Valves; Interne Versorgung - INFICON Modul1000 Originalbetriebsanleitung

9.5.4

Valves

Interne Versorgung

9-17
Technische Daten
F1
+24V
GND
F5
F6
+24V
Abb. 9-10 Anschlussbeispiel
Pos. Beschreibung
1 Ventile I max < 0,2 A, maximal 8 Stück
2 Ventile I max < 1A
1
2
3
4
V30
5
V31
6
V32
7
V33
8
V34
9
V35
10
V36
11
V37
12
V20
13
V21
14
V22
15
16
1
2