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Durchzuführende Arbeiten
Ventilantriebe reinigen, Ventil-
dichtungen u. Ventilkappen
erneuern (5000 Std.)
Flutfilter prüfen/ersetzen (5000/
15000 Std.)
Ventilblock komplett reinigen
(15000 Std.)
Internes Testleck nachkalibrieren
(jährlich empfohlen)
Prüfung und Neuabgleich Pirani-
sensoren (15000 Std)
2-jährige Wartung
Betriebsmittelspeicher TMH 071
Die 2-jährige Wartung des Betriebsmittelspeichers der Turbomolekularpumpe TMH
071 sollte von einem INFICON Servicetechniker oder einer von INFICON autorisier-
ten Person durchgeführt werden. Kunden die ein entsprechende Einweisung von
einer autorisierten Person erhalten haben, können diese Wartung in Eigenverant-
wortung durchführen.
Der Betriebsmittelspeicher der Turbomolekularpumpe TMH 071 muss unabhängig
von der erreichten Betriebsstundenzahl nach Ablauf von 2 Jahren ausgetauscht
werden. Für den Austausch des Betriebsmittel-speichers folgen Sie bitte den Anwei-
sungen in Kapitel 7.6.
Durchzuführende Arbeiten
Betriebsmittelspeicher
TMH 071erneuern
Benötigte Materialien
•
Dichtungssatz Ventile
•
Ersatzfilter für Flutgasleitung 200000683
•
Dichtungssatz
Nachweissystem kompl.
Benötigte Materialien
•
Betriebsmittelspeicher für
TMH 071
Wartungsarbeiten
Best.-Nr.
200000594
200002002
Best.-Nr.
200000577
7-5
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