Inhaltsverzeichnis
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7.3
Wartungsplan
Baugruppe
Vakuumsystem
Ventilblock
Ventile reinigen, Ventildichtungen ersetzen
Ventilblock zerlegen u. reinigen
Filter Flutgasleitung erneuern
Pirani abgleichen
Internes Testleck nachkalibrieren
TMH 071
Betriebsmittelspeicher tauschen
Lagerwechsel (empfohlen)
Elektrik
Lüfterbaugruppen Filtereinsätze Chassishaube austauschen
Lüfter Chassis u. Turbopumpe reinigen
Legende zum Wartungsplan
7.4
Wartungsintervalle
1500 Std.-Wartung
Wartungsarbeiten
Modul1000
•
I
Servicestufe I
•
II
Servicestufe II
•
III
Servicestufe III
•
X
Wartungsarbeiten durchführen nach Betriebsstunden oder Zeitdauer
•
X
Wartungsarbeiten durchführen nach Betriebsstunden
1
•
X
Wartungsarbeiten durchführen nach Zeitdauer
2
•
1
von Umwelt und Einsatz abhängig
•
2
Prozessabhängig
Der Wartungsplan für das Modul1000 lässt sich zur einfacheren Übersicht in drei
Wartungsgruppen untergliedern.
•
1500 Std.-Wartung
•
5000 Std.-Wartung
•
2 Jahres Wartung
Die 1500 Std.-Wartung kann durch einen Bediener oder kundeneigenes Wartungs-
personal durchgeführt werden. Die Wartungsintervalle lassen sich den Umgebungs-
bedingungen des Gerätes anpassen und sind variabel.
Falls gewünscht, kann das Wartungsintervall abgeschaltet werden.
Betriebsstunden/Jahre
1500
5000 15000
1/4
1
2
X
1
X
1
1
X
1
X
X
2
X
2
1
X
1
1
X
1
Kunde
Kunde mit INFICON Training
autorisierter INFICON Servicetechniker
Service-
Ersatz-
stufe
teil Nr.
3
III
200000594
III
200002002
I, II,III
200000683
III
I, II u. III
200000577
X
III
2
I
200001552
I
7-3
Wartungsarbeiten
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