untergrund Zero Masse Paging-Funktion RC1000WL...
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Seite 53: Anzeige
Anzeige • Hauptmenü > Anzeige In diesem Menü Abb. 6-2 sind alle Funktionen, welche die Art und Weise beeinflussen, wie Daten dargestellt werden, zusammengefasst. Abb. 6-2: Das Anzeige Menü Taste Nr. Bezeichnung Beschreibung Zurück Rückkehr zum Hauptmenü. Einstellungen für Balkenanzeige und Trend Modus. -
Seite 54: Skalierung Linear/Logarithmisch
6.2.1 Skalierung linear/logarithmisch • Hauptmenü > Anzeige > Skalierung linear/logarithmisch Diese Einstellungen gelten für die Balkenanzeige (Balken unter den Ziffern im Messmodus) und für die Y-Achse im Trend Modus. Die Skala für die Balkenanzeige kann entweder linear oder logarithmisch sein. Mit Hilfe der Pfeile (Auf und Ab) kann man festlegen, wie viele Dekaden von der Balkenanzeige überstrichen werden. -
Seite 55: Anzeigebereich Automatisch/Manuell
6.2.2 Anzeigebereich automatisch/manuell • Hauptmenü > Anzeige > Anzeigebereich automatisch/manuell Die obere Grenze für die angezeigte Leckrate kann manuell oder automatisch eingestellt werden. Diese Einstellungen gelten für die Balkenanzeige (Balken unter den Ziffern im Messmodus und für die Y-Achse im Trend Modus). Durch die hier definierte obere Grenze wird automatisch die untere Grenze, basierend auf der Anzahl der definierten Dekaden, festgelegt (siehe Kapitel 6.2.1... -
Seite 56: Kontrast
ändern: Den UL1000 und UL1000 Fab ausschalten und wieder einschalten. Während der Hochlaufphase Taste Nr. 3 oder Nr. 7 so lange betätigen, bis sich das Display wieder gut ablesen lässt. Diese Einstellung wird nur dauerhaft im EPROM abgespeichert, wenn die Einstellung im Kontrastmenü... -
Seite 57: Nachkommastellen
Bei Betätigung der START Taste wird dieser aktuell gemessene interne Untergrund von allen weiteren Messungen automatisch abgezogen. Dadurch wird sichergestellt, dass nur die Netto-Leckrate des Prüflings gemessen wird. Wenn das Dichtheitsprüfgerät wieder in den Standby/Belüfteten Modus versetzt wird, dann wird ein neuer Untergrund frühestens nach 25 Sekunden übernommen. Der aktualisierte Wert wird unterstrichen dargestellt. -
Seite 58: Betriebsart
Betriebsart • Hauptmenü > Betriebsart Das Menü Betriebsart Abb. 6-3 erlaubt durch ein Untermenü die Auswahl der unterschiedlichen Betriebsarten. Abb. 6-3: Das Betriebsart Menü Taste Nr. Bezeichn. Beschreibung Abbrechen Rückkehr zum Hauptmenü ohne Änderung. Der Schnüffelmodus wird benutzt. Siehe Kapitel 4.3.2 Schnüffeln Schnüffelmodus. - Seite 59 Hinweis: Der UL1000 kann eine Kalibrierung fordern, falls die Betriebsart gewechselt wird. In solch einem Fall erscheint eine Information Abb. 6-5 Nachdem der Test abgelaufen ist, zeigt das Bild auf dem Display im Stand-by diese Einstellungen: Abb. 6-6 Testergebniss Untergrund...
- Seite 60 Prüfen von Bauteilen Die Prüfung kann mit der START Taste gestartet werden. Wenn die Testkammer TC1000 benutzt wird, läuft die Prüfung automatisch an, sobald der Deckel der Test- kammer geschlossen wird. Nach der eingestellten Prüfzeit, oder wenn der einge- stellte Triggerwert unterschritten wurde, stoppt der Test und die Kammer wird auto- matisch belüftet.
