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INFICON UL3000 Fab Originalbetriebsanleitung
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INFICON UL3000 Fab Originalbetriebsanleitung

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Original-Betriebsanleitung
UL3000 Fab, UL3000 Fab PLUS
Helium-Dichtheitsprüfgerät mit ULTRATEST
Katalognummern
550-200, 550-250
Ab Software-Version
1.41
™
Sensor-Technologie
iina73de1-08-(1910)

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Verwandte Anleitungen für INFICON UL3000 Fab

Inhaltszusammenfassung für INFICON UL3000 Fab

  • Seite 1 Original-Betriebsanleitung UL3000 Fab, UL3000 Fab PLUS ™ Helium-Dichtheitsprüfgerät mit ULTRATEST Sensor-Technologie Katalognummern 550-200, 550-250 Ab Software-Version iina73de1-08-(1910) 1.41...
  • Seite 2 INFICON GmbH Bonner Straße 498 50968 Köln, Deutschland...

  • Seite 3: Inhaltsverzeichnis

    INFICON Inhaltsverzeichnis Inhaltsverzeichnis 1 Über diese Anleitung ............................ 8 1.1 Zielgruppen............................... 8 1.2 Warnhinweise ............................ 8 1.3 Begriffsdefinitionen ........................... 9 2 Sicherheit................................ 12 2.1 Bestimmungsgemäße Verwendung...................... 12 2.2 Anforderungen an den Betreiber ...................... 13 2.3 Pflichten des Bedieners .......................... 13 2.4 Gefahren.............................. 14 3 Lieferumfang, Transport, Lagerung ........................ 15 4 Beschreibung.............................. 18 4.1 Funktion .............................. 18...
  • Seite 4 Inhaltsverzeichnis INFICON 4.4 Technische Daten........................... 33 4.5 Werkseinstellungen .......................... 34 5 Installation .............................. 39 5.1 Aufstellen .............................. 39 5.2 Mitgeliefertes Zubehör anschließen...................... 42 5.3 Halterung für Schnüffelleitung SL3000 befestigen (Zubehör, optional) .......... 47 5.4 An das Stromnetz anschließen....................... 48 5.5 Funktion des Geräts prüfen ........................ 48 6 Betrieb ................................ 51 6.1 Einschalten ............................. 51...
  • Seite 5 6.3.11 Belüften, Spülen, Regenerieren.................... 74 6.3.12 Leckratenfilter ändern .........................  75 6.3.13 Untergrundunterdrückung ändern.................... 75 6.3.13.1 Untergrund des Einlassbereichs bestimmen.............. 77 6.3.14 SL3000-Einstellungen für Ton/Licht ändern (nur UL3000 Fab PLUS)........ 77 6.3.15 Drucküberwachung der Schnüffelleitung ändern ................  78 6.3.16 Kalibrieren...........................  78 6.3.16.1 Intern kalibrieren ........................ 79 6.3.16.2 Extern Kalibrieren....................... 79...
  • Seite 6 6.7.5 Informationen über Baugruppen aufrufen ...................  86 6.7.6 Informationen zu Energiedaten aufrufen.................. 87 6.7.7 Informationen zu HYDRO•S aufrufen (nur UL3000 Fab PLUS) .......... 87 6.7.8 Informationen zur SL3000 Schnüffelleitung aufrufen (nur UL3000 Fab PLUS) ...... 87 6.8 Protokolle.............................. 88 6.8.1 Fehler- und Warnungsprotokoll aufrufen .................. 88 6.8.2 Kalibrierprotokoll aufrufen ......................
  • Seite 7 INFICON Inhaltsverzeichnis 10 Zubehör und Schnittstellen........................... 122 10.1 Zubehör und Ersatzteile........................ 122 10.2 I/O-Modul .............................. 127 10.2.1 Verbindung zwischen Gerät und I/O-Modul herstellen .............  127 10.2.2 Analoge Ausgänge konfigurieren.................... 127 10.2.3 Digitale Eingänge konfigurieren .................... 129 10.2.4 Digitale Ausgänge konfigurieren .................... 130 10.2.5 I/O-Modul-Protokoll einrichten .................... 133 10.3 Bus-Modul............................. 133...

  • Seite 8: Über Diese Anleitung

    1 | Über diese Anleitung INFICON 1 Über diese Anleitung Dieses Dokument gilt für die auf der Titelseite angegebene Softwareversion. Im Dokument werden unter Umständen Produktnamen erwähnt, die lediglich zu Identifizierungszwecken angegeben werden und Eigentum der entsprechenden Rechteinhaber sind. 1.1 Zielgruppen Diese Betriebsanleitung richtet sich an Betreiber des Geräts und an technisch...

  • Seite 9: Begriffsdefinitionen

    INFICON Über diese Anleitung | 1 1.3 Begriffsdefinitionen Erwähnung von Helium im Handbuch Das Gerät ist ein Helium-Dichtheitsprüfgerät. Falls Sie statt Helium Formiergas einsetzen, um den darin enthaltenen Wasserstoff nachzuweisen, gelten die Hinweise zu Helium auch für Wasserstoff. Automatische Abstimmung / Masseneinstellung Diese Funktion stellt das Massenspektrometer so ein, dass eine maximale Leckratenanzeige erreicht wird.
  • Seite 10 1 | Über diese Anleitung INFICON Um dieses Untergrundsignal auszublenden, ist die interne “Untergrundunterdrückung“ per Werkseinstellung aktiviert. Bei Drücken der Taste START wird das aktuell bestimmte interne Messsignal als Heliumuntergrund gewertet und vom Messsignal abgezogen. Falls der Lecksucher sich noch keine 20 Sekunden im Zustand “Standby“...
  • Seite 11 INFICON Über diese Anleitung | 1 ZERO Es gibt Helium, das während einer Messung als natürlicher Bestandteil der Umgebungsluft z. B. an der Oberfläche eines Prüfkörpers schwach gebunden ist und nach und nach in das Messsystem des Dichtheitsprüfgeräts gepumpt wird. Es erzeugt ein langsam fallendes Messsignal.

  • Seite 12: Sicherheit

    2 | Sicherheit INFICON 2 Sicherheit 2.1 Bestimmungsgemäße Verwendung Das Gerät ist ein Dichtheitsprüfgerät zum Erkennen und Messen von Lecks in Prüfobjekten. Das Gerät ist für die Dichtheitsprüfung nach der Vakuummethode und der Schnüffelmethode geeignet. • Betreiben Sie das Gerät ausschließlich gemäß dieser Betriebsanleitung.

  • Seite 13: Anforderungen An Den Betreiber

    INFICON Sicherheit | 2 • Betrieb ohne Abgasleitung in schlecht belüfteten Räumen, abhängig von der Art der verwendeten Gase Hinweis: Diese Einrichtung ist nicht dafür vorgesehen, in Wohnbereichen verwendet zu werden und kann einen angemessenen Schutz des Funkempfangs in solchen Umgebungen nicht sicherstellen.

  • Seite 14: Gefahren

    2 | Sicherheit INFICON 2.4 Gefahren Das Gerät ist nach dem Stand der Technik und den anerkannten sicherheitstechnischen Regeln gebaut. Dennoch sind bei unsachgemäßer Verwendung Gefahren für Leib und Leben des Nutzers oder Dritter bzw. Schäden am Gerät und weitere Sachschäden möglich.

  • Seite 15: Lieferumfang, Transport, Lagerung

    Auspackanleitung Prüfzeugnis Prüfleck Prüfzeugnis Dichtheitsprüfgerät Information zur Vorvakuumpumpe (Scrollpumpe) Informationen zur Turbopumpe Schlüssel T25 (Torx, nur UL3000 Fab PLUS) Halter für Wellschlauch (nur UL3000 Fab PLUS) Kantenschutz für Halter (nur UL3000 Fab PLUS) Selbstformende Schrauben (nur UL3000 Fab PLUS) Ferner 2 Schlüssel zum Öffnen der Werkzeugklappe unter dem Handgriff.
  • Seite 16 3 | Lieferumfang, Transport, Lagerung INFICON 3) Falls der optional erhältliche Flaschenhalter montiert wurde, können Zugentlastung Netzleitung und die Haken nicht mehr am Gerät direkt befestigt werden. Um die Zugentlastung Netzleitung und die Haken am Flaschenhalter sichern zu können, sind dazu 5 Muttern und 5 Sicherungsscheiben aus dem Lieferumfang vorgesehen.
  • Seite 17 INFICON Lieferumfang, Transport, Lagerung | 3 HINWEIS Sachschäden bei falscher Transportverpackung Transport über größere Entfernung ► Bewahren Sie die Originalverpackung auf. ► Transportieren Sie das Gerät nur in der Originalverpackung. ► Arretieren Sie die Laufrollen nicht. Lagerung Lagern Sie das Gerät unter Beachtung der technischen Daten, siehe “Technische Daten“.

