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Vorpumpe
7-2
Wartungsarbeiten
Vorsicht
Für Arbeiten am Vakuumsystem achten Sie auf eine saubere Umgebung und
benutzen Sie sauberes Werkzeug.
Gefahr
S TOP
Für alle Wartungsarbeiten die am Modul1000 durchgeführt werden, ist das
Dichtheitsprüfgerät vom Netz zu trennen!
Das Modul1000 verfügt über 3 unabhängig voneinander ablaufende Wartungszäh-
ler. Im einzelnen:
1
Wartungszähler für Luftfilter.
Als Defaulteinstellung sind 1500 Betriebstunden eingestellt. Der Wartungszähler
kann variiert oder abgeschaltet werden. Er lässt sich somit den Betriebsbedingungen
des Gerätes anpassen.
2
Wartungszähler 5000 Betriebstunden.
Dient der Revision und Reinigung von Ventilantrieben und Ventilblock.
3
Wartungszähler 2 Jahre
Dient der Wartung der Turbomolekularpumpe TMH 071.
Das Erreichen eines der vorstehenden Wartungsintervalle wird auf der Bedieneinheit
vom Modul1000 nach jedem Einschalten als Warnung angezeigt. Die Meldung wird
solange generiert, bis das Wartungsintervall quittiert wurde. Der Wartungszähler 2
ist nur für die Quittierung der Servicestufen II und III im Servicemenü freigegeben.
Hinweis Die Einhaltung des nachstehend aufgeführten Wartungsplanes ist
vorgeschrieben für den Fall, dass Gewährleistungsansprüche zum
Modul1000 geltend gemacht werden. Für den Fall, dass entsprechende
Wartungsarbeiten nicht durchgeführt wurden, erlischt der Anspruch auf
Gewährleistungen für diese Baugruppen.
Die Vorpumpe ist nicht im Lieferumfang des Gerätes enthalten. Für die Wartung der
Vorpumpe gelten deshalb die vom Hersteller der Vorpumpe vorgeschriebenen
Wartungsintervalle und Hinweise.
Schäden am Modul1000 die eindeutig auf ein Fehlverhalten der Vorpumpe zurück-
zuführen sind, können nicht auf Gewährleistung geltend gemacht werden.
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