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Seite 61: Trigger Und Alarme
Beschreibung der Eingabe. Trigger 1 und Trigger 2 sind programmierbare Schaltschwellen. Wenn diese Schwellen überschritten werden, reagiert der UL1000 und UL1000 Fab wie folgt: Display In der Statuszeile des Displays werden die Symbole für Trigger 1 und Trigger 2 inver- tiert dargestellt, sobald die eingestellten Leckraten überschritten werden (d.h. -
Seite 62: Trigger Level 2
6.4.2 Trigger level 2 • Hauptmenü > Trigger und Alarme > Trigger level 2 Der Wert für die Triggerschwelle 2 kann hier eingegeben werden. Siehe Kapitel 4.2.2.7 Numerische Eingaben für eine Beschreibung der Eingabe. Wird die Triggerschwelle 2 überschritten, dann schaltet das entsprechende Relais. Dies wird auch auf dem Display angezeigt (siehe oben). -
Seite 63: Alarmverzögerung
Taste Nr. 2: Pfeil Auf Die Auswahlzeilen nach oben durchlaufen, um eine Druckeinheit auszuwählen. Taste Nr. 3: Pfeil Ab Die Auswahlzeilen nach unten durchlaufen, um eine Druckeinheit auszuwählen. Taste Nr. 6: Pfeil Auf Die Auswahlzeilen nach oben durchlaufen, um eine Leckrateneinheit auszuwählen. Taste Nr. -
Seite 64: Audioalarm Typ
6.4.6 Audioalarm Typ • Hauptmenü > Trigger und Alarme > Audioalarm Typ Je nach Aufgabenstellung sollte der optimale Alarmtyp gewählt werden. Taste Nr. 2: Pinpoint Diese Funktion dient der Lokalisierung eines Lecks von bekannter Größe. Einzel- heiten siehe Kapitel 6.4.6.1 Taste Nr. -
Seite 65: Sollwert
6.4.6.3 Sollwert Das akustische Signal ist aus, solange die Leckrate kleiner als der Wert für die Trig- gerschwelle 1 ist. Über der Triggerschwelle 1 ändert sich die Tonhöhe proportional zur Leckrate Abb. 6-10. 3000 Hz - Kein Ton 375 Hz - no tone 1000 •... -
Seite 66: Einstellungen
Siehe Kapitel 6.6.4 Selten notwendige Einstellungen können hier Diverses vorgenommen werden (Datum, Sprache). Siehe Kapitel 6.6.5 Parameter laden / speichern Siehe Kapitel 6.6.6 Schutzfunktionen des UL1000 und UL1000 Fab Überwachung können gewählt werden. Siehe 6.6.7 Beschreibung der Menüs... -
Seite 67: Vakuumeinstellungen
Einlass belüftet wird, nachdem die STOP Taste betätigt wurde. Wenn die STOP Taste für eine Dauer betätigt wird, die kürzer ist als die eingegebene Belüf- tungsverzögerungszeit, dann geht der UL1000 und UL1000 Fab nur in den Standby- Modus. -
Seite 68: Vakuumbereiche
In dieser Betriebsart bleibt der UL1000 und UL1000 Fab nach Unterschreiten von 0,4 mbar am Einlassflansch im ULTRA Bereich (siehe 4.3.1). Bei Anzeigen des Drucks am Einlassflansch > 0,4 mbar schaltet der UL1000 und UL1000 Fab direkt in die Betriebsart Evakuieren. -
Seite 69: Leckrate Internes Testleck
Taste Nr. 6: HIGHPUMP (nur UL1000) In diesem Modus lässt der UL1000 das Ventil V1a offen, um die Pumpgeschwin- digkeit am Einlass zu erhöhen. Das hilft die Abpumpzeit zu verringern, wenn größere Bauteile geprüft werden. Taste Nr. 7: Alle Bereiche (Default Einstellung) Diese ist die Standardeinstellung, der Ablauf erfolgt gemäß... -
Seite 70: Einstellungen Auto Leak Test
Messung mit dem Ergebnis PASS beendet, auch wenn der Maximalwert der Messzeit noch nicht erreicht ist. Abb. 6-13 Messzeit, Minimal- und Maximalwert Beispiele für Zeiteinstellungen (die INFICON Testkammer wird mit einem Volumen von 430 cm³ benutzt): Reichweite der Rückweisleckrate Messzeit 10E-5 2 Sek. - Seite 71 Hinweis: Wenn die Messzeit geändert wurde, wird eine Kalibrierung gefordert. Trigger level 1 Die Rückweisrate für ein Bauteil, das getestet werden soll, kann im Bereich von 10E- 1 bis 10E-9 mbar l/s. Abb. 6-14 Serienfehlermeldungen Die Anzahl der bei einer Messung durchgefallenen Teile in Serie kann von 1 bis 9 festgelegt werden.