  • Seite 18: Beschreibung

    Lecks Helium, mit dem der Prüfkörper angesprüht wird, in diesen eindringen. Im Dichtheitsprüfgerät wird Helium dann mit Hilfe eines Massenspektrometers nachgewiesen. HYDRO•S (nur UL3000 Fab PLUS) In der Betriebsart “Vakuum“ besteht die Möglichkeit, HYDRO•S zu nutzen. HYDRO•S reduziert bei Verwendung großer Prüfobjekte die Zeit bis zur Messbereitschaft.

  • Seite 19: Betriebsart "Schnüffeln

    4.2.2 Betriebsart "Schnüffeln" Um Prüfobjekte unter Überdruck mit einer Schnüffelsonde absuchen zu können, können Sie die Schnüffelleitung SL200 anschließen. Falls Sie über einen UL3000 Fab PLUS verfügen, können Sie statt der Schnüffelleitung SL200 auch die Schnüffelleitung SL3000 anschließen. SL200 Der Vakuumanschluss der Schnüffelleitung SL200 wird an der Oberseite des Geräts an den Einlassflansch angeschlossen.

  • Seite 20: Betriebsart "Auto Leak Test

    4 | Beschreibung INFICON Fehler über Tasten am Schnüffelhandgriff bestätigen Standby über Taste am Schnüffelhandgriff beenden Kalibrieren über Taste am Schnüffelhandgriff bestätigen 4.2.3 Betriebsart "Auto Leak Test" In diesem Modus können Sie Prüfungen an hermetisch verschlossenen Bauteilen mit automatisiertem Ablauf durchführen. Wenn die optionale Testkammer TC1000 verwendet wird, startet die Prüfung beim Schließen des Deckels automatisch.

  • Seite 21: Geräteaufbau

    INFICON Beschreibung | 4 4.3 Geräteaufbau 4.3.1 Gesamtgerät Abb. 1: Ansicht von vorne UL3000-Fab-Betriebsanleitung-iina73de1-08-(1910) 21 / 148...
  • Seite 22 4 | Beschreibung INFICON Abb. 2: Ansicht von vorne mit geöffneter Klappe. Die abgebildete Fernbedienung RC1000 ist optional erhältlich. 22 / 148 UL3000-Fab-Betriebsanleitung-iina73de1-08-(1910)
  • Seite 23 INFICON Beschreibung | 4 Abb. 3: Ansicht von hinten. Die Abbildung zeigt mitgeliefertes und optionales Zubehör. UL3000-Fab-Betriebsanleitung-iina73de1-08-(1910) 23 / 148...

  • Seite 24: Bedieneinheit

    4 | Beschreibung INFICON 4.3.2 Bedieneinheit Abb. 4: Bedieneinheit - Ansicht von vorne Die Bedieneinheit besteht aus einem Touchscreen und einem Bedienfeld mit den Tasten START, STOP und ZERO (Untergrundunterdrückung) auf dem Gehäuse. Siehe auch “Aufbau des Touchscreens [} 28]“, siehe auch “Taste START [} 25]“.

  • Seite 25: Taste Start

    INFICON Beschreibung | 4 USB 2.0 Schnittstellen Zum Einstecken eines USB-Speichersticks mit Update-Informationen, siehe “Software aktualisieren [} 90]“. Zum Einstecken eines USB-Speichersticks zum Kopieren von Messdaten, siehe “Messdaten [} 82]“. Zum Einstecken eines WLAN USB-Adapters für eine WLAN-Verbindung, siehe “Dichtheitsprüfgerät über Webbrowser bedienen (WLAN) [} 136]“.

  • Seite 26: Taste Zero

    4 | Beschreibung INFICON Funktion Touchscreen Bedienfeld Stop Taste STOP Belüften Drücken Sie die Taste STOP erneut und halten Sie sie für ca. 2 Sekunden fest. (Voraussetzung ist die Einstellung “Belüftungs- Modus“ “Manuell“, siehe “Vakuumbereiche aktivieren [} 68]“.) 4.3.2.3 Taste ZERO •...

  • Seite 27: Bedeutung Der Tasten-Leds

    INFICON Beschreibung | 4 Sehen Sie dazu auch 2 Vakuumbereiche aktivieren [} 68] 4.3.2.4 Bedeutung der Tasten-LEDs LED Taste START LED Taste STOP Bedeutung Rot blinkend Keine Verbindung zur Bedienungseinheit Blau pulsierend Blau pulsierend Hochlauf Grün Standby belüftet (Belüftungsventil geöffnet) Blau-Grün Standby abgepumpt (Belüftungsventil geschlossen)

  • Seite 28: Aufbau Des Touchscreens

    Supervisor Messwert Einlassdruck ZERO Schwellenwerte ZERO Umschaltung: Liniendiagramm Balkendiagramm ULTRA Kreisdiagramm ZERO Navigationstaste Kalibrieren Diagnose Lautstärke Navigationstaste HYDRO•S Informationen Messmodus (UL3000 Fab PLUS) Navigationstasten Die Tasten können in fünf unterschiedlichen Farben erscheinen: • Grau: Funktion gesperrt 28 / 148 UL3000-Fab-Betriebsanleitung-iina73de1-08-(1910)
  • Seite 29 INFICON Beschreibung | 4 • Dunkelblau: Funktion aktivierbar • Hellblau: Funktion aktiv • Rot: Fehler aktiv (Navigationstaste Diagnose) • Orange: Warnung aktiv (Navigationstaste Diagnose) Einstellungen Betrieb Informationen Diagnose Tab. 1: Navigationstasten Funktionstasten Die Tasten können in drei unterschiedlichen Farben erscheinen: • Grau: Funktion gesperrt •...

  • Seite 30: Vakuumanschlüsse

    4 | Beschreibung INFICON 4.3.3 Vakuumanschlüsse 4.3.3.1 Einlass Der Einlass befindet sich oben auf dem Gerät. Es handelt sich hierbei um einen DN 25 KF Flansch. Wenn Sie den Vakuum-Leckprüfmodus auswählen, dann schließen Sie das Prüfobjekt oder die Vakuumkammer an diesem Flansch an.

  • Seite 31: Anschluss Spülgas

    INFICON Beschreibung | 4 4.3.3.3 Anschluss Spülgas Auf der Rückseite des Geräts befindet sich der Anschluss für Spülgas, siehe “Anschlüsse für Zubehör und Steuersignale [} 32]“. Es handelt sich um einen Schnellanschluss für Schläuche mit einem Außendurchmesser von 8 mm. Verwenden Sie zum Spülen ein heliumfreies Gas bei Atmosphärendruck. Die Umgebungsluft kann aufgrund von Sprühen oder Auffüllen von Behältern mit größeren...

  • Seite 32: Anschlüsse Für Zubehör Und Steuersignale

    Anschluss des Funktransmitters über einen Adapter. Die Fernbedienung ist nicht im Standard-Lieferumfang des Geräts enthalten. SERVICE Anschluss ausschließlich für den Service Anschluss für Netzkabel Zur Stromversorgung des UL3000 Fab / UL3000 Fab Plus Belüftungsanschluss Für Schläuche mit einem Außendurchmesser von 14 mm, siehe auch “Belüftungsanschluss [} 31]“ Anschluss Spülgas Für Schläuche mit einem Außendurchmesser von 8 mm, siehe auch “Anschluss...

  • Seite 33: Kennzeichnungen Am Gerät

    Beschreibung | 4 4.3.5 Kennzeichnungen am Gerät Gerät darf nicht im Hausmüll entsorgt werden. 4.4 Technische Daten Mechanische Daten UL3000 Fab, UL3000 Fab PLUS Abmessungen (L x B x H) 1050 mm × 472 mm × 990 mm Gewicht 118 kg...

