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6.8
Kalibrieren im Autoleaktest
6.9
Kalibrieren im Commander-Betrieb
6-11
Betrieb
Es sind 4 Arten der Kalibrierung wählbar:
•
intern automatisch
•
intern manuell
•
extern automatisch
•
extern manuell
Für eine externe Kalibrierung ist ein separates Testleck erforderlich, das an der
Kammer angebracht wird.
Bei Teilstrombetrieb sollte immer eine externe Kalibrierung durchgeführt werden.
Ablauf der Kalibrierung:
1
Testleck manuell öffnen bzw. öffnet automatisch,
2
evakuieren,
3
stabiles Signal bei manueller Kalibrierung bestätigen,
4
Autotune (Abgleich auf maximale Empfindlichkeit),
5
belüften,
6
evakuieren, nach Ablauf der Messzeit Signal bei geöffnetem Testleck übernehmen,
7
belüften,
8
Testleck schließen, evakuieren, nach Ablauf der Messzeit Untergrundsignal
übernehmen,
9
belüften
Bei der Kalibrierung wird die Testgasversorgung nicht aktiviert.
Es sind 4 Arten der Kalibrierung wählbar:
•
intern automatisch
•
intern manuell
•
extern automatisch
•
extern manuell
Für die ext. Kailbrierung ist ein separates Testleck erforderlich, das an der Kammer
angebracht wird.
Der Ablauf der Kalibrierung ist wie im Vakuumbetrieb.
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