- Seite 72 Reihe von Tests fehlgeschlagen sind. Die Kammer wird 3 Mal leergepumpt und belüftet. Die Referenzmessung beinhaltet einen Kalibrierablauf mit dem internen Testleck TL des UL1000. Nach der Säuberung wird der aktuelle Heliumuntergrund gemessen und von den Ergebnissen der folgenden Messungen abgezogen. Beschreibung der Menüs...
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Seite 73: Zero & Untergrund
Zero & Untergrund > Untergrundunterdrückung In dieser Modus, wird bei jeder Messung der interne Helium Untergrund der UL1000 und UL1000 Fab durch Betätigung der START-Taste subtrahiert. Der UL1000 und UL1000 Fab bleibt somit nach einer Helium Kontamination sauber. Softkey 3: Die interne Untergrundunterdrückung ist abgeschaltet. -
Seite 74: Zero
Einstellungen > Masse Hier kann die Masse des jeweils verwendeten Prüfgases eingegeben werden. Dazu muss sich der UL1000 und UL1000 Fab im Standby-Modus befinden. Taste Nr. 2: (2 amu) Wasserstoff mit einer Masse von 2 amu wird gemessen. Taste Nr. 3: He (3 amu) Das Heliumisotop mit der Masse 3 amu wird gemessen. -
Seite 75: Schnittstellen
UL1000 und UL1000 Fab können über Digitaleingang, RS232-Schnittstelle und Tastatur bedient werden. Taste Nr. 5 Lokal & SPS Der UL1000 und UL1000 Fab wird sowohl über die START-, STOP- und ZERO- Tasten am Gerät als auch über die Digitaleingänge gesteuert. Taste Nr. 6 Lokal & RS232 Der UL1000 und UL1000 Fab wird sowohl über die START-, STOP- und ZERO-... -
Seite 76: Rs232 Protokoll
Erlaubt bei Anschluss eines PCs and die Steuerung, Auslesen von Messwerten über das Softwarepaket Leak Ware (Betrieb der Leak Ware siehe dazugehörige Gebrauchsanweisung). Hinweis: Die Kalibrierfunktion der Leak Ware ist nicht zum Betrieb mit dem UL1000 und UL1000 Fab geeignet. Bitte in der Betriebsart „Single Part Measurement“ die Funktion „STORE DATE“... -
Seite 77: Schreiberausgang
6.6.4.3 Schreiberausgang • Hauptmenü > Einstellungen > Schnittstellen > Schreiberausgang In diesem Untermenü lassen sich die vom Schreiber aufzuzeichnenden Signale an beide Schreiberausgänge einstellen. Taste Nr. 1: Abbrechen Zum vorherigen Menü zurückkehren, ohne die aktuellen Werte zu ändern. Taste Nr. 2: Schreibervorgang 1 oder 2 auswählen Taste Nr. -
Seite 78: Skalierung Schreiberausgang