  • Seite 34: Physikalische Daten

    4 | Beschreibung INFICON Physikalische Daten UL3000 Fab, UL3000 Fab PLUS Kleinste nachweisbare Leckrate 5·10 mbar l/s Vakuumbetrieb Ansprechzeit < 1 s Maximaler Einlassdruck 1000 mbar Heliumsaugvermögen ULTRA 4 l/s Luftsaugvermögen am Einlass 25 m Messbare Massen He, H , Masse 3 (z. B. H-D,...
  • Seite 35 INFICON Beschreibung | 4 Automatisches Spülen Lautstärke ZERO-Modus I•ZERO 2.0 Kalibrieraufforderung TMP Belüftung An (nur durch Service änderbar) Schnittstellen-Leckrateneinheit mbar l/s Vakuumbetrieb Schnittstellen-Leckrateneinheit mbar l/s Schnüffelbetrieb Schnittstellen-Druckeinheit mbar TMP Drehzahl 1500 Hz (Änderung nicht möglich) Masse 4 (Helium) Protokoll an IO1000 RS232 Anschluss...
  • Seite 36 Leckrateneinheit Vakuumbetrieb (Anzeige) mbar l/s Leckrateneinheit Schnüffelbetrieb (Anzeige) mbar l/s Schnüffelleitung LED Alarmkonfiguration Blinken (nur SL3000 in Verbindung mit UL3000 Fab PLUS) Schnüffelleitung LED Helligkeit (nur SL3000 in Verbindung mit UL3000 Fab PLUS) Schnüffelleitung Summer (nur SL3000 in Ton bei Schwellenwert 1...
  • Seite 37 Prüfleck extern Schnüffeln Helium 1×10 mbar l/s Lokale Bedienung Freigegeben Uhrstil Analog Untergrund in Standby anzeigen Untere Leckraten-Grenze anheben Minimale Lautstärke HYDRO•S (nur UL3000 Fab PLUS) Deaktiviert Eingestelltes Wartungsintervall Filter Schnüffelspitze 1000 h Luftfilter 2500 h Eingestellter Nutzer Name Supervisor...
  • Seite 38 4 | Beschreibung INFICON Zeitachse 30 s Balkendiagramm Skalierung Logarithmisch Dekaden Automatische Skalierung Untere Diagrammgrenze 1×10 Kreisdiagramm Dekaden Automatische Skalierung Untere Diagrammgrenze 1×10 Datenaufzeichnung Exportformat CSV en Aktiv Exportiere Metadaten WLAN Name (SSID) UL3xxx Netzwerkschlüssel INFICONUL Aktivieren Methode 38 / 148...

  • Seite 39: Installation

    INFICON Installation | 5 5 Installation 5.1 Aufstellen • Um Messergebnisse nicht zu verfälschen, sehen Sie einen Standort mit möglichst gleichbleibender Raumtemperatur für das Gerät vor. • Um die Abluftöffnungen auf der Geräteunterseite nicht zu blockieren, stellen sie das Gerät mit den Füßen auf eine feste und ebene Stellfläche.
  • Seite 40 5 | Installation INFICON VORSICHT Gefahr durch unkontrolliertes Wegrollen ► Um unkontrolliertes Wegrollen auf Schrägen zu vermeiden, fixieren Sie das Gerät durch Arretieren der vorderen Laufräder. VORSICHT Quetschgefahr für Extremitäten Füße können überrollt und gequetscht werden. ► Halten Sie Füße von den Rollen fern.
  • Seite 41 INFICON Installation | 5 HINWEIS Betriebssystem kann über USB oder Ethernet angegriffen werden Das im Dichtheitsprüfgerät verwendete Linux-Betriebssystem wird nicht automatisch aktualisiert und kann deshalb Sicherheitslücken enthalten. Über die Ethernet- und die USB-Schnittstellen des Dichtheitsprüfgerät können diese Sicherheitslücken möglicherweise ausgenutzt werden, um einen unbefugten Zugang zum System zu erhalten.

  • Seite 42: Mitgeliefertes Zubehör Anschließen

    5 | Installation INFICON 5.2 Mitgeliefertes Zubehör anschließen “Haken für Netzleitung und Schnüffelleitung“ montieren Lieferumfang (Anzahl): Haken (4), Schrauben M6 x 12 (4), Sicherungsscheiben S6 (4) Werkzeug (mitgeliefert): Schlüssel T30 (Torx) • Um die Netzleitung und bei Bedarf auch eine Schnüffelleitung am Gerät fixieren zu können, montieren Sie die Haken wie abgebildet am Gerät.
  • Seite 43 INFICON Installation | 5 Abb. 7: Haken am Gerät oder am optionalen Flaschenhalter UL3000-Fab-Betriebsanleitung-iina73de1-08-(1910) 43 / 148...

  • Seite 44: "Zugentlastung Netzleitung" Montieren

    5 | Installation INFICON “Zugentlastung Netzleitung“ montieren Anzahl: Zugentlastung Schraube M6 x 12 Sicherungsscheibe S6 Benötigtes Werkzeug (mitgeliefert) Schlüssel T30 (Torx) • Um Stolpergefahr zu vermeiden, montieren Sie die “Zugentlastung Netzleitung“ am Gerät. Dadurch wird die Netzleitung vom Gerät zum Boden geführt.

  • Seite 45: "Halter Für Wellschlauch" Montieren (Nur Ul3000 Fab Plus)

    INFICON Installation | 5 “Halter für Wellschlauch“ montieren (nur UL3000 Fab PLUS) Lieferumfang (Anzahl): Halter komplett (1), Schrauben M6 x 12 (3), Sicherungsscheiben S6 (3), Selbstformende Schrauben (2), Kantenschutz aus PVC- Profil (1) Werkzeug (mitgeliefert): Schlüssel T25 und T30 (Torx) Zur Fixierung eines Wellschlauchs zwischen Einlassflansch und Testkammer bzw.

  • Seite 46: Auspuffschlauchadapter Am Gerät Montieren

    5 | Installation INFICON Abb. 8: Der Wellschlauchhalter ist montiert. Auspuffschlauchadapter am Gerät montieren • Um Gase über einen Auspuffschlauch DN25 auszuleiten, montieren Sie den Auspuffschlauchadapter KF-Flansch DN25 aus dem Lieferumfang in der Auspufföffnung auf der Rückseite des Geräts. Drehen Sie den Adapter im Uhrzeigersinn fest.

  • Seite 47: Halterung Für Schnüffelleitung Sl3000 Befestigen (Zubehör, Optional)

    INFICON Installation | 5 5.3 Halterung für Schnüffelleitung SL3000 befestigen (Zubehör, optional) WARNUNG Verletzungsgefahr durch Schnüffelspitze Beim Stolpern, beispielsweise über Leitungen, kann die Schnüffelspitze insbesondere bei Augenkontakt schwere Verletzungen verursachen. ► Um Verletzungen durch die Schnüffelspitze auszuschließen, richten Sie die Schnüffelspitze in der Halterung so aus, dass Sie vom Bediener weg zeigt.

  • Seite 48: An Das Stromnetz Anschließen

    5 | Installation INFICON 5.4 An das Stromnetz anschließen WARNUNG Gefahr durch Stromschläge Nicht fachgerecht geerdete oder abgesicherte Produkte können im Störungsfall lebensgefährlich sein. Ein Einsatz des Geräts ohne angeschlossenen Schutzleiter ist nicht zulässig. ► Verwenden Sie ausschließlich das mitgelieferte 3-adrige Netzkabel.
  • Seite 49 INFICON Installation | 5 ð Nach dem Einschalten werden auf dem Touchscreen Statusinformationen zur Geschwindigkeit der Turbomolekularpumpe, dem Vorvakuumdruck, der Emission und der aktiven Kathode angezeigt. Der Startvorgang dauert ca. 3 Minuten und wird mit einem kurzen Signalton abgeschlossen. Nun befindet sich das Gerät im Zustand “Standby“...
  • Seite 50 5 | Installation INFICON Schalten Sie das Gerät über den Netzschalter aus. 50 / 148 UL3000-Fab-Betriebsanleitung-iina73de1-08-(1910)

  • Seite 51: Betrieb

    INFICON Betrieb | 6 6 Betrieb 6.1 Einschalten ► Um das Gerät einzuschalten, betätigen Sie den Netzschalter. ð Im Auslieferungszustand zeigt das Gerät nach dem Hochlaufen das Fenster "Standby" an. Abb. 9: Fenster “Standby“ Messung starten Kalibrieren Spülen Belüften 6.2 Grundlegende Einstellungen Sie können die aktuellen Einstellungen des Geräts jederzeit abspeichern, um zu...

  • Seite 52: Datum, Uhrzeit Und Zeitzone Einstellen

    6 | Betrieb INFICON 6.2.2 Datum, Uhrzeit und Zeitzone einstellen ü Supervisor-Rechte > Einrichten > Allgemein > Datum und Uhrzeit Stellen Sie ein. Speichern Sie Alternativ drücken Sie auf in der oberen Fensterleiste und nehmen Ihre Einstellungen vor. 6.2.3 Benutzerprofil-Einstellungen 6.2.3.1 Übersicht über Berechtigungsgruppen...
  • Seite 53 INFICON Betrieb | 6 Sie haben folgende Möglichkeiten: Um ein neues Benutzerprofil anzulegen, wählen Sie im unteren Bereich des Fensters. Das Fenster “Benutzerprofil“ wird geöffnet. Ansonsten drücken Sie auf einen bereits angelegten Benutzernamen und wählen aus der eingeblendeten Werkzeugleiste: , um ein Benutzerprofil zu laden.

