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INFICON Modul1000 Originalbetriebsanleitung Seite 112

Modulares dichtheitsprüfgerät
Inhaltsverzeichnis

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Nr.
Angezeigte Meldung
Temperatur an der
E54
Elektronikbaugruppe ist zu
hoch! (60°C)
Temperatur an der
W55
Elektronikbaugruppe ist zu klein
(<2°C).
E56
Einlassdruck p1 zu niedrig!
E58
Vorvakuumdruck p2 zu niedrig!
p2>10 mbar nach 5 Minuten seit
E60
dem Einschalten.
E61
Emission fehlerhaft.
Fluss durch Kapillare zu klein!
W62
Lecks können unter Umständen
nicht detektiert werden.
E63
Kapillare gebrochen
10-5
Fehlermeldungen und Warnungen
Beschreibung und mögliche Fehlerursachenbehebung
Die Umgebungstemperatur ist zu hoch.
Ungünstige Platzierung Dichtheitsprüfgerät. (Wärmestau)
Lüfter ausgefallen.
Luftfilter stark verschmutzt.
Temperatursensor defekt.
Der Temperatursensor auf der Verdrahtungsebene zeigt an, dass T < 2 °C.
Längere Hochlaufzeit der ext. Vorvakuumpumpe beachten!
Umgebungstemperatur zu niedrig
Temperatursensor ist defekt.
Ausgangsspannung Pirani p1 U < 0,27 V.
Pirani Sensor p1 defekt.
Piranielektronik auf I/O Karte defekt.
Kabelverbindung defekt.
Ausgangsspannung Pirani p2 U < 0.27 V;
Pirani Sensor p1 defekt.
Piranielektronik auf I/O Karte defekt.
Kabelverbindung defekt.
p2 > 10 mbar nach t > 5 Minuten nach Einschalten des Dichtheitsprüfgeräts.
Enddruck der Vorvakuumpumpe zu hoch.
Undichtigkeit im Hochvakuumsystem oder Vorvakuumanschluss.
Vorpumpe ist defekt.
Ventil V2 öffnet sich nicht, da Drehzahl von 6Hz für TMh 071 nicht überschritten
wird.
Druckmessung fehlerhaft
Emission sollte eingeschaltet werden. MSV Baugruppe signalisiert einen Fehler.
MENB Emissionsstrom außerhalb des zulässigen Bereiches.
Beide Katoden defekt. Ionenquelle ersetzen.
Ionenquellenstecker nicht gesteckt.
MSV Karte defekt
Im Schnüffelmodus wird der Einlassdruck der Schnüffelleitung überwacht. Fällt
der Druck unter einen Minimalwert, ist der Durchfluss durch die Kapillare zu
gering. Der Minimalwert kann über das Menü in bestimmten Grenzen eingestellt
werden. Die Werkseinstellung ist 0,5 mbar.
Filter in Filterspitze blockiert
Sinterfilter in Filterspitze verschmutzt.
Kapillare durch Schmutzeintrag blockiert.
Untere Druckgrenze zu hoch.
Im Schnüffelmodus wird der Einlassdruck der Schüffelleitung überwacht.
Überschreitet der Druck ein vorgegebenes Maximum, ist der Gasdurchfluss durch
die Kapillare zu hoch. Der maximale Druck kann über das Menü in bestimmten
Grenzen eingestellt werden. Die Werkseinstellung ist 2,0 mbar.
Kapillare gebrochen oder abgerissen
Obere Druckgrenze ist zu niedrig.

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