LR lin Die Ausgangsspannungen sind linear skaliert. Die Ausgangsspannung beträgt 0 - 10V in einstellbaren Schritten von 0,5 bis 10 Volt pro Dekade. Zur Einstellung der Skalierung siehe Kapitel 6.6.4.4) LR log Die Ausgangsspannungen sind logarithmisch skaliert. Die Ausgangsspannung beträgt 1 … 10 V in einstellbaren Schritten von 0,5 V bis 10 V pro Dekade. LR in Kanal 1 Abb. -
Seite 79: Diverses
6.6.5 Diverses • Hauptmenü > Einstellungen > Diverses In diesem Untermenü können das aktuelle Datum und die aktuelle Zeit, die bevorzugte Sprache und die Netzfrequenz eingestellt werden. Taste Nr. 2: Datum/Uhrzeit Siehe Kapitel 6.6.5.1 Taste Nr. 3: Sprache Siehe Kapitel 6.6.5.2 Taste Nr. -
Seite 80: Leckratenfilter
Netzversorgung eingegeben werden. Die Werkseinstellung ist 50 Hz für 230 V und 60 Hz für 115 V. Taste Nr. 3: 50 Hz Der UL1000 und UL1000 Fab wird an einem 50 Hz Netz betrieben. Taste Nr. 6: 60 Hz Der UL1000 und UL1000 Fab wird an einem 60 Hz Netz betrieben. -
Seite 81: Wartungssmeldung Auspuff-Filter
Der Auspuff-Filter muss regelmäßig gewartet werden, um die ordnungsgemäße Funktion des UL1000 und UL1000 Fab sicherzustellen. Wird diese Meldung aktiviert, erinnert der UL1000 und UL1000 Fab den Bediener an die fällige Wartung. Taste Nr. 3: Aus Taste Nr. 5: Hilfstext Taste Nr. -
Seite 82: Überwachung
Die Aufforderung zur Kalibrierung erfolgt. Wenn die Aufforderung zur Kalibrierung eingeschaltet ist, erfolgt eine entsprechende Meldung 30 Minuten nach dem Einschalten oder wenn sich die Temperatur im UL1000 und UL1000 Fab seit der letzten Kalibrierung um mehr als 5 °C verändert hat. Partikelschutz •... - Seite 83 Mit dieser Funktion können die werkseitig eingestellten Umschaltpunkte zwischen den Betriebsarten GROSS-FINE-ULTRA verändert werden. Dies kann erforderlich sein, wenn mit dem UL1000 und UL1000 Fab andere Gase als Luft abgepumpt werden. Das Drucksignal der gasartabhängigen Einlassdruckanzeige (Pirani) kann dann entsprechend andere Umschaltwerte der UL1000 und UL1000 Fab Ablaufsteu- erung liefern.
- Seite 84 Taste Nr. 3 u. Nr. 6: Einstellung des maximalen Drucks: Obergrenze 2 mbar. Taste Nr. 4 u. Nr. 7: Einstellung des minimalen Drucks: Untergrenze 0,02 mbar Taste Nr. 5 Hilfstext Maximale Evakuierungszeit • Hauptmenü > Einstellungen > Vakuumeinstellungen > Überwachung >...
