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INFICON
8.8 Wartungsplan
Baugruppe
Wartungsarbeiten
Vakuum System
Scrollpumpe
Tip-Seal austauschen
Agilent TS620
Scrollkopf austauschen
SplitFlow 80
Betriebsmittelspeicher
tauschen
Lagerwechsel
Ventilblock
Ventile reinigen,
Ventildichtungen ersetzen
Ventilblock zerlegen u.
reinigen
Filter Flut- Spülgasleitung
erneuern
Auspuff-Filter
kontrollieren, entleeren
UL3000
Filtereinsatz ersetzen
Elektrik
Lüfter-
Lüfter Chassis und TMP
Baugruppen
ausblasen
Luftfilter-Kit prüfen und bei
Bedarf austauschen
UL3000-Fab-Betriebsanleitung-iina73de1-08-(1910)
Betriebsstunden / Jahre
1500
1/4
X
1
1
Legende zum Wartungsplan:
• I Servicestufe I Kunde
• II Servicestufe II Kunde mit technischer Ausbildung
• III Servicestufe III autorisierter INFICON Servicetechniker
• X Wartungsarbeiten durchführen nach Betriebsstunden oder Zeitdauer
• X
keine zeitliche Begrenzung nur Betriebsstunden
1
• X
Wartungsarbeiten durchführen nach Zeitdauer
2
• 1 von Umwelt und Einsatz abhängig
• 2 Abhängig von Verschmutzung
4000
8000
16000 24000
1
2
3
X
X
1
1
X
1
X
2
2
X
X
2
X
1
X
X
1
1
X
X
X
X
X
1
1
X
X
X
1
1
1
X
X
X
1
1
1
Reinigung und Wartung | 8
Service
Ersatzteil-
-stufe
nummer
4
X
III
200001671
1
III
200001665R
II, III
200003801
X
III
2
X
III
200007630
2
III
X
II, III
200000683
1
200001095
X
II, III
X
II, III
200000694
1
X
II
1
X
I
200007656
1
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