INFICON LDS3000 Betriebsanleitung Seite 62

Wrn421 TMP Spannung zu niedrig
Err422 TMP kein Hochlauf
Err423 TMP Druckanstieg
5xx Druck- und Fluss-Fehler
Wrn500 Drucksensor nicht ange-
schlossen
Wrn502 Drucksensor 2 nicht ange-
schlossen
Wrn520 Druck zu hoch
Wrn521 Druckanstieg, Zusammen-
bruch Anodenspannung
Wrn522 Druckanstieg, Emission zu-
sammengebrochen
Wrn540 Druck zu niedrig, Sniffer blo-
ckiert
Err541 Sniffer blockiert (p1)
Wrn542 Sniffer gebrochen
Wrn550 Druck zu niedrig, XL Sniffer
blockiert
Wrn552 XL Sniffer gebrochen
Wrn554 XL sniffer P2 zu klein
62
Betrieb
Fehlernummer
49 2 8 Min.
49 2
58 144 0,5V
73 148 18 mbar
73 148 < Sollwert - 20V
73 148 < 90% des Sollwerts
> 110% des Sollwerts
63 62 Parameter Sniffer
Fluss-Warnung
62 146
64 147
63 62
Leitungsquerschnitt 24-V-Ver-
sorung für MSB-Module zu ge-
ring, Ausgangsstrom 24-V-
Netzteil zu gering (I <10 A),
Netzteil defekt, TMP defekt
Vordruck TMP zu hoch, En-
druck VV-Pumpe zu hoch, Un-
dichtigkeit Hochvakuum-Sys-
tem, Flutventil nicht
geschlossen, Lagerschaden
TMP, TMP fehlerhaft
Lufteinbruch, Flutventil defekt
oder falsch dimensioniert
Drucksensor PSG500 P1 nicht
angeschlossen, IF-Board oder
MSB defekt
Drucksensor PSG500 P2 nicht
angeschlossen, IF-Board oder
MSB defekt.
Druck p1 zu hoch
Druck p1 zu hoch, Meldung
nach 1,4s
Emission war vorher stabil,
Druck p1 zu hoch, Meldung
nach 5s
Schnüffler verstopft, Schnüffel-
ventil defekt, Filter verstopft
Schnüffler verstopft, Schnüffel-
ventil defekt (Druck kleiner als
halber eingestellter Warnwert),
Filter verstopft
Schnüffler gebrochen
– High Flow-Kapillare der
Schnüffelleitung reinigen
oder austauschen.
– Verschmutzen Filter tau-
schen.
High Flow-Kapillare der
Schnüffelleitung austauschen.
Druck an SL3000XL im Low
Flow zu niedrig.