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Seite 85: Info
Informationen zu den gemessenen internen Daten werden auf 4 Seiten angezeigt. Taste Nr. 4: Vakuumschema Das Vakuumschema des UL1000 und UL1000 Fab wird angezeigt. Aus diesem Diagramm ist unter anderem ersichtlich, welche Ventile zur Zeit geöffnet bzw. geschlossen sind. Taste Nr. 5: Liste mit Fehlermeldungen ansehen Die Liste mit aufgetretenen Fehlermeldungen und Warnungen wird angezeigt. -
Seite 86: Service
Service-Schulung. Weitere Informationen zum Service-Menü erhalten Sie in der Service-Menü-Anleitung (iipa74d1) Benutzerberechtigung • Hauptmenü > Benutzerberechtigung Über dieses Menü kann der Zugriff auf gewisse Funktionen des UL1000 und UL1000 Fab beschränkt werden. Abb. 6-22. Abb. 6-22: Das Menü zur Benutzerberechtigung Taste Nr. 2:... -
Seite 87: Zugriff Auf Trigger&Alarme Menü
> Geräte-PIN ändern Der Zugriff auf den UL1000 und UL1000 Fab kann durch die Eingabe oder Änderung der Geräte PIN beschränkt werden. Ist die Geräte PIN von 0000 verschieden, fragt der UL1000 und UL1000 Fab nach dieser PIN sofort nach dem Einschalten. Ohne die Eingabe der Geräte PIN ist der UL1000 und UL1000 Fab nicht nutzbar. -
Seite 88: Kalibrierung
Kalibrierung Einführung Der UL1000 und UL1000 Fab kann auf zweierlei Weise kalibriert werden: • Interne Kalibrierung durch das interne Testleck. • Externe Kalibrierung mit Hilfe eines zusätzlichen Testlecks, welches am Einlass oder am Prüfling angeschlossen wird. Während des Kalibriervorganges wird das Massenspektrometer auf ein maximales Heliumsignal abgestimmt, und dieses Signal wird dann auf die bekannte Leckrate des internen oder externen Testlecks bezogen. -
Seite 89: Interne Kalibrierung
7.2.1 Interne Kalibrierung Bei der internen Kalibrierung des UL1000 und UL1000 Fab gibt es zwei Möglich- keiten: • Wenn das Dichtheitsprüfgerät blindgeflanscht oder von einer angeschlossenen Vakuumkammer durch ein Ventil am Einlass abgetrennt wurde, dann kann man die automatische Kalibrierung auswählen. (Taste Nr. 8). - Seite 90 • Die Leckrate am Testleck ablesen und mit der angezeigten Leckrate vergleichen. Bei Abweichungen die Taste Leckrate editieren (Taste Nr. 4) betätigen und den Wert korrigieren. • Wenn die Leckraten übereinstimmen, START (Taste Nr. 8) betätigen. Abb. 7-1: Externe Kalibrierung, Schritt 1 •...
- Seite 91 • Hier ist keine Aktion erforderlich. Abb. 7-4: Externe Kalibrierung, Schritt 4 • Hier ist keine Aktion erforderlich. Abb. 7-5: Externe Kalibrierung, Schritt 5 • Das externe Testleck schließen und mit OK (Taste Nr. 8) bestätigen. Abb. 7-6: Externe Kalibrierung, Schritt 6 Kalibrierung...
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Seite 92: Kalibrierfaktor-Wertebereich
Kleine Schwankungen sind akzeptabel. Wenn dies der Fall ist, OK (Taste Nr. 8) betätigen. Abb. 7-7: Externe Kalibrierung, Schritt 7 • Der UL1000 und UL1000 Fab zeigt den alten und den neu berechneten Kalibrierfaktor an. Abb. 7-8: Externe Kalibrierung, Schritt 8 Kalibrierfaktor-Wertebereich Um fehlerhafte Kalibrierungen zu vermeiden, kontrolliert der UL1000 und UL1000 Fab am Ende der Kalibrier-Routine den Kalibrierfaktor auf Plausibilität:... -
Seite 93: Fehler- Und Warnmeldungen
B dass eine Kalibrierung erforderlich ist oder dass der Zeitraum zur nächsten Wartung verstrichen ist). Der UL1000 und UL1000 Fab zeigt eine Meldung auf dem LC Display an und verbleibt im Standby-Modus oder im Messmodus. Die Warnungsmeldungen werden so lange auf dem Display angezeigt, bis diese durch die Betätigung von OK (Taste Nr. -
Seite 94: Liste Der Fehler- Und Warnmeldungen
Liste der Fehler- und Warnmeldungen Auf den nachstehenden Seiten wird eine Liste aller Fehlermeldungen und Warnungsmeldungen aufgeführt. Warnungsmeldungen beginnen mit dem Buch- staben W gefolgt von einer Nummer. Fehlermeldungen (Errors) beginnen mit dem Buchstaben E gefolgt von einer Nummer. Angezeigte Meldung Beschreibung und mögliche Fehlerursachenbehebung E04 Temperaturüberwachung Kurzschluss im Temperatursensor... - Seite 95 Sicherung F1 auf der MSV Platine ist durchgebrannt. • 24 V Stromversorgungsspannung fehlt. Den UL1000 und UL1000 Fab ausschalten! Die fehlende Spannung führt dazu, dass das Auspuffventil der Drehschieberpumpe schließt, was wiederum zu einer Verunreinigung des Vakuumsystems führen kann.
