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Nr.
Angezeigte Meldung
E44
Katodenstrom ist zu niedrig!
Emission der Kathode 1 kann
W45
nicht eingeschaltet werden.
Emission der Katode 2 kann
W46
nicht eingeschaltet werden!
Emission kann auf beiden
E47
Katoden nicht eingeschaltet
werden!
Mehrere Prüflinge in Folge
W49
fehlerhaft! Referenzmessung
durch-führen.
Keine Kommunikation mit der
E50
Turbopumpe.
Turbopumpen-Frequenz zu
E52
klein!
Temperatur an der
W53
Elektronikbaugruppe ist zu
hoch! (55°C)
Beschreibung und mögliche Fehlerursachenbehebung
Signal MPKZN auf der MSV Platine ist aktiv. Kathodenstrom ist zu gering, I < 0,2
A.
MSV Karte defekt
Fehlerhafter Ionenquellenstecker oder Kabel.
Signal MSIBE auf der MSV Platine ist nicht aktiv. Die Emission für Kathode 1 kann
nicht eingeschaltet werden. Das Modul1000 schaltet auf Katode 2. Neue
Ionenquelle bestellen.
Katode 1 defekt
Fehlerhafter Ionenquellenstecker oder Kabel.
MSV Karte defekt.
Signal MSIBE auf der MSV Platine ist nicht aktiv. Die Emission für Katode 2 kann
nicht eingeschaltet werden. Der Modul1000 schaltet auf Katode 1. Neue
Ionenquelle bestellen.
Katode 2 defekt
Fehlerhafter Ionenquellenstecker oder Kabel.
MSV Karte defekt.
Signal MSIBE auf der MSV Platine ist nicht aktiv. Die Emission kann auf beiden
Katoden nicht eingeschaltet werden. Nach Austausch der Ionenquelle muss es im
Servicemenü möglich sein, beide Kathoden manuell einzuschalten.
Beide Katoden defekt. Ionenquelle ersetzen.
Fehlerhafter Ionenquellenstecker.
MSV Karte defekt
Dichtheitsprüfgerät detektiert mehrere fehlerhafte Prüflinge in Folge.
Überprüfung der Einstellung bei welcher Stückzahl der Fehler ausgegeben wird.
Untergrundsignal ist stark angestiegen.
Referenzmessung erneut durchführen.
Keine Kommunikation mit dem Antriebselektronik TC 600.
Sicherung F10 auf Verdrahtungsebene ist defekt.
Stecker RS 485 auf Querverdrahtungsebene oder Antriebselektronik TMH 071
nicht gesteckt.
Antriebselektronik TC 600 defekt, TMH 071 austauschen.
MC 68 defekt
Die Drehzahl der Turbomolekularpumpe TMH 071 ist nach 5 Min. Hochlaufzeit zu
klein.
Vordruck TMH 071 ist zu hoch.
Turbomolekularpumpe TMH 071 ist defekt.
Antriebselektronik TC 600 ist defekt.
Die Umgebungstemperatur ist zu hoch.
Ungünstige Platzierung Dichtheitsprüfgerät. (Wärmestau)
Lüfter ausgefallen.
Luftfilter stark verschmutzt.
Temperatursensor defekt.
Fehlermeldungen und Warnungen
10-4
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