  • Seite 54: Persönliche Einstellungen Ändern

    6 | Betrieb INFICON 6.2.3.3 Persönliche Einstellungen ändern Auch als Benutzer mit eingeschränkten Rechten (User) können Sie Ihre Sprache oder PIN ändern. Dadurch wird das zugehörige Benutzerprofil entsprechend angepasst. Ein Zugriff auf das komplette Benutzerprofil ist nicht nötig. Drücken Sie auf Ihren Namen, der links oben im Display eingeblendet wird.

  • Seite 55: Darstellung Des Messbildschirms

    INFICON Betrieb | 6 ü Supervisor-Rechte ü Der gewünschte Benutzer wurde bereits angelegt. Siehe “Benutzerprofil auswählen, bearbeiten, anlegen [} 52]“. > Benutzerkonten > Automatische Anmeldung verwalten Aktivieren Sie im Fenster “Automatische Anmeldung verwalten“ die Option “Aktiv“. Tragen Sie im Feld “Name“ den Namen des Benutzers ein. Beachten Sie die Groß-/Kleinschreibung.

  • Seite 56: Darstellung Des Liniendiagramms Ändern

    6 | Betrieb INFICON 6.2.6.1 Darstellung des Liniendiagramms ändern Supervisor ULTRA Abb. 10: Darstellung als Liniendiagramm ü Operator- oder Supervisor-Rechte > Anzeige > Liniendiagramm Wählen Sie im Feld “Skalierung“ zwischen “Linear“ und “Logarithmisch“. Wählen Sie zwischen den darstellbaren “Dekaden“. Um die obere und untere Grenze an die Leckrate dynamisch anzupassen, aktivieren Sie die Option “Auto-Skalierung“.

  • Seite 57: Darstellung Des Balkendiagramms Ändern

    INFICON Betrieb | 6 6.2.6.2 Darstellung des Balkendiagramms ändern Abb. 11: Darstellung als Balkendiagramm ü Operator- oder Supervisor-Rechte > Anzeige > Balkendiagramm Wählen Sie im Feld “Skalierung“ zwischen “Linear“ und “Logarithmisch“. Wählen Sie zwischen den darstellbaren “Dekaden“. Um die obere und untere Grenze an die Leckrate dynamisch anzupassen, aktivieren Sie die Option “Auto-Skalierung“.

  • Seite 58: Darstellung Des Kreisdiagramms Ändern

    6 | Betrieb INFICON 6.2.6.3 Darstellung des Kreisdiagramms ändern Abb. 12: Darstellung als Kreisdiagramm ü Operator- oder Supervisor-Rechte > Anzeige > Kreisdiagramm Falls Sie die Anzahl der dargestellten Dekaden im Kreisdiagramm fest einstellen möchten, wählen Sie unter “Dekaden“ die Anzahl der dargestellten Dekaden.
  • Seite 59 INFICON Betrieb | 6 ð Der interne Untergrund wird von Restgas erzeugt, welches noch nicht abgepumpt wurde. Sehr saubere Systeme weisen einen Untergrund im Bereich von 1x10 mbar l/s auf. Unter normalen Bedingungen besteht ein Untergrund von 1x10 mbar l/s oder 1x10 mbar l/s.

  • Seite 60: Ergebnisanzeige Des Auto Leak Tests

    6 | Betrieb INFICON 6.2.7 Ergebnisanzeige des Auto Leak Tests Supervisor 1 “Bestanden“ oder “Fehlgeschlagen“ als Ergebnis des letzten Tests unter “Teilenummer“. Test ist fehlgeschlagen, falls Leckrate über dem Schwellenwert. 2 Tatsächliche Testzeit, innerhalb eingestellter Grenzen, siehe “Auto Leak Test einstellen [} 69]“...

  • Seite 61: Audioeinstellungen Ändern

    INFICON Betrieb | 6 ü Operator- oder Supervisor-Rechte > Einrichten > Allgemein > Einheiten Ändern Sie bei Bedarf die Einheit der “Leckrateneinheit Vakuum“, der “Leckrateneinheit Schnüffeln“ und der “Druckeinheit“. ð Die Option “Wie Anzeige“ ist laut Werkseinstellung aktiviert, so dass die Einheiten für die Schnittstellen genauso dargestellt werden wie die Einheiten...

  • Seite 62: Schutzeinstellungen Ändern

    6 | Betrieb INFICON Lautstärkesymbols auf dem Messbildschirm gesperrt. So können Sie verhindern, dass ein Nicht-Berechtigter einen Wert einstellen kann, der unter dem Umgebungslärm liegt. ð Einstellbereich: 0 … 15 Falls Sie den Auslöser für einen Audioalarm und die Art des Benachrichtigungstons näher bestimmen wollen, treffen Sie bei der Einstellung...
  • Seite 63 INFICON Betrieb | 6 Falls Sie den Grobleckschutz einschalten möchten, aktivieren Sie die Option “Grobleckschutz“ und stellen unter “Grobleckschutz-Limit“ einen Abschaltgrenzwert ein. ð Das Gerät schließt alle Einlassventile, sobald die gemessene Leckrate den Abschaltgrenzwert übersteigt. Dadurch gelangt nicht unnötig viel Helium in das Massenspektrometer.

  • Seite 64: Wartungsintervall "Filter Schnüffelspitze" Oder "Luftfilter" Einstellen

    6 | Betrieb INFICON Bei der “Max. Evakuierungszeit bis zur Messung“ geht es um die Zeit bis zur Erreichung des ersten freigegebenen Messbereichs. Die Werkseinstellung beträgt 1800 s. ð Falls die vorhergesehenen Druckverhältnisse während der Evakuierungszeit nicht erreicht werden, wird nach Ablauf der Evakuierungszeit eine Warnmeldung angezeigt.

  • Seite 65: Wartungsaufforderungen Ein- Oder Ausschalten

    • Die Betriebsart “Auto Leak Test“ wurde eingeschaltet und die Testzeit des Auto Leak Test geändert. • Eine SL3000 Schnüffelleitung mit neuer Seriennummer wurde angeschlossen (nur UL3000 Fab PLUS). • Die Betriebsart wurde über die Gerätebedienung geändert und in der neuen Betriebsart wurde innerhalb der letzten 24 Stunden noch nicht kalibriert.

  • Seite 66: Bedienmöglichkeiten Erweitern Oder Einschränken

    6 | Betrieb INFICON Speichern Sie 6.2.14 Bedienmöglichkeiten erweitern oder einschränken Sie können das Gerät immer über den Touchscreen bedienen. Darüber hinaus können Sie die Werkseinstellung ändern, die eine zusätzliche Bedienung über die Tasten auf dem Bedienfeld und über die Fernbedienung ermöglicht.

  • Seite 67: Einstellungen Für Die Messungen

    INFICON Betrieb | 6 Wählen Sie aus der dargestellten Listenübersicht den gewünschten Menünamen aus und bestätigen Ihre Wahl über ð Alternativ können Sie im Fenster “Favoriten“ auf drücken, einen leeren Eintrag markieren und über das eingeblendete aus der Listenübersicht den gewünschten Menünamen auswählen.

  • Seite 68: Schwellenwerte Einstellen

    6 | Betrieb INFICON Treffen Sie Ihre Wahl zwischen: “Wasserstoff“ H (2 amu) “Helium“ He (4 amu) “Masse 3“ He (3 amu) Speichern Sie 6.3.3 Schwellenwerte einstellen Sie können die Leckrate für die Schwellenwerte 1, 2, 3 und 4 separat einstellen.

  • Seite 69: Auto Leak Test Einstellen

    INFICON Betrieb | 6 6.3.5 Auto Leak Test einstellen Beachten Sie zur Einführung die Informationen zur Betriebsart “Auto Leak Test“ und die Hinweise zum Messen. Siehe auch Betriebsart "Auto Leak Test" [} 20], “Betriebsart wählen [} 67]“, “Messen [} 81]“ und “Ergebnisanzeige des Auto Leak Tests [} 60]“.

  • Seite 70: Hydro•S (Nur Ul3000 Fab Plus)

    6.3.6.1 HYDRO•S einstellen (UL3000 Fab PLUS) Die Verfügbarkeit von HYDRO•S hängt neben der hier beschriebenen Grundeinstellung von weiteren Voraussetzungen wie der gewählten Betriebsart und dem Betriebszustand ab, siehe “HYDRO•S benutzen (UL3000 Fab PLUS) [} 70] “. ü Supervisor-Rechte > Einrichten > Messung > HYDRO•S Treffen Sie Ihre Wahl zwischen: “Deaktiviert“...

  • Seite 71: Maschinenfaktor Einstellen

    INFICON Betrieb | 6 HYDRO•S automatisch ü HYDRO•S ist auf “Automatisch“ eingestellt, siehe “HYDRO•S einstellen (UL3000 Fab PLUS) [} 70] “. ü Die weiteren Voraussetzungen für die oben aufgeführte manuelle Bedienung sind ebenfalls erfüllt. ü Das Lecksuchgerät befindet sich mind. 5 s im aktuellen Messbereich.

