INFICON LDS3000 Betriebsanleitung Seite 52

Ausgangsspannun-
gen im Fehlerfall
Konfiguration
(LDS2010-kompatibel)
1 1 Leckrate Mantisse in gewählter Einheit.
1 ... 10 V
1 2 Leckrate Exponent (Stufenfunktion) in gewählter
Einheit. 1 ... 10 V, 0.5 V/Dekade, 1 V = 1E-12
2 1 Leckrate log. in gewählter Einheit.
1 ... 10 V, 0.5 V/Dekade, 1 V = 1E-12
2 2 Druck p1 log. in gewählter Einheit.
1 ... 10 V, 0.5 V/Dekade, 1 V = 1E-3 mbar
3 1 Leckrate Mantisse in mbar l/s
1 ... 10 V
3 2 Leckrate Exponent (Stufenfunktion) in mbar l/s
1 ... 10 V, -1 V/Dekade, 0 V = 1E0 mbar l/s
4 1 Leckrate log.
0 ... 10 V, 1 V/Dekade, 0 V = 1E-10 mbar l/s
4 2 Druck p1 log. in mbar
1 V/Dekade, 2.5 ... 8.5 V, 2.5 V = 1E-3 mbar,
5.5 V = 1E0 mbar
5 1 Leckrate Mantisse in gewählter Einheit.
1 ... 10 V rise, 0.7 ... 10 V fall
5 2 Leckrate Exponent in gewählter Einheit.
1 ... 10 V, 0.5 V/Dekade, 0 V = 1E-14
6 1 Leckrate log. in Pa·m³/s
0 ... 10 V, 1 V/Dekade,
0 V = 1E-12 Pa·m³/s = 1E-12 mbar l/s
6 2 Druck p1 log. in Pa
1 V/Dekade, 2.5 ... 8.5 V, 2.5 V = 1E-3 mbar
8 1 Leckrate log. in Pa·m³/s
0 ... 10 V, 1 V/Dekade,
0 V = 1E-12 Pa·m
8 2 Druck p2 log. in Pa
1 V/Dekade, 2.5 ... 8.5 V, 2.5 V = 1E-3 mbar
9 1 Druck p1 log. in Pa
1 V/Dekade, 2.5 ... 8.5 V, 2.5 V = 1E-3 mbar
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Betrieb
Bei einem Fehler liegen folgende Spannungen an den analogen Ausgängen:
Kompatibilitätsmodus
LDS1000
LDS2010
LDS3000
Für die Übertragung der Einstellungen von LDS2010 nach LDS3000 kann die folgen-
de Tabelle genutzt werden.
3
/s = 1E-12 mbar l/s
Spannung
0 V
10 V
10,237 V
Leckrate Mantisse unrelevant unrelevant
Leckrate Exponent unrelevant unrelevant
Leckrate log. 0,5 V/Dek. 1E6 [gewählte
Druck p1 unrelevant unrelevant
Leckrate Mantisse unrelevant unrelevant
LR Exponent invers unrelevant unrelevant
Leckrate log. 1 V/Dek.
p1 1 V/Dek. unrelevant unrelevant
LR Mantisse hyst. unrelevant unrelevant
Leckrate Exponent unrelevant unrelevant
Leckrate log. 1 V/Dek.
p1 1 V/Dek. unrelevant unrelevant
Leckrate log. 1 V/Dek.
p2 1 V/Dek. unrelevant unrelevant
p1 1 V/Dek. unrelevant unrelevant
Einheit]
1,00E+00
1E-2 mbar l/s
1E-2 mbar l/s