INFICON Modul1000 Originalbetriebsanleitung Seite 46

Abb. 6-5 Evakuieren
Messen
Sobald der Druck am Einlass des Modul1000 die eingestellte Druckgrenze unter-
schreitet, wechselt Gerät in den Messbetrieb.
V6
MS
p
V4
V7
1
p
2
V2
V1
V22
Abb. 6-6 Messen
6-7
Betrieb