  • Seite 72: Druckgrenzen Ändern

    6 | Betrieb INFICON Übernehmen Sie von Prüfleck oder Zertifikat den aufgedruckten Wert und die zugehörige Einheit. Ändern Sie nicht die Kombination von aufgedrucktem Wert und zugehöriger Einheit, selbst wenn Ihr Gerät ansonsten auf andere Einheiten eingestellt ist! Speichern Sie Sehen Sie dazu auch 2 Extern Kalibrieren [} 79]...
  • Seite 73 INFICON Betrieb | 6 • Um das Untergrundsignal auszublenden, aktivieren Sie die Funktion ZERO. • Sie können ZERO auch benutzen, um eine aktuell angezeigte Leckage auszublenden, die Sie bei der weiteren Suche nach anderen, ggf. kleineren Leckagen, stört. Ein aktuell dargestelltes Leck wird durch ZERO ausgeblendet.

  • Seite 74: Belüften, Spülen, Regenerieren

    6 | Betrieb INFICON Betriebsart Wenn Sie die Taste ZERO drücken, wird der aktuell angezeigte Leckratenwert auf die “Schnüffeln“, Wirkung untere Anzeigegrenze gesetzt. von ZERO 6.3.11 Belüften, Spülen, Regenerieren Belüften Im Messbetrieb nutzen Sie diese Funktion, um nach einer Messung den Einlass des Geräts und einen damit verbundenen Prüfkörper zu belüften.

  • Seite 75: Leckratenfilter Ändern

    INFICON Betrieb | 6 Speichern Sie Regenerierung Es kann vorkommen, dass zu viel Helium in das Innere des Geräts gelangt ist und keine genauen Messungen mehr möglich sind (Heliumverseuchung). Die Regenerierung bietet dem Anwender einen automatischen Start-Stop-Belüften-Zyklus zum Abbau eines solchen erhöhten Helium-Untergrundes.
  • Seite 76 6 | Betrieb INFICON Das Messsystem des Dichtheitsprüfgeräts enthält auch ohne Verbindung zu einer Prüfkammer ebenfalls immer eine Restmenge Helium und Wasserstoff. Dieses erzeugt einen internen Messsignal-Anteil, der bereits vor Drücken der Taste START vorhanden ist. Nach Aktivieren der “Untergrundunterdrückung“ wird der interne Untergrund und wahlweise auch der Untergrund im Einlassbereich von der angezeigten Leckrate abgezogen.

  • Seite 77: Untergrund Des Einlassbereichs Bestimmen

    INFICON Betrieb | 6 Hohe Untergrundwerte Falls der tatsächliche Untergrund höher als 1×10 mbar l/s ist, kann er nicht mehr automatisch abgezogen werden. Der hohe Untergrund muss in diesem Fall abgepumpt werden. Sehen Sie dazu auch 2 Funktion ZERO einstellen und verwenden [} 72] 2 Taste ZERO [} 26]...

  • Seite 78: Drucküberwachung Der Schnüffelleitung Ändern

    ð Folgende Einstellungen können geändert werden, zu den voreingestellten Werten siehe “Werkseinstellungen [} 34]“. “Druck Kapillare (SL200) verstopft“ (Untergrenze) “Druck Kapillare (SL200) gebrochen“ (Obergrenze) “Druck Kapillare (SL3000) verstopft“ (Untergrenze, nur UL3000 Fab PLUS) “Druck Kapillare (SL3000) gebrochen“ (Obergrenze, nur UL3000 Fab PLUS) Stellen Sie ein. Speichern Sie 6.3.16 Kalibrieren...

  • Seite 79: Intern Kalibrieren

    INFICON Betrieb | 6 ► Bei der Verwendung von Wasserstoff oder Helium-3 ( He) als Prüfgas ist eine interne Kalibrierung nicht möglich. Verwenden Sie hierfür ein externes Prüfleck. ► Die Betriebsarten Vakuum und Schnüffeln müssen bei einer externen Kalibrierung separat kalibriert werden.

  • Seite 80: Internes Prüfleck Messen

    6 | Betrieb INFICON Wählen Sie das Fadenkreuz-Symbol Wählen Sie “Proof“. ð Die Überprüfung wird gestartet und der Kalibrierfaktor neu berechnet. ð Der neu berechnete Kalibrierfaktor wird dabei angezeigt. ð Falls der neu berechnete Kalibrierfaktor erheblich vom abgespeicherten Kalibrierfaktor abweicht, wird eine Aufforderung zur erneuten Kalibrierung angezeigt.

  • Seite 81: Messen

    Zeichnen Sie die Messwerte bei Bedarf auf, siehe “Datenaufzeichnung einschalten und Export konfigurieren [} 82]“ und “Aufbau des Touchscreens [} 28]“. Schalten Sie das Gerät aus. Sehen Sie dazu auch 2 HYDRO•S benutzen (UL3000 Fab PLUS) [} 70] 2 Allgemeine Anzeige-Einstellungen ändern [} 58] UL3000-Fab-Betriebsanleitung-iina73de1-08-(1910) 81 / 148...

  • Seite 82: Helium-Umgebungskonzentration Messen (Nur Ul3000 Fab Plus)

    6 | Betrieb INFICON 6.5 Helium-Umgebungskonzentration messen (nur UL3000 Fab PLUS) Der natürliche Anteil von Helium in der Umgebungsluft beträgt ca. 5,2 ppm. Sie können die Umgebungsluft auf einen erhöhten Helium-Anteil (Helium- Verseuchung) untersuchen, um den geeigneten Zeitpunkt für weitere Messungen festzulegen.

  • Seite 83: Messzyklen Anzeigen

    INFICON Betrieb | 6 > Einrichten > Datenaufzeichnung Um nach dem Start einer Messung sofort aufzuzeichnen, aktivieren Sie die Option “Aktiv“. Hinweis: Die Datenaufzeichnung erfolgt während der Messungen, d.h. während der Messbildschirm angezeigt wird. Siehe auch “Messzyklen anzeigen [} 83]“. ð Standardmäßig ist diese Option deaktiviert. Um ohne Aktivierung dieser Option eine Aufzeichnung zu starten oder zu stoppen, drücken Sie im...

  • Seite 84: Messdaten Über Netzwerk Exportieren

    6 | Betrieb INFICON 6.6.3 Messdaten über Netzwerk exportieren Neben dem Zugriff auf die grafische Benutzeroberfläche, haben Sie auch die Möglichkeit gezielt Messdaten von Ihrem Dichtheitsprüfgerät abzurufen. Zu diesem Zweck wurde eine Datenschnittstelle implementiert (REST-Interface). Diese Schnittstelle antwortet bei Anfragen auf den Port 3000 bei der Übermittlung von gültigen Parametern mit Daten im angeforderten Format.

  • Seite 85: Messdaten-Datenbank: Informationen

    INFICON Betrieb | 6 Parameter Name Beschreibung Optionen Beispiel Ende Der End-Zeitpunkt des Ein Datum im ISO- dte=2018-08-02T17:45:35.000Z Zeitbereichs aus dem Format in UTC Zeit Daten exportiert werden sollen. Format Das Daten-Format des json, csv_en, csv_de f=json Exports Standard: csv_en...

  • Seite 86: Informationen

    6 | Betrieb INFICON 6.7 Informationen 6.7.1 Informationen zum aktuellen Messwert aufrufen ► > Messwerte > Leckrate und Druck ð Die Leckrate und verschiedene Druckwerte werden angezeigt. ► > Messwerte > Temperatur ð Es werden verschiedene Temperaturwerte angezeigt. ► > Messwerte > Laufzeiten ð...

  • Seite 87: Informationen Zu Energiedaten Aufrufen

    > Energie > Spannung (2) ð In diesem Fenster wird der zweite Teil der Informationen zur Spannung angezeigt. ► > Energie > Leistung 6.7.7 Informationen zu HYDRO•S aufrufen (nur UL3000 Fab PLUS) Es werden die internen Parameter zu HYDRO•S angezeigt. ► > HYDRO•S 6.7.8 Informationen zur SL3000 Schnüffelleitung aufrufen (nur...

  • Seite 88: Protokolle

    6 | Betrieb INFICON 6.8 Protokolle 6.8.1 Fehler- und Warnungsprotokoll aufrufen ► > Protokolle > Fehler und Warnungen Falls mehr als 20 Einträge anfallen, werden die jeweils ältesten Einträge überschrieben. 6.8.2 Kalibrierprotokoll aufrufen Die Einträge betreffen grundsätzlich den gesamten Nutzungszeitraum des Geräts.

