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Nr.
Angezeigte Meldung
W64 Vorverstärkersignal ist zu groß.
E68
TMP-Frequenz zu klein.
Signaldifferenz zwischen
W69
Testleck und Luft zu klein.
Versorgungsspannung
W70
+/-15 V zu niedrig.
Versorgungsspannung
W71
+/-15 V zu hoch.
E73
Emission aus (p
zu hoch)
2
Maximale „Evakuierungszeit"
W75
bis 100 mbar wurde
überschritten.
Maximale „Evakuierungszeit"
W76
bis Messbetrieb wurde
überschritten.
Signalmaximum liegt außerhalb
W77
des Massenabgleichbereichs!
Beschreibung und mögliche Fehlerursachenbehebung
Vorverstärkersignal hat im unempfindlichsten Messbereich 10 V für 10 s
überschritten.
Massive Verseuchung des Hochvakuumsystem mit Helium.
Vorverstärker defekt
Grobe Verunreinigung im Massenspektrometer.
TMP Frequenz von Solldrehzahl abgefallen im Schnüffelbetrieb.
Schnüffler nicht angeschlossen.
Schnüffelleitung undicht.
Frequenzwandler defekt. TMH 071 austauschen.
Signaldifferenz zwischen Testleck und Luft < 2 x 10E-14 A.
Fehlbedienung während der Kalibrierung
Testleck zu klein.
Testleck ist leer.
DC/DC Konverter auf der MSV Platine liefern zu kleine Ausgangspannung.
Sicherung F3 auf MSV Karte defekt
DC/DC Wandler auf MSV defekt.
Steckbrücken für DC/DC Wandler auf MSV Karte falsch gesetzt.
DC/DC Konverter auf der MSV Platine liefern zu hohe Ausgangspannungen.
DC/DC Wandler auf MSV defekt.
Die Emission wird abgeschaltet, wenn der Druck p2 > 22 mbar ist.
Fällt der Druck nach Schließen der Einlassventile wieder, geht das
Dichtheitsprüfgerät in den Standby Modus zurück.
Lufteinbruch im Messbetrieb
Verschmutzte Ventile
Innerhalb der eingestellten Evakuierungszeit ist die Druckschwelle von 100 mbar
nicht erreicht worden.
Prüfling hat ein Grobleck.
Evakuierungszeit ist auf das Prüflingsvolumen falsch angepasst.
Innerhalb der eingestellten Evakuierungszeit ist die Druckschwelle von 0,4 mbar
nicht erreicht worden.
Prüfling hat ein Grobleck.
Evakuierungszeit ist auf das Prüflingsvolumen falsch angepasst.
Das Signalmaximum konnte innerhalb des Massenabgleich-bereiches nicht
detektiert werden. Das Signalmaximum hat sich an die Grenzwerte für den
Massenabgleich verschoben.
Falsche Grundeinstellung der Anodenspannung. Über das Servicemenü einen
manuellen Massenabgleich durchführen und Anodenspannung neu bestimmen.
Leckraten-Signal war instabil während des Massenabgleichs. Erneut kalibrieren.
Falsches oder fehlerhaftes Testleck. Internes Testleck überprüfen und
Kalibrierung mit externen Testleck wiederholen.
Fehlermeldungen und Warnungen
10-6
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