Aufbau Einer Lecksuchanlage - INFICON Modul1000 Originalbetriebsanleitung

5.4.1

Aufbau einer Lecksuchanlage

5-5
Betriebsarten
Der Aufbau einer Lecksuchanlage mit der Modul1000-Commanderfunktion
entspricht im Wesentlichen dem einer herkömmlichen integralen Dichtheitsprüfan-
lage. 
Die Vakuumkammer wird durch das Modul1000 evakuiert, wahlweise auch im Teil-
strombetrieb (Abb. 5-1
Prüfteil ist durch die Kammerwände hindurch mit der Heliumbefülleinrichtung
verbunden und wird im evakuierten Zustand der Vakuumkammer mit Helium beauf-
schlagt.
Bedingt durch die Druckdifferenz zwischen dem Heliumdruck im Prüfteil und dem
Vakuum in der Vakuumkammer, strömt im Falle eines undichten Prüfteils Helium aus
der Leckage in die Vakuumkammer und weiter in das Dichtheitsprüfgerät, wo es
quantitativ als Leckgasstrom nachgewiesen wird.
Abb. 5-2 Lecksuchanlage
Pos. Beschreibung
V30 Ventil evakuieren (Prüfteil)
V31 Flutventil (Prüfteil)
V32 Ventil zur Heliumrückgewinnung
V33 Füllventil (Prüfteil)
V34 Notventil (stromlos offen)
Teilstrombetrieb). Das in der Vakuumkammer befindliche
Pos.
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3
4
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Beschreibung
Vakuumkammer
Prüfteil
Druckmessstelle
Vakuumpumpe (Prüfteil)
Vorpumpe (Modul1000)