- Seite 96 W45 Emission der Kathode 1 kann Signal MSIBE auf der MSV Platine ist nicht aktiv. Die Emission für Kathode nicht eingeschaltet werden. 1 kann nicht eingeschaltet werden. Der UL1000 und UL1000 Fab schaltet auf Kathode 2. Neue Ionenquelle bestellen. W46 Emission der Kathode 2 kann Signal MSIBE auf der MSV Platine ist nicht aktiv.
- Seite 97 Die Werkseinstellung ist 1,0 mbar. Siehe Kapitel 6.6.1.3. E73 Emission aus (P zu hoch) PV >> 0.2 oder 3 mbar wegen Lufteinbruch, d.h. der UL1000 und UL1000 Fab wird versuchen, wieder in den Messmodus zu gelangen. W76 Maximale „Evakuierungs- •...
- Seite 98 Angezeigte Meldung Beschreibung und mögliche Fehlerursachenbehebung W83 Alle EEPROM-Parameter • EEPROM auf Verdrahtungsebene ist leer und wurde mit Default- verloren! Bitte überprüfen Sie Werten initialisiert. Alle Parameter müssen erneut eingegeben werden. die Einstellungen! • Falls die Warnung nach dem Wiedereinschalten erneut auftritt, so ist vermutlich das EEPROM auf Verdrahtungsebene defekt.
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Seite 99: Wartungsarbeiten
Wartungsarbeiten Allgemeine Hinweise Wartungsarbeiten der Servicestufe II und III für den UL1000/UL1000 Fab/UL1000, dürfen nur von Personen ausgeführt werden, die von der INFICON GmbH Köln dazu autorisiert wurden. Beachten Sie hierzu die entsprechenden Servicestufen im Wartungsplan: • Servicestufe I Kunde •... -
Seite 100: Wartung Oder Service Bei Inficon
Wartung oder Service bei INFICON Falls Sie ein Gerät an INFICON zur Reparatur oder Wartung schicken, geben Sie an, ob das Gerät frei von gesundheitsgefährdenden Schadstoffen, oder kontaminiert ist. Wenn es kontaminiert ist, geben Sie die Art der Gefährdung an. Dazu müssen Sie ein von uns vorbereitetes Formular „Erklärung über Kontaminierung“... -
Seite 101: Wartungsplan
09.fm (1408) Technisches Handbuch Wartungsplan Baugruppe Wartungsarbeiten Betriebsstunden/Jahre Service- Ersatz- stufe UL1000 / UL1000 Fab 1500 4000 8000 16000 24000 teil Nr. Vakuumsystem Vorpumpe D16 B Ölstand kontrollieren, ggf. wechseln I u.II Öl wechseln 20099091 Vorpumpe überholen Scrollpumpe Agilent... -
Seite 102: Wartungsgruppen
Wartungsgruppen Der Wartungsplan für den UL1000/UL1000 Fab/UL1000 lässt sich zur einfacheren Übersicht in vier Wartungsgruppen untergliedern. • 1500 Stunden-Wartung • 4000 Stunden-Wartung, mindestens jährlich • 8000 Stunden-Wartung • 16000 Stunden-Wartung 9.5.1 1500 Stunden-Wartung Die 1500 Stunden-Wartung kann durch einen Bediener oder kundeneigenes Wartungspersonal durchgeführt werden. -
Seite 103: 8000 Stunden-Wartung
INFICON autorisierten Person durchgeführt werden. Für das Scrollmodul der Agilent Scrollpumpe ist nach Erreichen einer Betriebsdauer von 8000 Stunden ein Austausch der „Tip Seal“ durch einen INFICON Servicetech- niker vorzunehmen. Unterbleibt der Austausch der „Tip Seal“ muss nach 12000 Betriebsstunden, das Scrollmodul ersetzt werden. -