  • Seite 89: Parametersätze Speichern Und Verwalten

    INFICON Betrieb | 6 Speichern Sie ► Um Parameter anzupassen, können Sie alternativ in der Liste auf eine Zwischenüberschrift drücken. Ein separates Einstellfenster wird geöffnet, in dem Sie ändern und speichern können. ð Nach einer Änderung in einem separaten Einstellfenster kehren Sie über zur Listenübersicht zurück.

  • Seite 90: Parametersätze Exportieren Oder Importieren

    6 | Betrieb INFICON 6.9.3 Parametersätze exportieren oder importieren Sie können abgespeicherte Parametersätze aus dem internen Speicher auf einen angeschlossenen USB-Stick übertragen und von dort auch wieder importieren. ü Supervisor-Rechte > Parametersätze > Parametersätze verwalten Um alle Parametersätze auf einen USB-Stick (FAT32 formatiert) zu exportieren, drücken Sie unterhalb der Liste auf...

  • Seite 91: Software Des Grundgeräts Aktualisieren

    INFICON Betrieb | 6 HINWEIS Datenverlust durch Verbindungsabbruch ► Schalten Sie das Gerät nicht aus und entfernen Sie nicht den USB-Speicherstick, während die Software aktualisiert wird. ü Supervisor-Rechte Kopieren Sie die Datei in das Hauptverzeichnis eines FAT32-formatierten USB- Speichersticks. Verbinden Sie den USB-Speicherstick mit einem USB-Anschluss des Geräts.

  • Seite 92: Im Expertenmodus Software Aktualisieren

    6 | Betrieb INFICON Um die neue Software-Version zu laden, drücken Sie auf die Schaltfläche “Update“. ð Nach Fertigstellung erfolgt automatisch ein Neustart des Systems. 6.10.3 Im Expertenmodus Software aktualisieren ü Supervisor-Rechte > Update > Update Gerätebedienung/Grundgerät > Experte ð Bereits auf dem Gerät verfügbare Software-Versionen werden in Listenform angezeigt.

  • Seite 93: Auf Werkseinstellungen Zurücksetzen

    INFICON Betrieb | 6 Abb. 13: Die wichtigsten Komponenten des Vakuumdiagramms in UL3000 Fab-Geräten 1 Massenspektrometer 6 Schnüffelleitung 2 Internes Prüfleck 7 Druckmessstelle zur Flussüberwachung 3 Einlassflansch 8 Vorpumpe 4 Einlass-Druckmessstelle 9 Vorvakuum-Druckmessstelle 5 V1 … V10: Magnetventile zur 10 Turbomolekularpumpe Steuerung der Gasflüsse...

  • Seite 94: Vom Gerät Abmelden

    6 | Betrieb INFICON ð Um das Gerät in den Auslieferungszustand zu versetzen, drücken Sie nacheinander beide Schaltflächen. 6.13 Vom Gerät abmelden Drücken Sie auf Ihren Namen, der links oben im Display eingeblendet wird oder wählen Sie > Benutzerkonten. ð Das Fenster “Benutzerkonten“ wird geöffnet. Siehe auch “Persönliche Einstellungen ändern [} 54]“.

  • Seite 95: Warn- Und Fehlermeldungen

    INFICON Warn- und Fehlermeldungen | 7 7 Warn- und Fehlermeldungen Während des Betriebs zeigt die Anzeige Informationen an, die Sie bei der Bedienung des Geräts unterstützen. Neben Messwerten werden aktuelle Gerätezustände, Bedienungshinweise sowie Warnungen und Fehlermeldungen angezeigt. Das Gerät ist mit umfangreichen Selbstdiagnosefunktionen ausgestattet. Wenn von der Elektronik ein fehlerhafter Zustand erkannt wird, zeigt das Gerät dies so weit wie...
  • Seite 96 7 | Warn- und Fehlermeldungen INFICON Meldung Mögliche Fehlerquellen Störungsbeseitigung W104 Ein EEPROM Parameter Durch ein Software- • Bestätigen Sie die Warnmeldung wurde initialisiert Update wurde ein • Prüfen Sie, dass die Meldung beim neuer Parameter erneuten Einschalten nicht mehr auftritt eingeführt...
  • Seite 97 INFICON Warn- und Fehlermeldungen | 7 Meldung Mögliche Fehlerquellen Störungsbeseitigung W110 Echtzeituhr wurde Die Echtzeituhr wurde • Geben Sie das korrekte Datum und die zurückgesetzt! Bitte Datum nicht gestellt korrekte Uhrzeit ein und Uhrzeit eingeben • Prüfen Sie, dass die Meldung beim erneuten Einschalten nicht mehr auftritt Jumper für Akku auf...
  • Seite 98 7 | Warn- und Fehlermeldungen INFICON Meldung Mögliche Fehlerquellen Störungsbeseitigung W130 Schnüffelleitung nicht Die Schnüffelleitung • Prüfen Sie die Verbindung der angeschlossen kann vom Gerät nicht Schnüffelleitung mit dem Gerät (trennen angesprochen werden und wieder anschließen) • Wenden Sie sich an den Kundendienst Die Schnüffelleitung ist...
  • Seite 99 INFICON Warn- und Fehlermeldungen | 7 Meldung Mögliche Fehlerquellen Störungsbeseitigung W206 24V Versorgungsspannung Funktionsstörung der • Wenden Sie sich an den Kundendienst der Gerätebedienung Gerätebedienung außerhalb des Bereichs Kurzschluss oder • Wenden Sie sich an den Kundendienst Überlast in der 24V- Versorgung der Gerätebedienung...
  • Seite 100 7 | Warn- und Fehlermeldungen INFICON Meldung Mögliche Fehlerquellen Störungsbeseitigung W221 Interne Spannung 24V_RC Die Fernbedienung ist • Verwenden Sie eine andere außerhalb des Bereichs defekt Fernbedienung, wenn möglich Das an den Anschluss • Verwenden Sie ein anderes Kabel, wenn REMOTE CONTROL möglich...
  • Seite 101 INFICON Warn- und Fehlermeldungen | 7 Meldung Mögliche Fehlerquellen Störungsbeseitigung W241 Spannung -15V außerhalb Kurzschluss am • Wenden Sie sich an den Kundendienst des Bereichs Vorverstärker VI-Board oder MSB • Wenden Sie sich an den Kundendienst defekt E242 Spannung +15V oder -15V Kurzschluss am •...
  • Seite 102 7 | Warn- und Fehlermeldungen INFICON Meldung Mögliche Fehlerquellen Störungsbeseitigung E306 Anodenspannung falsch • Führen Sie eine Kalibrierung durch Anodenspannungs- • Wenden Sie sich an den Kundendienst Sollwert liegt außerhalb des zulässigen Bereichs MSB defekt • Wenden Sie sich an den Kundendienst...
  • Seite 103 INFICON Warn- und Fehlermeldungen | 7 Meldung Mögliche Fehlerquellen Störungsbeseitigung E352 Vorverstärker nicht Vorverstärker defekt • Wenden Sie sich an den Kundendienst angeschlossen oder Kabel nicht angeschlossen W358 Vorverstärkerbereiche Vorverstärker defekt • Wenden Sie sich an den Kundendienst alternieren Ungewöhnliche •...
  • Seite 104 7 | Warn- und Fehlermeldungen INFICON Meldung Mögliche Fehlerquellen Störungsbeseitigung W405 Kein Hochlauf der TMP Einlassdruck während • Prüfen Sie, ob die Vorvakuumpumpe des Hochlaufs zu hoch während des Hochlaufs arbeitet • Prüfen Sie, ob der Druck während des Hochlaufs sinkt •...
  • Seite 105 INFICON Warn- und Fehlermeldungen | 7 Meldung Mögliche Fehlerquellen Störungsbeseitigung W452 Keine Kommunikation mit Steuerkabel der • Wenden Sie sich an den Kundendienst der Vorvakuumpumpe Vorvakuumpumpe defekt oder nicht angeschlossen Vorvakuumpumpe hat • Wenden Sie sich an den Kundendienst keine Stromversorgung Wandler der •...
  • Seite 106 7 | Warn- und Fehlermeldungen INFICON Meldung Mögliche Fehlerquellen Störungsbeseitigung E521 Druckanstieg, Druckanstieg am • Wenden Sie sich an den Kundendienst Anodenspannung Drucksensor p2 und eingebrochen Anodenspannung eingebrochen W522 Druckanstieg, Druckanstieg am • Wenden Sie sich an den Kundendienst Emissionstrom...
  • Seite 107 INFICON Warn- und Fehlermeldungen | 7 Meldung Mögliche Fehlerquellen Störungsbeseitigung W559 Leckrate zu hoch! Es wurde Grobleck am Prüfling • Prüfen Sie die Dichtheit der Verbindung in Stand-By geschaltet um oder am Anschluss an zwischen dem Lecksuchgerät und dem Verseuchung zu vermeiden! das Prüfobjekt...
  • Seite 108 • Führen Sie eine Kalibrierung durch Masse hat sich geändert HYDRO•S wurde • Führen Sie eine Kalibrierung durch eingeschaltet (nur UL3000 Fab PLUS) Auto Leak Test ist aktiv • Führen Sie eine Kalibrierung durch und Testzeit hat sich geändert Eine neue SL3000 •...
  • Seite 109 INFICON Warn- und Fehlermeldungen | 7 Meldung Mögliche Fehlerquellen Störungsbeseitigung W702 Vorverstärker-Temperatur • Reduzieren Sie die Temperatur in der ist zu hoch Umgebungstemperatur Umgebung, in der das Gerät steht ist zu hoch Luftfilter verschmutzt • Reinigen Sie die Lüftungsschlitze oder ersetzen Sie die Filterplatten Lüfter blockiert oder...
  • Seite 110 7 | Warn- und Fehlermeldungen INFICON Meldung Mögliche Fehlerquellen Störungsbeseitigung W925 Wartung: Luftfilter Wartungsintervall für • Wenden Sie sich an den Kundendienst den Luftfilter überschritten 110 / 148 UL3000-Fab-Betriebsanleitung-iina73de1-08-(1910)

