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INFICON Modul1000 Originalbetriebsanleitung Seite 46

Modulares dichtheitsprüfgerät
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Abb. 6-5 Evakuieren
Messen
Sobald der Druck am Einlass des Modul1000 die eingestellte Druckgrenze unter-
schreitet, wechselt Gerät in den Messbetrieb.
V6
MS
p
V4
V7
1
p
2
V2
V1
V22
Abb. 6-6 Messen
6-7
Betrieb

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Diese Anleitung auch für:

550-300a550-310a550-330a550-300a550-310a

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