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6
Betrieb
6.1
Einschalten
6.2
Status LED
6-1
Betrieb
Gerät wie im Kapitel Installation beschrieben installieren. Netzleitung anschließen
und das Gerät einschalten. Der Netzschalter und der Anschluss für das Netzkabel
befinden sich auf der Geräterückseite.
Nach Betätigung des Netzschalters startet der Hochlauf automatisch.
Während des Hochlaufes ( 3 Min.) wird auf dem Display der Bedieneinheit folgen-
des angezeigt:
•
Drehzahl der Turbomolekularpumpe
•
Vorvakuumdruck
•
Zustand der Emission
•
Aktive Kathode
•
Eine Balkenanzeige, die den Hochlauf-Fortschritt anzeigt
Nach Beendigung des Hochlaufs befindet sich das Modul1000 im Zustand
„Standby".
Die LED zeigen an, in welchem Betriebszustand sich das Gerät befindet:
Betriebszustand
Hochlauf
Standby / Vent
Evakuieren
Messen
Kalibrieren
Fehler / Warnungen /
Wartungsmeldungen
LED grün
Blinkt im Wechsel
an
an
an
Blinkt synchron
aus
LED gelb
Blinkt im Wechsel
aus
Blinkt langsam
an
Blinkt synchron
Blinkt schnell
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