INFICON LDS3000 Betriebsanleitung Seite 60

Wrn222 Interne Spannung 24V_IO au-
ßerhalb des Bereichs
Wrn223 Interne Spannung 24V_TMP
außerhalb des Bereichs
Wrn224 Interne Spannung 24V_1 (Pi-
rani) außerhalb des Bereichs
Wrn240 Spannung +15V außerhalb
des Bereichs
Wrn241 Spannung -15V außerhalb des
Bereichs
Err242 Spannung +15V oder -15V
kurzgeschlossen
Wrn250 Spannung REF5V außerhalb
des Bereichs
Err252 Spannung REF5V kurzge-
schlossen
3xx Nachweissystem (Offset Vorverstärker, Vorverstärkertest, Emission, Kathodentest)
Wrn300 Anodenspannung zu niedrig
Wrn301 Anodenspannung zu hoch
Wrn302 Suppressorspannung zu nied-
rig
Wrn303 Suppressorspanung zu hoch
Wrn304 Spannung Anode-Kathode zu
niedrig
Wrn305 Spannung Anode-Kathode zu
hoch
Err306 Anodenspannung fehlerhaft
Wrn310 Kathode 1 defekt
60
Betrieb
Fehlernummer
24 120 20V
30V
24 120 20V
30V
24 120 20V
30V
24 120
24 120
24 120
24 120 4,5V
5,5V
24 120
41 132 7V < des Sollwerts
40 131 7V > des Sollwerts
39 130 297V
38 129 363V
36 127 40V
35 126 140V
36 127 40 V Abweichung vom
Vorgabewert
45 136
Kurzschluss 24V am Ausgang
IO
Kurzschluss 24V der TMP
Kurzschluss 24V
Drucksensor PSG500 (1,2,3),
Schnüffelleitung
+15V zu klein, IF-Board oder
MSB defekt
-15V zu klein, Kurzschluss am
Vorverstärker, IF-Board oder
MSB defekt
+ 15V oder -15V zu klein, Kurz-
schluss am Vorverstärker, IF-
Board oder MSB defekt
+15V oder 5V zu klein, Kurz-
schluss am Vorverstärker, IF-
Board oder MSB defekt
+15V oder REF5V zu klein,
Kurzschluss am Vorverstärker,
IF-Board oder MSB defekt
Kurzschluss Anodenspannung,
zu hoher Druck im Massen-
spektrometer, IF-Board, MSB
oder Ionenquelle defekt
MSB defekt
Kurzschluss Supressor, IF-
Board oder MSB defekt
MSB defekt
Kurzschluss Anode -Kathode,
IF-Board oder MSB defekt
MSB defekt
Die Anodenspannung ent-
spricht nicht dem Vorgabewert
oder der Vorgabewert liegt au-
ßerhalb des zulässigen Ein-
stellbereichs.
Kathode defekt, Leitung zur Ka-
thode unterbrochen, IF-Board
oder MSB defekt