  • Seite 111: Reinigung Und Wartung

    INFICON Reinigung und Wartung | 8 8 Reinigung und Wartung Alle hier beschriebenen Reinigungs- und Wartungsarbeiten dürfen nur ohne das Öffnen der Seitenwände durchgeführt werden! WARNUNG Lebensgefahr durch Stromschlag Im Inneren des Geräts liegen hohe Spannungen an. Beim Berühren von Teilen, an denen elektrische Spannung anliegt, besteht Lebensgefahr.

  • Seite 112: Filtermatte Auf Geräteunterseite Wechseln

    8 | Reinigung und Wartung INFICON Nehmen Sie den gebrauchten Luftfilter aus dem Kunststoffgitter und setzen Sie einen neuen ein. Setzen Sie das Kunststoffgitter mit dem neuen Luftfilter wieder ein. 8.3 Filtermatte auf Geräteunterseite wechseln Filtermatte Geräteunterseite Benötigtes Werkzeug Schraubendreher Kontrollieren Sie die Filtermatte in regelmäßigen Abständen und wechseln Sie sie bei...
  • Seite 113 INFICON Reinigung und Wartung | 8 Lösen Sie die Schrauben, die die Filtermatte auf dem Blech fixieren. Ersetzen Sie die Filtermatte. Schrauben Sie neue Filtermatte fest, setzen das Blech wieder ein und drehen die Rändelschraube fest. UL3000-Fab-Betriebsanleitung-iina73de1-08-(1910) 113 / 148...

  • Seite 114: Filter Der Schnüffelleitung Sl200 Wechseln

    8 | Reinigung und Wartung INFICON 8.4 Filter der Schnüffelleitung SL200 wechseln Aufbau der Schnüffelspitze Abb. 14: Schnüffelspitze 1 Kapillarfilter (Kunststoff; Standard) 4 Kreuzschlitzschrauben 2 Filzscheiben 5 Sinterfilter 3 Kapillarfilter (Metall mit Dichtung; 6 Dichtung Option) Eine Verstopfung der Schnüffelspitze kann folgende Ursachen haben: Kapillarfilter verstopft ->...

  • Seite 115: Filter Der Schnüffelleitung Sl3000 Wechseln

    INFICON Reinigung und Wartung | 8 oder • Schrauben Sie den Kapillarfilter ab und ersetzen Sie ihn durch einen neuen. Bei der Metallausführung vergessen Sie nicht die Dichtung! Sinterfilter prüfen oder Schalten Sie das Lecksuchgerät aus oder trennen Sie die Schnüffelleitung vom ersetzen Gerät.
  • Seite 116 8 | Reinigung und Wartung INFICON Tab. 3: Kapillarfilter 1 Ende der Schnüffelleitung 4 Kunststoff-Kapillarfilter 2 Kegeldichtung 5 Wasserschutz-Spitze 3 Metall-Kapillarfilter Kapillarfilter und Wasserschutz-Spitze sind auf das Ende der Schnüffelleitung geschraubt. Die Filtereinsätze sind hineingeschoben und liegen vor einem kleinen Metallgitter, das ebenfalls hineingeschoben ist.

  • Seite 117: Screenshots Erstellen

    INFICON Reinigung und Wartung | 8 Falls bei Ihnen die Anzeige von Wartungsaufforderungen eingeschaltet ist, stellen Sie das Wartungsintervall auf den gewünschten neuen Zeitraum ein. Siehe auch “Wartungsaufforderungen ein- oder ausschalten [} 65]“ und “Wartungsintervall "Filter Schnüffelspitze" oder "Luftfilter" einstellen [} 64]“.

  • Seite 118: Zur Wartung Oder Reparatur Einsenden

    Wartungsarbeiten im Innern des Geräts sollten nur durch den Hersteller durchgeführt werden. Wir empfehlen, das Gerät alle 4000 Stunden oder jährlich warten zu lassen. Sie können Ihr Gerät zu INFICON einsenden, um es warten oder reparieren zu lassen. Zu weiteren Einzelheiten siehe “Gerät einsenden [} 120]“.

  • Seite 119: Wartungsplan

    Bedarf austauschen Legende zum Wartungsplan: • I Servicestufe I Kunde • II Servicestufe II Kunde mit technischer Ausbildung • III Servicestufe III autorisierter INFICON Servicetechniker • X Wartungsarbeiten durchführen nach Betriebsstunden oder Zeitdauer • X keine zeitliche Begrenzung nur Betriebsstunden •...

  • Seite 120: Außerbetriebnahme

    9 | Außerbetriebnahme INFICON 9 Außerbetriebnahme 9.1 Gerät einsenden WARNUNG Gefahr durch gesundheitsschädliche Stoffe Kontaminierte Geräte können die Gesundheit gefährden. Die Kontaminationserklärung dient dem Schutz aller Personen, die mit dem Gerät in Berührung kommen. ► Füllen Sie die Kontaminationserklärung vollständig aus.
  • Seite 121 INFICON Außerbetriebnahme | 9 UL3000-Fab-Betriebsanleitung-iina73de1-08-(1910) 121 / 148...

  • Seite 122: Zubehör Und Schnittstellen

    Schnüffelleitung SL200 für UL3000 Fab Schnüffelleitung SL200, 3,8 m lang 14005 Kabelverlängerung für den Elektroanschluss der SL200 551-205 Schnüffelleitung SL3000 für UL3000 Fab PLUS Leitung SL3000-3, 3 m Länge 525-001 Leitung SL3000-5, 5 m Länge 525-002 Leitung SL3000-10, 10 m Länge 525-003 Leitung SL3000-15 , 15 m Länge...
  • Seite 123 INFICON Zubehör und Schnittstellen | 10 Weiteres Zubehör für die SL3000 Filterfilze Standardfilter SL3xx, 50St. 200001116 Kapillarfilter in Metallausführung(1 Stck.) 12217 Standard-Filter zu SL 300, Satz 5 St.(Kapillarfilter Kunststoff) 20003501 Internes Filter zu SL3xx, Satz 5 St.(Sinter-Filter mit O-Ring) 20003500 Wasserschutzspitze (1 Stck.)
  • Seite 124 10 | Zubehör und Schnittstellen INFICON Heliumflaschenhalter Der Heliumflaschenhalter erlaubt es, einen Heliumvorrat mit einer Sprühpistole zusammen mit dem Dichtheitsprüfgerät zu transportieren. Nur kleine bis mittelgroße Flaschen (max. 10 l, 200 bar) passen, ohne die Stabilität des Geräts zu beeinträchtigen.

  • Seite 125: Drahtlose Fernbedienung Vom Dichtheitsprüfgerät Aus Suchen

    Drahtlose Fernbedienung vom Dichtheitsprüfgerät aus suchen Falls Sie die drahtlose Fernbedienung RC1000WL verlegt haben, können Sie vom UL3000 Fab oder UL3000 Fab PLUS aus akustische Signale dieser Fernbedienung auslösen. > Einrichten > Zubehör > RC1000 Wählen Sie im Feld “Paging-Anfrage“ die Einstellung “Ein“.
  • Seite 126 10 | Zubehör und Schnittstellen INFICON Abb. 21: Testkammer TC1000 126 / 148 UL3000-Fab-Betriebsanleitung-iina73de1-08-(1910)

  • Seite 127: I/O-Modul

    10.2 I/O-Modul 10.2.1 Verbindung zwischen Gerät und I/O-Modul herstellen ü Supervisor-Rechte Schließen Sie das INFICON I/O-Modul über ein Datenkabel an der LD-Buchse auf der Rückseite des Geräts an, siehe “Anschlüsse für Zubehör und Steuersignale [} 32]“. > Einrichten > Zubehör > Geräteauswahl Wählen Sie “IO-Modul“.
  • Seite 128 10 | Zubehör und Schnittstellen INFICON Druck p1 / Druck p2 1 ... 10 V; 0,5 V / Dekade; logarithmisch 1 V = 1 x 10 mbar Leckrate Mantisse 1 ... 10 V; linear; in Nur sinnvoll, wenn der andere Analog-Ausgang mit gewählter Einheit...