Seite 104: Hinweise Zur Wartung Der Splitflow
Mit Erreichen der 16000 Betriebsstunden, ist die Lebenserwartung der verschieden Vorpumpentypen erreicht. Das Scrollmodul der Agilent TS 620 muss getauscht werden und einer Generalüberholung unterzogen werden. Für die D16 B im UL1000 ist ebenfalls eine Generalüber-holung anzuraten. Durchzuführende Arbeiten Benötigte Materialien Best.-Nr. -
Seite 105: Öffnen Des Gerätes Zu Wartungszwecken
Öffnen des Gerätes zu Wartungszwecken Benötigtes Werkszeug Seitenwandtrenner aus Zubehör. Gefahr S TOP Vor dem Entfernen einer der Abdeckhauben vom UL1000/UL1000 Fab/UL1000 ist der Lecksucher vom Netz zu trennen! • Vakuumkomponenten die am Einlass des UL1000/UL1000 Fab/UL1000 montiert sind, vom Einlass-System trennen. -
Seite 106: Prüfen Und Austausch Des Luftfiltereinsatzes
Benötigtes Werkzeug Seitenwandtrenner aus Zubehör Benötigtes Material Ersatzfiltereinsatz P/N 200 000 685 Gefahr S TOP Vor dem Entfernen einer der Abdeckhauben vom UL1000/UL1000 Fab/UL1000 ist der Lecksucher vom Netz zu trennen! • Zum Öffnen des Lecksuchers siehe 9.5.7 • Greifen Sie den Filtereinsatz mit zwei Fingern an den in Abb. -
Seite 107: Auspuff-Schalldämpfer Ersetzen
Filtereinsatzes muss in Richtung der Lüfter weisen. • Filtereinsatz in Führung einschieben und Abdeckhauben wieder einsetzen Zum Verschließen des Gerätes Abdeckhauben einsetzen und andrücken. Auspuff-Schalldämpfer ersetzen Benötigtes Material Ersatz Schalldämpfer P/N 200 99 183 • Lecksuchgerät UL1000 Fab ausschalten. Wartungsarbeiten... - Seite 108 • Schalldämpfer vom Anschlussadapter abschrauben und durch neuen Schalldämpfer ersetzen und festziehen. Sieher hierzu Abb. 9-3/1. Abb. 9-3 Schalldämpfer austauschen Pos. Bezeichnung Pos. Bezeichnung Schalldämpfer Reduzierstück Adapter für Schalldämpfer Zentrierring DN 25 O-Ring 20 x 3 Spannring Clip Wartungsarbeiten...
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Seite 109: Auspuff Filter Kontrollieren/Entleeren
• Gerät abschalten und seitliche Abdeckhauben entfernen. Siehe hierzu 9.5.7. Gefahr S TOP Vor dem Entfernen einer der Abdeckhauben am UL1000, ist der Lecksucher vom Netz zu trennen! • Sechskantschraube an der Unterseite des Vorratsbehälters lösen und Öl in ein geeignetes Gefäß... - Seite 110 Abb. 9-4 Einbauposition Auspuff-Filter Pos. Beschreibung Pos. Beschreibung Spannring KF 16 Ölstandsmarke Maximum Filtereinsatz Ölstandsschauglas Ölvorratsbehälter Ölstandsmarke Maximum Für den Austausch des Filtereinsatzes gehen Sie wie folgt vor: • Lockern Sie den Spannring am Auspuff-Filter (Abb. 9-4/1) und schwenken den kompletten Filter in Pfeilrichtung soweit nach aussen, das der Ölvorratsbehälter abgenommen werden kann.