  • Seite 129: Digitale Eingänge Konfigurieren

    INFICON Zubehör und Schnittstellen | 10 Leckrate log. 0 ... 10 V; logarithmisch; Die obere Grenze (= 10 V) und die Skalierung (V / Dekaden) werden über die Parameter “Oberes Limit in gewählter Einheit Exponent“ und “Analog-Ausgang Skalierung “ eingestellt.

  • Seite 130: Digitale Ausgänge Konfigurieren

    10 | Zubehör und Schnittstellen INFICON Wählen Sie die gewünschte Funktion, siehe unten die tabellarische Übersicht. Wählen Sie den gewünschten Modus. ð Es stehen der Modus “Standard“ oder der Modus “Invers“ zur Auswahl. Zum Modus “Invers“: In der folgenden tabellarischen Übersicht müsste in der Spalte “Übergang“...
  • Seite 131 INFICON Zubehör und Schnittstellen | 10 ð Es stehen der Modus “Standard“ oder der Modus “Invers“ zur Auswahl. Zum Modus “Invers“: In der tabellarischen Übersicht müsste die Beschreibung des Zustands “geöffnet“ mit der Beschreibung des Zustands “geschlossen“ getauscht werden. Speichern Sie...
  • Seite 132 10 | Zubehör und Schnittstellen INFICON Funktion Zustand: Beschreibung geöffnet: Standby oder Emission ausgeschaltet (ZERO ist nicht möglich, alle Schwellenwert- Ausgänge geben „Leckratenschwellwert überschritten“ zurück.) Open geöffnet: immer geöffnet Sniff geschlossen: Betriebsart Schnüffeln aktiv geöffnet: Betriebsart Vakuum aktiv Setpoint 1 geschlossen: Gemessene Leckrate überschreitet...

  • Seite 133: I/O-Modul-Protokoll Einrichten

    Um die Verbindung zwischen Dichtheitsprüfgerät und Bus-Modul herzustellen, gehen Sie folgendermaßen vor: Schalten Sie das Dichtheitsprüfgerät aus. Schließen Sie das INFICON Bus-Modul über ein Datenkabel an der LD-Buchse des Geräts an, siehe "Anschlüsse für Zubehör und Steuersignale [} 32]". Schalten Sie das Dichtheitsprüfgerät ein.

  • Seite 134: Netzwerk

    10 | Zubehör und Schnittstellen INFICON 10.4 Netzwerk 10.4.1 Dichtheitsprüfgerät über Webbrowser bedienen (LAN) HINWEIS Betriebssystem kann über USB oder Ethernet angegriffen werden Das im Lecksucher verwendete Linux-Betriebssystem wird nicht automatisch aktualisiert und kann deshalb Sicherheitslücken enthalten. Über die Ethernet- und die USB-Schnittstellen des Lecksuchers können diese Sicherheitslücken möglicherweise...

  • Seite 135: Lan-Anbindung Im Pc Oder Tablet Einstellen

    INFICON Zubehör und Schnittstellen | 10 10.4.1.2 LAN-Anbindung im PC oder Tablet einstellen LAN-Anbindung - Schnellstart Falls Sie die hier vorgestellten Arbeitsschritte einmal durchgeführt haben, reicht im Wiederholungsfall bei vielen Geräten die Eingabe der IP-Adresse. ü Der PC ist mit dem gleichen Netzwerk verbunden wie das Lecksuchgerät.

  • Seite 136: Dichtheitsprüfgerät Über Webbrowser Bedienen (Wlan)

    10 | Zubehör und Schnittstellen INFICON 10.4.2 Dichtheitsprüfgerät über Webbrowser bedienen (WLAN) HINWEIS Betriebssystem kann über USB oder Ethernet angegriffen werden Das im Lecksucher verwendete Linux-Betriebssystem wird nicht automatisch aktualisiert und kann deshalb Sicherheitslücken enthalten. Über die Ethernet- und die USB-Schnittstellen des Lecksuchers können diese Sicherheitslücken möglicherweise...

  • Seite 137: Wlan-Anbindung Im Pc Oder Tablet Einstellen

    INFICON Zubehör und Schnittstellen | 10 Um einzustellen, dass das Gerät die WLAN-Anbindung unterstützen soll, aktivieren Sie die Option “WLAN aktivieren“. Tragen Sie im Feld “WLAN Name (SSID)“ den gewünschten Netzwerknamen und im Feld “WLAN Netzwerkschlüssel“ den gewünschten Netzwerkschlüssel ein.

  • Seite 138: Client Zugriff Zulassen

    10 | Zubehör und Schnittstellen INFICON ð Auf dem PC oder Tablet steht Ihnen die gleiche Funktionalität wie auf dem Touchscreen des Dichtheitsprüfgeräts zur Verfügung. 10.4.2.3 Client Zugriff zulassen ü Supervisor-Rechte > Einrichten > Netzwerk > Client Zugriff Um eine Bedienung des Dichtheitsprüfgeräts durch PC oder Tablet zuzulassen, aktivieren Sie die Option “Client Zugriff“.

  • Seite 139: Anhang

    INFICON Anhang | 11 11 Anhang 11.1 Menüpfade Über die Navigationstaste kehren Sie zur Messanzeige zurück, unabhängig davon, ob Sie sich vorher in einem Menü oder Untermenü befunden haben. 11.1.1 Diagnose > Bestätigte Warnungen ð Nur zu sehen, wenn aktiv.
  • Seite 140 11 | Anhang INFICON > Anzeige > Liniendiagramm > Audio > Benutzerkonten > Abmelden > Benutzerkonten > Automatische Anmeldung verwalten > Benutzerkonten > Benutzerkonten verwalten > Benutzerkonten > Eigene PIN ändern > Benutzerkonten > Eigene Sprache ändern > Benutzerkonten > Favoriten >...

  • Seite 141: Informationen

    INFICON Anhang | 11 > Einrichten > Wartungszähler > Einrichten > Zubehör > Einrichten > Zubehör > Bus-Modul > Einrichten > Zubehör > Geräteauswahl > Einrichten > Zubehör > I/O-Modul > Einrichten > Zubehör > I/O-Modul > I/O-Modul Protokoll > Einrichten > Zubehör > I/O-Modul > Konfiguration analoger Ausgänge >...
  • Seite 142 11 | Anhang INFICON > Messwerte > Laufzeiten > Messwerte > Leckrate und Druck > Messwerte > Temperatur > Schnüffelleitung > Zubehör > Zubehör > Bus-Modul > Zubehör > I/O-Modul 142 / 148 UL3000-Fab-Betriebsanleitung-iina73de1-08-(1910)

  • Seite 143: Ce-Konformitätserklärung

    INFICON Anhang | 11 11.2 CE-Konformitätserklärung UL3000-Fab-Betriebsanleitung-iina73de1-08-(1910) 143 / 148...

  • Seite 144: Stichwortverzeichnis

    Stichwortverzeichnis INFICON Stichwortverzeichnis Externes Prüfleck einstellen  71 Argon abpumpen Druckgrenzen zwischen Vakuumbereichen  72 Fernbedienung RC1000  124 Audioeinstellungen ändern  61 Fernbedienung suchen (Paging)  125 Ausschalten  94 Flaschenhalter für Heliumflaschen  124 Auto Leak Test Funktionsbeschreibung  18 Betriebsart (Definition)  20 Betriebsart wählen  67 Einstellungen  69...
  • Seite 145 INFICON Stichwortverzeichnis Sprache einstellen  53 Supervisor  52, 54 Maschinenfaktor  71 Maximale Leckrate anzeigen  25 Messdaten Technische Daten  33 Exportformat  83 Termperaturwerte anzeigen  86 über Netzwerk exportieren  84 Testkammer TC1000  125 Touchscreen  28 Symbole  28 Operator  52 O-Ring mit Filter  30 Untergrundleckrate anzeigen  58...
  • Seite 146 Stichwortverzeichnis INFICON ZERO  81 Taste  26 Werkseinstellung  73 146 / 148 UL3000-Fab-Betriebsanleitung-iina73de1-08-(1910)

Diese Anleitung auch für:

Ul3000 fab plus

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