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Seite 111: Ölstand D16 B Überwachen, Ergänzen
Als vorbeugende Maßnahme wird empfohlen, den Ölstand und die Verfärbung des Pumpenöls monatlich zu überwachen. Zum Öffnen des Gerätes folgen Sie bitte den Anweisungen unter 9.5.7. Gefahr S TOP Vor dem Entfernen einer der Abdeckhauben vom UL1000, ist der Lecksucher vom Netz zu trennen! Benötigtes Werkzeug Seitenwandtrenner Wartungsarbeiten... -
Seite 112: Ölwechsel D16B
Durch das Ölschauglas der Vorpumpe D16 B kann der Ölstand und die Ölverfärbung visuell kontrolliert werden. Der Ölstand der Vakuumpumpe muss innerhalb der Min- und Max. Markierungen liegen. Siehe hierzu Abb. 9-6/3-5. Hinweis: Öl nur bei abgeschalteter Pumpe kontrollieren und nachfüllen! Abb. - Seite 113 Weitere Ölwechsel sollen vor oder nach längerer Lagerung der Pumpe durchgeführt werden. Vorsicht Den Ölwechsel immer bei betriebswarmer und abgeschalter Vakuum-pumpe vornehmen! Benötigtes Werkzeug Seitenwandtrenner Innensechskantschlüssel SW 5 mm; 8 mm Maulschlüssel SW13 mm Benötigtes Material Artic Öl 1 l. P/N 200 99 091 •...
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Seite 114: Scrollpumpe (Nur Ul1000/Ul1000 Fab)
9.11 Scrollpumpe (nur UL1000/UL1000 Fab) Die Wartungsintervalle der Scrollpumpe (Agilent TS620) entnehmen Sie dem Wartungsplan in 9.4. Die Wartung der Scrollpumpe sollte ausschließlich durch den INFICON Service oder einem von INFICON autorisierten Servicepartner durchgeführt werden. Wartungsarbeiten... -
Seite 115: Diagramm
Appendix Diagramm Abb. 10-1 Appendix... -
Seite 116: Konformitätserklärung
Konformitätserklärung Konformitätserklärung... -
Seite 117: Index
Index Abmessungen Helium Leckrate Accessories Hochlauf Alarm Hochlaufzeit Audioalarm Auslieferungszustand I CAL Auspuff INFICON Service Auspuff-Filter Informationen Automatische interne Kalibrierung Installation Ionenquelle Bedieneinheit Belüftung Kalibrierung Kalibrierung, extern Datum/Uhrzeit Kontrast Digitalausgang Digitalausgang (OUT) Lagerungstemperatur Digitaleingang Lautsprecher Druck Lautstärke Leak Ware Einheiten Leckrate Einlaßdruck... - Seite 118 Purge/Gas Ballast Testleck Transport Trend Modus QT 100 Trigger Trigger alarm Turbomolekularpumpe Relaisausgang Turbopumpe RS232 ULTRA Saugvermögen Umgebungstemperatur Schalldruckpegel Untergrund Schallleistungspegel Schnüffelleitung Schnüffelmodus Vakuum Diagramm Schreiber Vakuummodus Schreiber (Recorder) Ventile Schutzart Verseuchungsschutz Servicezentrum Verwendungszweck Setpoint Vorvakuumpumpe Sicherheitssymbole Sprache Spülgas/Gasballast Zeitachse START Taste ZERO Taste Startup...
- Seite 119 INFICON GmbH, Bonner Strasse 498, D-50968 Cologne, Germany UNITED STATES TAIWAN JAPAN KOREA SINGAPORE GERMANY FRANCE UNITED KINGDOM HONG KONG Vi s i t o ur w eb s i t e f o r c on ta c t i nf o rma t i on an d o t he r s al es of f i c e s w or l dwi de . w w w. i n fi c o n . com...